專利名稱:真空鍍膜機循環冷卻系統用冷卻外殼的制作方法
技術領域:
本發明涉及的是一種真空鍍膜機的冷卻系統,具體涉及的是一種真空鍍膜機循環冷卻系統用冷卻外殼結構。
背景技術:
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,其已經被廣泛應用,制鍍薄膜尤其廣泛,其制作的各種薄膜被應用到各光電系統及光學儀器中,如數碼相機、望遠鏡、顯示技術、半導體激光、微機電系統、各種濾光片、建筑玻璃、汽車工業、眼鏡片等等,鍍膜機器已經與人類的生活緊密聯系。在使用真空鍍膜設備制備薄膜材料時,由于必須達到一定的真空度時才可進行鍍膜過程,普遍采用油擴散泵來實現真空鍍膜的真空條件。冷卻系統是保證油擴散泵正常工作的重要條件,在真空鍍膜裝置上也是一個極為重要的系統。現有真空鍍膜的冷卻系統通常采用兩種方式一種是真空鍍膜設備直接與自來水管連接,水管中的水通過自壓進入真空鍍膜設備冷卻系統,經過鍍膜設備冷卻用后的水通入實驗室排水管道;另一種是采用有制冷功能的制冷機冷卻設備,冷卻裝置需有定量的去離子水。但無論那一種冷卻方式均是將冷卻水流入真空鍍膜設備冷卻系統的冷卻外殼,現有的冷卻外殼與真空鍍膜設備之間通過隔板固定安裝真空鍍膜設備外壁上,通過隔板作用使真空鍍膜設備外壁與冷卻外殼之間形成若干水通道,該冷卻水從底部進入冷卻外殼內的水通道,然后從上端流出,以便來實現真空鍍膜的冷卻作用。而這種結構安裝的冷卻外殼,其強度要求高,且與真空鍍膜設備外壁之間的間距大,增加了真空鍍膜設備外壁厚度,工藝復雜,而且冷卻外殼通過隔板固定在真空鍍膜設備外壁,其強度低,使用壽命短,并且在冷卻過程中,處于外殼底端的水通道內存在冷卻水死角的現象,即難以及時更新冷卻水,造成真空鍍膜設備的局部冷卻效果差,影響整體冷卻的效果。
發明內容
針對現有技術上存在的不足,本發明目的是在于提供一種能夠避免死角現象的產生和使冷卻水充分循環流通,提高冷卻效果以及增加安裝強度的真空鍍膜機循環冷卻系統用冷卻外殼,減少真空鍍膜設備外壁安裝厚度,結構簡單、安全可靠。為了實現上述目的,本發明是通過如下的技術方案來實現
真空鍍膜機循環冷卻系統用冷卻外殼,其包括金屬罩體,其特征在于,所述金屬罩體上設有復數個排列有序,并且內凹的加強圓槽,所述加強圓槽呈半球形或圓錐臺形,起到加強筋的作用,增加冷卻外殼的強度;在所述加強圓槽底部設有用連接現有真空鍍膜機的待冷卻外壁的安裝孔,所述金屬罩體通過安裝孔并以焊接方式固定在現有真空鍍膜機的待冷卻外壁上,在所述金屬罩體與待冷卻外壁之間通過加強圓槽構成循環通道,確保了冷卻水的流通,避免死角現象的產生。 根據上述的真空鍍膜機循環冷卻系統用冷卻外殼,其特征在于,在所述金屬罩體上相鄰兩所述加強圓槽的縱橫間距為100-300mm,上述加強圓槽槽深為12_15mm,所述金屬罩體的厚度為2-5mm。根據上述的真空鍍膜機循環冷卻系統用冷卻外殼,其特征在于,所述加強圓槽的最大直徑為24_136mm。 本發明通過設置有加強圓槽,并通過加強圓槽構成冷卻水流通的循環通道,確保了冷卻水的流通,避免死角現象的產生,有效地對鍍膜腔進行快速降溫,降低油擴散泵的溫度,解決了降溫效果不理想的問題,縮短了抽真空的時間,通過減少了鍍膜設備外壁安裝厚度,加強了冷卻外殼的強度;其結構簡單、安全可靠和冷卻效果好的優點。
下面結合附圖和具體實施方式
來詳細說明本發明;
圖I為本發明的結構示意 圖2為圖I的A-A剖視的局部 圖3為本發明的ー實施例。
具體實施例方式 為使本發明實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解,下面結合具體實施方式
,進ー步闡述本發明。參見圖I至圖3,本實施例的真空鍍膜機循環冷卻系統用冷卻外殼,其包括金屬罩體1,該金屬罩體I的厚度為2-5mm,在金屬罩體I上設有復數個排列有序,并且內凹的加強圓槽2,在金屬罩體I上相鄰兩加強圓槽2的縱橫間距為100-300mm,每個加強圓槽2均呈半球形或圓錐臺形,用于增加冷卻外殼的強度,使其滿足冷卻系統需要的強度。在本實施例中,在金屬罩體I展開情況,相鄰兩加強圓槽2的縱橫間距為250mm,加強圓槽2呈圓錐臺形,即也呈喇機狀,其中,加強圓槽的槽深為12-15mm,金屬罩體I的厚度為3mm ;在加強圓槽的底部即底臺中心加工連接現有真空鍍膜機的待冷卻外壁3的安裝孔10,該安裝孔10的直徑為9_,便用焊接,增強牢固性。本實施例中,參見圖3,金屬罩體I通過安裝孔10并以氬弧焊焊接方式固定在現有真空鍍膜機的待冷卻外壁3上,焊接時,焊接填滿安裝孔10,増加安裝的穩定性。在所述金屬罩體I與待冷卻外壁之間通過加強圓槽2構成循環通道4,冷卻水從金屬罩體I與待冷卻外壁之間循環通道4底部進入,然后由上部流出,由于每個循環通道4相互連通,使其確保了冷卻水的相互流通,避免死角現象的產生,提高了冷卻效果,延長了其使用壽命。值得ー提的是,加強圓槽2的最大直徑為24_136mm,本實施例中,在金屬罩體I上加工有最大直徑即口徑為24、55、136mm的加強圓槽2,該口徑為55mm的加強圓槽的槽深為15mm,其槽壁為圓弧形狀,該槽壁與金屬罩體彎折位置設置為倒角11。本發明通過設置有加強圓槽2,并通過加強圓槽2構成冷卻水流通的循環通道4,確保了冷卻水的流通,避免死角現象的產生,有效地對鍍膜腔進行快速降溫,降低油擴散泵的溫度,解決了降溫效果不理想的問題,縮短了抽真空的時間,通過減少了鍍膜設備外壁安裝厚度,加強了冷卻外殼的強度;其結構簡單、安全可靠和冷卻效果好的優點。以上顯示和描述了本發明的基本原理和主要特征和本發明的優點。本行業的技術人員應該了解,本發明不受上述實施例的限制,上述實施例和說明書中描述的只是說明本發明的原理,在不脫離本發明精神和范圍的前提下,本發明還會有各種變化和改進,這些變化和改進都落入要求保護的本發明范圍內。本發明要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定
權利要求
1.真空鍍膜機循環冷卻系統用冷卻外売,其包括金屬罩體,其特征在于,所述金屬罩體上設有復數個排列有序,并且內凹的加強圓槽,所述加強圓槽呈半球形或圓錐臺形;在所述加強圓槽底部設有用連接現有真空鍍膜機的待冷卻外壁的安裝孔,所述金屬罩體通過安裝孔并以焊接方式固定在現有真空鍍膜機的待冷卻外壁上,在所述金屬罩體與待冷卻外壁之間通過加強圓槽構成循環通道。
2.根據權利要求I所述的真空鍍膜機循環冷卻系統用冷卻外殼,其特征在于,在所述金屬罩體上相鄰兩所述加強圓槽的縱橫間距為100-300mm,上述加強圓槽槽深為12_15mm,所述金屬罩體的厚度為2-5_。
3.根據權利要求I所述的真空鍍膜機循環冷卻系統用冷卻外殼,其特征在于,所述加強圓槽的最大直徑為24-136mm。
全文摘要
本發明涉及的是一種真空鍍膜機循環冷卻系統用冷卻外殼,其包括金屬罩體,金屬罩體上設有復數個排列有序,并且內凹的加強圓槽,所述加強圓槽呈半球形或圓錐臺形;在加強圓槽底部設有用連接現有真空鍍膜機的待冷卻外壁的安裝孔,金屬罩體通過安裝孔并以焊接方式固定在現有真空鍍膜機的待冷卻外壁上,在金屬罩體與待冷卻外壁之間通過加強圓槽構成循環通道。本發明確保了冷卻水的流通,避免死角現象的產生,有效地對鍍膜腔進行快速降溫,降低油擴散泵的溫度,解決了降溫效果不理想的問題,縮短了抽真空的時間,通過減少了鍍膜設備外壁安裝厚度,加強了冷卻外殼的強度;其結構簡單、安全可靠和冷卻效果好的優點。
文檔編號C23C14/24GK102618838SQ201210066708
公開日2012年8月1日 申請日期2012年3月14日 優先權日2012年3月14日
發明者唐新榮, 康進昌, 羅訥納, 阮佳龍 申請人:昆山振昆納米科技有限公司