沉積裝置以及使用該裝置制造有機發光顯示器的方法
【專利摘要】一種沉積裝置，包括：沉積源，用于接收沉積材料；和多個噴嘴，沿著第一方向設置在沉積源的一側以用于將沉積材料噴射到相對的基板上。沉積源包括：中心區域和外側區域，其中外側區域位于中心區域的、有關于第一方向的相應端部。噴嘴包括：第一噴嘴，設置在各個外側區域并且從沉積源往向外延伸，形成第一噴嘴的一端部的表面在第一方向上與基板表面形成第一傾斜角。
【專利說明】沉積裝置以及使用該裝置制造有機發光顯示器的方法
【技術領域】
[0001]本實施方式涉及沉積裝置以及使用該裝置制造有機發光(OLED)顯示器的方法。
【背景技術】
[0002]在顯示設備中，有機發光顯示器具有寬視角、優異的對比度和快的響應速度。因此，有機發光顯示器作為下一代顯示設備而備受矚目。
[0003]通常，有機發光顯示器具有將發光層插入到陽極與陰極之間以呈現色彩的結構。從陽極和陰極發射的空穴和電子在發光層中重新結合從而實現光發射。此外，為了提供更好的發光效率，可以選擇性地將中間層插入到各個電極與發光層之間，例如選擇性地將電子注入層(EIL)、電子傳輸層(ETL)、空穴傳輸層(HTL)和空穴注入層(HIL)插入到各個電極與發光層之間。

【發明內容】

[0004]實施方式涉及沉積裝置，包括:用于接收沉積材料的沉積源；和沿著第一方向設置在沉積源的一側以用于將沉積材料噴射到相對的基板上的多個噴嘴。沉積源包括中心區域和多個外側區域，其中外側區域位于中心區域在第一方向上的相應端部。多個噴嘴包括多個第一噴嘴，設置在所述多個外側區域并且從沉積源向外延伸，用于形成第一噴嘴的一端部的表面在第一方向上與基板表面形成第一傾斜角。
[0005]基板在第一方向上的中心可以與沉積源在第一方向上的中心對齊。沉積源的中心區域在第一方向上可以具有滿足如下條件的長度:
【權利要求】
1.一種沉積裝置，包括: 沉積源，用于接納沉積材料；以及 多個噴嘴，沿著第一方向設置在所述沉積源的一側以用于將所述沉積材料噴射到相對的基板上， 其中， 所述沉積源包括中心區域和多個外側區域，其中所述外側區域位于所述中心區域在所述第一方向上的相應端部；并且 所述多個噴嘴包括多個第一噴嘴，所述第一噴嘴設置在所述多個外側區域并且從所述沉積源向外延伸，其中用于形成每個所述第一噴嘴的一端部的表面在所述第一方向上與基板表面形成第一傾斜角。
2.根據權利要求1所述的沉積裝置，其中， 在所述第一方向上的所述基板的中心與在所述第一方向上的所述沉積源的中心對齊，并且 所述沉積源的所述中心區域在所述第一方向的長度滿足如下條件:
3.根據權利要求1所述的沉積裝置，其中， 所述第一傾斜角在43至53度范圍內。
4.根據權利要求1所述的沉積裝置，其中， 所述第一傾斜角在25至35度范圍內。
5.根據權利要求3所述的沉積裝置，其中， 設置在所述中心區域的所述多個第二噴嘴在所述沉積源的外側方向上傾斜，從而使得用于形成各個所述第二噴嘴的一端部的表面在所述第一方向上相對于所述基板表面具有第二傾斜角，并且 所述第二傾斜角小于所述第一傾斜角。
6.根據權利要求1所述的沉積裝置，其中， 在所述第一方向上，多個所述第一噴嘴相對于所述沉積源的中心被對稱地設置。
7.—種有機發光顯不器的制造方法,包括: 提供沉積裝置，其包括用于接納沉積材料的沉積源和沿著第一方向設置在所述沉積源的一側以用于將所述沉積材料噴射到基板上的多個噴嘴； 將所述基板設置成面對所述噴嘴；以及 當在與第一方向相交的第二方向上移動所述沉積源期間，通過所述噴嘴噴射所述沉積材料， 其中， 所述沉積源包括中心區域和多個外側區域，其中所述外側區域位于所述中心區域在所述第一方向上的相應端部；并且所述多個噴嘴的多個第一噴嘴設置在各個外側區域，在所述第一方向上以第一傾斜角從所述沉積源噴射所述沉積材料。
8.根據權利要求7所述的方法，其中， 所述第一噴嘴包括:用于形成其一端部的表面，所述表面相對于所述基板的表面在外側方向上傾斜，并且在所述第一方向上具有第一傾斜角。
9.根據權利要求7所述的方法，其中， 所述基板在所述第一方向上的中心與所述沉積源在所述第一方向上的中心對齊，并且 所述中心區域在所述第一方向上具有滿足如下條件的長度:
10.根據權利要求8所述的方法，其中， 所述第一傾斜角在43至53度范圍內。
11.根據權利要求8所述的方法，其中， 所述第一傾斜角在25至35度范圍內。
12.根據權利要求7所述的方法，其中， 在所述第一方向上，所述第一噴嘴相對于所述沉積源的中心被對稱地設置。
13.根據權利要求7所述的方法，其中， 第二噴嘴設置在所述中心區域并且在所述沉積源的外側方向上傾斜， 形成所述第二噴嘴的一端部的表面在所述第一方向上相對于所述基板表面具有第二傾斜角，并且 所述第二傾斜角小于所述第一傾斜角。
【文檔編號】C23C16/455GK103710682SQ201310362008
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年8月19日 優先權日:2012年10月9日
【發明者】李相信 申請人:三星顯示有限公司