真空鍍膜用實時膜厚修正板及其控制方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種真空鍍膜用實時膜厚修正板及其控制方法。本發(fā)明主要是解決現(xiàn)有的膜厚修正板存在的鍍膜材料浪費大、鍍膜不均勻和產(chǎn)品質(zhì)量差的技術(shù)問題。本發(fā)明的技術(shù)方案是：真空鍍膜用實時膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架，其中：它還包括旋轉(zhuǎn)膜厚修正板、旋轉(zhuǎn)裝置和固定膜厚修正板，固定膜厚修正板設(shè)在膜厚修正板支架的一邊，在固定膜厚修正板上設(shè)有回轉(zhuǎn)導(dǎo)軌，旋轉(zhuǎn)膜厚修正板設(shè)在固定膜厚修正板的上面并使設(shè)置在旋轉(zhuǎn)膜厚修正板上的導(dǎo)柱位于回轉(zhuǎn)導(dǎo)軌中，旋轉(zhuǎn)裝置設(shè)在固定膜厚修正板上并位于旋轉(zhuǎn)膜厚修正板的一側(cè)。其控制方法是實時比較主監(jiān)控點與輔助監(jiān)控點的鍍膜速率，在保證主監(jiān)控點鍍膜速率穩(wěn)定的條件下實現(xiàn)快速實時膜厚分布的修正。
【專利說明】真空鍍膜用實時膜厚修正板及其控制方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種真空鍍膜用實時膜厚修正板及其控制方法，它屬于光學真空鍍膜實時膜厚修正的設(shè)備和控制方法。

【背景技術(shù)】
[0002]在真空鍍膜中，蒸鍍源(靶材)正上方的蒸發(fā)物濃度最高，導(dǎo)致鍍膜基板上的薄膜厚度從中間到邊緣出現(xiàn)不一致的現(xiàn)象。目前厚度均勻的薄膜獲得，通常是通過基板旋轉(zhuǎn)架和膜厚修正板來解決。在鍍膜基板架與蒸鍍源之間設(shè)置一修正板，通過修正板來遮擋蒸鍍源正上方的蒸發(fā)物，以減少蒸鍍源正上方基板玻璃膜層的厚度。但由于現(xiàn)在的膜厚修正板通常都是固定裝在基板旋轉(zhuǎn)架的下方，無法改變膜厚修正板的轉(zhuǎn)角，因此，存在的浪費鍍膜材料大、產(chǎn)品質(zhì)量差的缺陷。
[0003]另外，由于現(xiàn)在的膜厚修正板通常都是固定裝在基板旋轉(zhuǎn)架上，無法對其進行實時控制，因此，存在的鍍膜不均勻和產(chǎn)品質(zhì)量差的缺陷。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是解決現(xiàn)有的膜厚修正板存在的鍍膜材料浪費大、鍍膜不均勻和產(chǎn)品質(zhì)量差的技術(shù)問題，提供一種鍍膜耗材小、鍍膜均勻、產(chǎn)品質(zhì)量好和結(jié)構(gòu)簡單的真空鍍膜用實時膜厚修正板及其控制方法。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:
[0006]真空鍍膜用實時膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架，其中:它還包括旋轉(zhuǎn)膜厚修正板、旋轉(zhuǎn)裝置和固定膜厚修正板，固定膜厚修正板設(shè)在膜厚修正板支架的一邊，在固定膜厚修正板上設(shè)有能使旋轉(zhuǎn)膜厚修正板旋轉(zhuǎn)的回轉(zhuǎn)導(dǎo)軌，旋轉(zhuǎn)膜厚修正板設(shè)在固定膜厚修正板的上面并使設(shè)置在旋轉(zhuǎn)膜厚修正板上的導(dǎo)柱位于回轉(zhuǎn)導(dǎo)軌中，旋轉(zhuǎn)裝置設(shè)在固定膜厚修正板上并位于旋轉(zhuǎn)膜厚修正板的一側(cè)。
[0007]所述旋轉(zhuǎn)裝置由齒輪、齒條和動力機構(gòu)組成，齒輪設(shè)在固定膜厚修正板上并與動力機構(gòu)的輸出軸連接，齒條設(shè)在旋轉(zhuǎn)膜厚修正板的一側(cè)并與齒輪相嚙合。
[0008]所述真空鍍膜用實時膜厚修正板的控制方法，其主監(jiān)控點設(shè)在旋轉(zhuǎn)膜厚修正板的旋轉(zhuǎn)中心上，輔助監(jiān)控點設(shè)在主監(jiān)控點的一側(cè)或兩側(cè)；實時比較主監(jiān)控點與輔助監(jiān)控點的鍍膜速率，調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)膜厚修正板的角度，使其遮擋鍍膜速率過快的部分，并同時減少鍍膜速率偏慢的部分，在保證主監(jiān)控點鍍膜速率穩(wěn)定的條件下實現(xiàn)快速實時膜厚分布的修正。
[0009]由于本發(fā)明采用了上述技術(shù)方案，解決了現(xiàn)有的膜厚修正板存在的鍍膜材料浪費大、鍍膜不均勻和產(chǎn)品質(zhì)量差的技術(shù)問題，因此，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是:①監(jiān)控半徑設(shè)在旋轉(zhuǎn)膜厚修正板的旋轉(zhuǎn)中心，從而保證了監(jiān)控點鍍膜速率的穩(wěn)定可靠。在保證光學膜厚儀精確度不變的情況下，調(diào)節(jié)膜厚的分布方便快捷機械結(jié)構(gòu)更加簡單可靠與目前鍍膜機上廣泛使用的固定膜厚修正板相比，降低了鍍膜材料的耗損，減輕了離子源漂移等因素的影響，提高了鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2是本發(fā)明旋轉(zhuǎn)膜厚修正板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖3是本發(fā)明固定膜厚修正板的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步的詳細描述。
[0014]如圖1、圖2和圖3所示，本實施例中的真空鍍膜用實時膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架2，其中:它還包括旋轉(zhuǎn)膜厚修正板1、旋轉(zhuǎn)裝置和固定膜厚修正板3，固定膜厚修正板3設(shè)在膜厚修正板支架2的一邊，在固定膜厚修正板3上設(shè)有能使旋轉(zhuǎn)膜厚修正板1旋轉(zhuǎn)的回轉(zhuǎn)導(dǎo)軌11，旋轉(zhuǎn)膜厚修正板1設(shè)在固定膜厚修正板3的上面并使設(shè)置在旋轉(zhuǎn)膜厚修正板1上的導(dǎo)柱8位于回轉(zhuǎn)導(dǎo)軌11中，旋轉(zhuǎn)裝置設(shè)在固定膜厚修正板2上并位于旋轉(zhuǎn)膜厚修正板1的一側(cè)。所述旋轉(zhuǎn)裝置由齒輪4、齒條9和動力機構(gòu)組成，齒輪4設(shè)在固定膜厚修正板3上并與動力機構(gòu)的輸出軸10連接，齒條9設(shè)在旋轉(zhuǎn)膜厚修正板1的一側(cè)并與齒輪4相嚙合。主監(jiān)控點7設(shè)置在旋轉(zhuǎn)膜厚修正板1的旋轉(zhuǎn)中心5上，輔助監(jiān)控點6位于主監(jiān)控點7 —側(cè)或兩側(cè)。
[0015]如圖1所示，上述實施例中的真空鍍膜用實時膜厚修正板的控制方法，其主監(jiān)控點7設(shè)在旋轉(zhuǎn)膜厚修正板的旋轉(zhuǎn)中心5上，輔助監(jiān)控點6設(shè)在主監(jiān)控點7的一側(cè)或兩側(cè)；實時比較主監(jiān)控點7與輔助監(jiān)控點6的鍍膜速率，調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)膜厚修正板1的角度，使其遮擋鍍膜速率過快的部分，并同時減少鍍膜速率偏慢的部分，在保證主監(jiān)控點7鍍膜速率穩(wěn)定的條件下實現(xiàn)快速實時膜厚分布的修正。
[0016]本發(fā)明的工作原理是:首先將旋轉(zhuǎn)膜厚修正板1放置在水平位置；然后通過修改固定膜厚修正板3的形狀，使薄膜的厚度分布達到均勻一致；最后，確認膜厚分布的變化沿修正板調(diào)節(jié)方向呈線性變化。然后比較主監(jiān)控點7和輔助監(jiān)控點6的鍍膜速率，不斷調(diào)整旋轉(zhuǎn)膜厚修正板1的角度，鍍膜速率快的一端要用旋轉(zhuǎn)膜厚修正板1增加遮擋面積，并同時減少鍍膜速率慢的一端，直至在整個監(jiān)控范圍獲得最佳的膜厚分布。
【權(quán)利要求】
1.一種真空鍍膜用實時膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架，其特征在于:它還包括旋轉(zhuǎn)膜厚修正板、旋轉(zhuǎn)裝置和固定膜厚修正板，固定膜厚修正板設(shè)在膜厚修正板支架的一邊，在固定膜厚修正板上設(shè)有能使旋轉(zhuǎn)膜厚修正板旋轉(zhuǎn)的回轉(zhuǎn)導(dǎo)軌，旋轉(zhuǎn)膜厚修正板設(shè)在固定膜厚修正板的上面并使設(shè)置在旋轉(zhuǎn)膜厚修正板上的導(dǎo)柱位于回轉(zhuǎn)導(dǎo)軌中，旋轉(zhuǎn)裝置設(shè)在固定膜厚修正板上并位于旋轉(zhuǎn)膜厚修正板的一側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜用實時膜厚修正板，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)裝置由齒輪、齒條和動力機構(gòu)組成，齒輪設(shè)在固定膜厚修正板上并與動力機構(gòu)的輸出軸連接，齒條設(shè)在旋轉(zhuǎn)膜厚修正板的一側(cè)并與齒輪相嚙合。
3.—種權(quán)利要求1所述的真空鍍膜用實時膜厚修正板的控制方法，其特征在于:主監(jiān)控點設(shè)在旋轉(zhuǎn)膜厚修正板的旋轉(zhuǎn)中心上，輔助監(jiān)控點設(shè)在主監(jiān)控點的一側(cè)或兩側(cè)；實時比較主監(jiān)控點與輔助監(jiān)控點的鍍膜速率，調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)膜厚修正板的角度，使其遮擋鍍膜速率過快的部分，并同時減少鍍膜速率偏慢的部分，在保證主監(jiān)控點鍍膜速率穩(wěn)定的條件下實現(xiàn)快速實時膜厚分布的修正。
【文檔編號】C23C14/54GK104313537SQ201410577335
【公開日】2015年1月28日 申請日期:2014年10月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月24日
【發(fā)明者】張殷, 鄧琪, 張小飛, 王靜輝, 呂子嘯 申請人:杰萊特（蘇州）精密儀器有限公司