一種用于保護真空鍍膜設備觀察窗的裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及真空鍍膜設備【技術領域】，具體涉及一種用于保護真空鍍膜設備觀察窗的裝置，包括由不銹鋼薄板卷成的圓筒、固定擋片以及保護玻璃。本實用新型可以將保護玻璃卡持在觀察窗座內腔中，并與觀察玻璃貼合，達到最佳觀察效果。保護玻璃在觀察玻璃與真空腔室形成間隔，可以阻擋污染物，有效地阻止其沉積在觀察玻璃上，減少觀察玻璃的拆卸次數，保護觀察玻璃不被污染，達到保護觀察窗的目的。本實用新型由一張帶有固定擋片的不銹鋼薄板制成，不需要復雜的加工，制作簡單。當保護玻璃經過長期使用變得模糊后，只要將圓筒從觀察窗座內腔內取出，然后展開便可將保護玻璃取下進行清洗，方便簡單。
【專利說明】-種用于保護真空鍍膜設備觀察窗的裝置

【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及真空鍍膜設備【技術領域】，具體涉及一種用于保護真空鍍膜設備觀 察窗的裝置。

【背景技術】
[0002] 真空鍍膜是一種制備功能薄膜、裝飾膜層以及材料表面改性的常用手段，在現代 工業生產及科學研究中有著廣泛的應用。觀察窗是真空鍍膜設備不可缺少的裝置，在真空 鍍膜設備運行過程中至關重要。在真空鍍膜過程中，操作者可以通過觀察窗隨時觀察真空 腔室內部運行狀況，掌控鍍膜的進展，保證鍍膜工藝的順利進行及設備的安全運行。常用的 觀察窗一般采用擋板來保護觀察玻璃不被污染。但由于結構簡單，在鍍膜過程中，仍然會有 少量沉積物附著在觀察玻璃上。同時，在長期使用觀察窗觀察鍍膜實時情況后，觀察玻璃會 被沉積上污染物變得模糊不清，甚至無法觀察真空腔室內的工作情況。在這種情況下，往往 需要拆卸觀察窗，卸下觀察玻璃進行清理。由于觀察窗直接連接真空腔室，頻繁的拆卸會導 致該部位密封性能變差，從而影響真空腔室的真空度及鍍膜的質量。并且，對于采用金屬密 封墊圈的觀察窗，每次拆卸都需要更換金屬密封墊圈，成本較大。


【發明內容】

[0003] 本實用新型就是為了解決現有技術中的不足，提供一種結構簡單、清理方便并能 有效保護觀察玻璃不被污染的裝置。
[0004] 為實現上述目的，提供一種用于保護真空鍍膜設備觀察窗的裝置，包括由不銹鋼 薄板卷成的圓筒8、固定擋片9、固定擋片11以及保護玻璃10,其特征在于所述裝置圓筒由 一張不銹鋼薄板卷成，薄板上事先做好固定保護玻璃用的固定擋片，使用時將帶有保護玻 璃的一端放進觀察座的內腔中，并將圓筒外內推，使保護玻璃和觀察玻璃貼合，所述的觀察 窗座一般為圓柱體并密封焊接在真空腔室上。保護玻璃在觀察玻璃與真空腔室之間現成了 間隔，從而可以有效地保護觀察玻璃不被污染，達到減少拆卸觀察窗的目的。
[0005] 所述的不銹鋼薄板應具有一定的韌性，可以在薄板上折出永久變形的擋片。
[0006] 所述的不銹鋼薄板還應具有一定的彈性，在卷成圓筒后，可以依靠自身的彈性將 裝置固定在觀察窗座內腔中并保持圓筒形狀。
[0007] 所述的固定擋片主要用于固定保護玻璃，擋片的數量及尺寸可以根據保護玻璃的 尺寸和重量進行調整。
[0008] 所述的保護玻璃的直徑要略小于觀察窗座內腔的直徑，保護玻璃由固定擋片固定 在圓筒的一端，并隨圓筒朝內卡持在觀察窗座內腔中，與觀察玻璃貼合。
[0009] 所述的圓筒長度要略長于觀察窗座內腔的深度，以便于圓筒從觀察窗座內腔中取 出，但不能擋住觀察窗的擋板。
[0010] 本實用新型在現有觀察窗保護措施的基礎上，采用一種簡單的裝置，將保護玻璃 至于觀察窗座內腔中，使得觀察玻璃與真空腔室之間形成間隔，達到保護觀察玻璃不被污 染、減少拆卸觀察窗的目的。本實用新型的圓筒由一張事先做好固定擋片的不銹鋼薄板卷 成，制作簡單。保護玻璃通過該圓筒可以卡持在觀察窗座內腔內，并與觀察玻璃貼合。從而， 保護玻璃可以擋住污染物，有效地阻止其沉積在觀察玻璃上，減少觀察玻璃的拆卸次數，達 到保護觀察窗的目的。由于保護玻璃擋住了污染物，長期使用后會變得模糊。此時，只要將 圓筒從觀察窗座內腔中取出，然后展開便可將保護玻璃取下進行清理，方便簡單。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011] 圖1是用于制作本實用新型圓筒的不銹鋼薄板示意圖；
[0012] 如圖所示，圖中：1為不銹鋼薄板2、3、4、5、6、7為固定擋片；
[0013] 圖2是本實用新型的結構示意圖和截面圖；
[0014] 圖3是將本實用新型置于觀察窗座內腔內的實施示意圖；
[0015] 如圖所示，圖中：14為觀察玻璃15為觀察窗座內腔16為本實用新型裝置17 為保護玻璃18為真空腔室壁。

【具體實施方式】
[0016] 下面結合附圖對本實用新型作進一步說明，這種裝置的結構和原理對于本實用新 型來說是非常清楚明了的。
[0017] 本實用新型包括由不銹鋼薄板卷成的圓筒、固定擋片以及保護玻璃，其特征在于 所述裝置圓筒由一張不銹鋼薄板卷成，薄板上事先做好固定保護玻璃用的擋片，使用時將 帶有保護玻璃的一端放進觀察座的內腔中，并將圓筒外內推，使保護玻璃和觀察玻璃貼合， 所述的觀察窗座一般為圓柱體且密封焊接在真空腔室上。保護玻璃在觀察玻璃與真空腔室 之間現成了間隔，從而可以有效地保護觀察窗上觀察玻璃不被污染，達到減少拆卸觀察窗 的目的。經過長期使用，擋板玻璃會變得模糊。此時，只要將圓筒從觀察窗座內腔中取出， 然后展開便可將保護玻璃取下進行清理。操作方便簡單，不影響真空室密封性能，擋板玻璃 清理干凈后可以重新使用。
[0018] 首先按照圖1所示，在不銹鋼薄板1上剪裁出"凸"形結構的固定擋片2、3、4、5、6、 7。然后將固定擋片沿圖1中所示的虛線朝同一方向折90°，形成固定圓形保護玻璃用的卡 槽結構。接著把保護玻璃放入由固定擋片形成的卡槽內，并將不銹鋼薄板沿著保護玻璃的 外圍卷成圓筒，如圖2所示，固定擋片9、11將保護玻璃固定在圓筒8的一端。在使用時，將 帶有保護玻璃的一端放入觀察窗座內腔中，并將圓筒外內推，使保護玻璃和觀察玻璃貼合， 獲得最佳觀察效果。本實用新型置于觀察窗座內腔內的實施示意圖如圖3所示，保護玻璃 17可以隨圓筒16卡持在觀察窗座內腔15中，將觀察玻璃14和真空腔室隔開。在使用觀察 窗觀察真空室內鍍膜狀態時，保護玻璃可以擋住污染物，避免沉積到觀察玻璃上對觀察玻 璃造成污染，從而達到減少拆卸觀察窗的目的。如圖3所示，所設計的圓筒長度要略長于觀 察窗座內腔的深度，圓筒有部分超出真空腔室壁18,露在真空腔室內。在需要清理保護玻璃 時，可以很容易地把圓筒從觀察窗座內腔中取出，然后展開便可取下保護玻璃進行清理。
【權利要求】
1. 一種用于保護真空鍍膜設備觀察窗的裝置，包括由不銹鋼薄板卷成的圓筒（8)、固 定擋片（9)、固定擋片（11)以及保護玻璃（10)，其特征在于所述裝置圓筒由一張不銹鋼薄 板卷成，薄板上事先做好固定保護玻璃用的固定擋片，使用時將帶有保護玻璃的一端放進 觀察座的內腔中，并將圓筒外內推，使保護玻璃和觀察玻璃貼合，所述的觀察窗座一般為圓 柱體并密封焊接在真空腔室上，保護玻璃在觀察玻璃與真空腔室之間現成了間隔，從而可 以有效地保護觀察玻璃不被污染，達到減少拆卸觀察窗的目的。
2. 如權利要求1所述的一種用于保護真空鍍膜設備觀察窗的裝置，其特征在于所述的 不銹鋼薄板應具有一定的韌性，可以在薄板上折出永久變形的擋片。
3. 如權利要求1所述的一種用于保護真空鍍膜設備觀察窗的裝置，其特征在于所述的 不銹鋼薄板還應具有一定的彈性，在卷成圓筒后，可以依靠自身的彈性將裝置固定在觀察 窗座內腔中并保持圓筒形狀。
4. 如權利要求1所述的一種用于保護真空鍍膜設備觀察窗的裝置，其特征在于所述的 固定擋片主要用于固定保護玻璃，擋片的數量及尺寸可以根據保護玻璃的尺寸和重量進行 調整。
5. 如權利要求1所述的一種用于保護真空鍍膜設備觀察窗的裝置，其特征在于所述的 保護玻璃的直徑要略小于觀察窗座內腔的直徑，保護玻璃由固定擋片固定在圓筒的一端， 并隨圓筒朝內卡持在觀察窗座內腔中，與觀察玻璃貼合。
6. 如權利要求1所述的一種用于保護真空鍍膜設備觀察窗的裝置，其特征在于所述的 圓筒長度要略長于觀察窗座內腔的深度，以便于圓筒從觀察窗座內腔中取出，但不能擋住 觀察窗的擋板。
【文檔編號】C23C14/52GK203999800SQ201420403821
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年7月22日 優先權日:2014年7月22日
【發明者】林嵐, 鄒慧慧, 張平 申請人:張平, 臺州學院