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研磨膜的制作方法

文檔序號:12164451閱讀:來源:國知局
技術總結
本發明的目的在于提供一種研磨膜,其不僅具有高的研削力,而且可防止研磨后的光纖的引入。本發明為包括基材、以及積層于其表面側的研磨層的研磨膜,其特征在于:所述研磨層包含樹脂粘合劑及分散于該樹脂粘合劑中的研磨粒子,相對于所述研磨粒子整體而言的一次粒徑為70nm以上的研磨粒子的含量為10質量%以上、50質量%以下,所述研磨層中的所述研磨粒子的含量為84質量%以上,并且所述研磨層的壓入硬度為370N/mm2以下。所述研磨粒子宜為二氧化硅粒子。所述研磨層的平均厚度優選為4μm以上、15μm以下。

技術研發人員:田浦歳和;西藤和夫
受保護的技術使用者:阪東化學株式會社
文檔號碼:201580036615
技術研發日:2015.06.26
技術公布日:2017.03.01

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