1.一種沉積源,包括
坩堝,收納沉積物質;
第一加熱器和第二加熱器,布置在所述坩堝的外側并且以所述坩堝為中心彼此相隔開;以及
第一防止變形部件,在所述坩堝的下方以連續的形態布置于所述第一加熱器與所述第二加熱器之間,并且與所述第一加熱器和所述第二加熱器結合。
2.根據權利要求1所述的沉積源,其中,
所述坩堝、所述第一加熱器以及所述第二加熱器分別具有沿著與所述第一加熱器和所述第二加熱器的布置方向交叉的第一方向延伸的形態,以及
所述第一防止變形部件設置為多個,并且所述多個第一防止變形部件由布置成沿著所述第一方向相隔開的橋接板構成。
3.根據權利要求1所述的沉積源,其中,
所述第一防止變形部件布置成與所述坩堝的底部相隔開。
4.根據權利要求1所述的沉積源,其中,
所述第一加熱器和所述第二加熱器布置成與所述坩堝的側部相隔開。
5.根據權利要求1所述的沉積源,其中,
所述第一防止變形部件具有與所述第一加熱器和所述第二加熱器中的每個垂直的平面形狀。
6.根據權利要求1所述的沉積源,其中,
所述第一防止變形部件為所述第一加熱器以及所述第二加熱器之間呈斜線形態的平面形狀。
7.根據權利要求1所述的沉積源,其中,
所述第一防止變形部件包括斜線形態的第一條和斜線形態的第二條,其中所述斜線形態的第一條和所述斜線形態的第二條在所述第一加熱器與所述第二加熱器之間彼此交叉。
8.根據權利要求1或2所述的沉積源,還包括:
至少一個第二防止變形部件,所述至少一個第二防止變形部件在所述坩堝、所述第一加熱器、所述第二加熱器以及所述第一防止變形部件之間布置成止動件,并且與所述第一防止變形部件結合。
9.根據權利要求8所述的沉積源,其中,所述第二防止變形部件包括:
第一支承部,布置在所述坩堝、所述第一加熱器以及所述第一防止變形部件之間;以及
第二支承部,以所述坩堝為中心與所述第一支承部相隔開,并且布置在所述坩堝、所述第二加熱器以及所述第一防止變形部件之間。
10.根據權利要求8所述的沉積源,其中,
所述第二防止變形部件布置成與所述坩堝的底部接觸。