技術總結
本發明提供沉積源。作為示例，沉積源包括：收納沉積物質的坩堝；布置在所述坩堝的外側并且以所述坩堝為中心彼此相隔開的第一加熱器和第二加熱器；以及在所述坩堝的下方以連續的形態布置于所述第一加熱器與所述第二加熱器之間并且與所述第一加熱器和所述第二加熱器結合的第一防止變形部件。

技術研發人員：薛在完;姜有珍;金東昱;尹日燮;車龍俊
受保護的技術使用者：三星顯示有限公司
文檔號碼：201610080804
技術研發日：2016.02.05
技術公布日：2017.02.15