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涂層碳化硅復合纖維的生產系統的制作方法

文檔序號:11126708閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.涂層碳化硅復合纖維的生產系統,系統組成中包括配套有射頻電源(1)的線性聚焦裝置、設置在線性聚焦裝置中軸線位置的石英管反應器(2)、收、放絲機構、反應環境氣氛保障和處理裝置以及與以上結構配套的在線監測和管理電路,其特征在于:所述收、放絲機構中均包括收、放絲輪盤(5-1、5-2)、阻尼張緊輪組結構,以及配套的穩速導引動力驅動機構,載體絲借助兩個具有穩定差速的穩速導引動力驅動機構的牽伸具有恒定牽伸力。

2.根據權利要求1所述的涂層碳化硅復合纖維的生產系統,其特征在于:所述穩速導引動力驅動機構的結構中包括步進電機(5-3)和與管理電路連接的受控脈沖信號發生器(5-4)。

3.根據權利要求1所述的涂層碳化硅復合纖維的生產系統,其特征在于:反應環境氣氛保障和處理裝置結構中包括:

1)連接在石英管反應器(2)的反應氣體進氣口(2-1)上的配氣總成,

2)連接在石英管反應器(2)的出氣口(2-2)上的回收處理總成。

4.根據權利要求1所述的涂層碳化硅復合纖維的生產系統,其特征在于:所述配氣總成的組成中包括:帶有至少兩個反應氣體進氣口和一個出氣口的配氣柜(3),上述進氣口、出氣口分別借助管路與各自反應氣體氣源或石英管反應器(2)的進氣口(2-1)連接,所述管路中串聯設置可控調節閥(2-5)和質量流量計(2-6),配氣柜(3)上設置壓力傳感器(3-1)。

5.根據權利要求1所述的涂層碳化硅復合纖維的生產系統,其特征在于:所述配氣柜(3)上還設有回收氣體注入口,連接在石英管反應器(2)的出氣口(2-2)上的回收處理總成的設備中包括:冷卻分流裝置(4-1)、分別連接在冷卻分流裝置(4-1)的分流口上的水洗吸收罐(4-2)和加熱分流罐(4-3),回收的氫氣和三氯甲基硅烷分別經中間存儲柜(4-4)的吸附去雜、升溫加壓后連通到配氣柜(3)的回收氣體注入口。

6.根據權利要求2所述的涂層碳化硅復合纖維的生產系統,其特征在于:石英管反應器(2)的反應腔兩端均設有雙分壓阻流密封結構:分別包括由兩個相互連通的三通氣室形成的雙聯氣腔,所述雙聯氣腔的一出氣口與石英管反應器(2)的反應腔進氣口連通,另一出氣口與石英管反應器(2)的進、出絲孔連通,且雙聯氣腔中與反應腔進氣口直接連通的是連接配氣總成的反應氣腔(2-3-1)、與進、出絲孔連通直接連通的是連接密封氬氣源的密封氣腔(2-3-2),氬氣由進氣口引入密封氣腔、由進、出絲孔排出、形成內部正壓動態紊流式密封氣堵。

7.根據權利要求1所述的涂層碳化硅復合纖維的生產系統,其特征在于:石英管反應器(2)的進、出絲孔端與收、放絲兩機構之間分別設置了一個四通二級封堵裝置(2-4),石英管反應器(2)的兩端借助研磨加工成的磨砂錐形頭與上述四通二級封堵裝置(2-4)實現密封對接,高純氫氣從進氣口引入、從回收口引出、形成內部正壓動態紊流式密封結構。

8.根據權利要求1所述的涂層碳化硅復合纖維的生產系統,其特征在于:射頻電源(1)的結構中配套有自動功率調整裝置(1-1),線性聚焦裝置的結構中包括對稱設置在可調整滑軌支座(1-4、1-5)上的左、右共軛諧振腔(1-2、1-3),左、右共軛諧振腔(1-2、1-3)中設置水冷套結構。

9.根據權利要求1所述的涂層碳化硅復合纖維的生產系統,其特征在于:所述系統中還包括掃描石英管反應器(2)內部溫度的激光測溫儀(6),激光測溫儀(6)的信號反饋端與在線監測和管理電路連接。

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