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一種用于金屬鍍膜的矩形磁控濺射靶的制作方法

文檔序號:11126689閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種用于金屬鍍膜的矩形磁控濺射靶,其特征在于:包括陽極座(1)、水冷靶座(3)、磁鐵組件(4)、靶材(6)和靶背板(5),所述陽極座(1)設有矩形安裝槽(11),所述水冷靶座(3)安裝于矩形安裝槽(11)內,所述磁鐵組件(4)安裝于水冷靶座(3)內并通過靶背板(5)密封,所述靶材(6)裝設于靶背板(5)上,所述磁鐵組件(4)包括中心磁鐵(43)、兩個端部磁鐵(42)和多個側部磁鐵(41),所述兩個端部磁鐵(42)和多個側部磁鐵(41)構成矩形磁鐵框,所述中心磁鐵(43)沿矩形磁鐵框長度方向固定于矩形磁鐵框內部,每個側部磁鐵(41)固設一固定塊(44),所述水冷靶座(3)內設有多個安裝凸塊(31),所述固定塊(44)與安裝凸塊(31)一一對應,所述固定塊(44)可移動的與安裝凸塊(31)連接。

2.根據權利要求1所述的用于金屬鍍膜的矩形磁控濺射靶,其特征在于:所述固定塊(44)上設有沿矩形磁鐵框的寬度方向設置的腰型孔(441),所述安裝凸塊(31)上設有用于固定所述固定塊(44)的安裝孔(311)。

3.根據權利要求1所述的用于金屬鍍膜的矩形磁控濺射靶,其特征在于:所述中心磁鐵(43)、兩個端部磁鐵(42)和多個側部磁鐵(41)的外表面均包裹用于隔離冷卻水的塑料層。

4.根據權利要求1至3任意一項所述的用于金屬鍍膜的矩形磁控濺射靶,其特征在于:所述用于金屬鍍膜的矩形磁控濺射靶還包括靶扣板(7),所述靶扣板(7)將靶材(6)壓緊于靶背板(5)上。

5.根據權利要求1至3任意一項所述的用于金屬鍍膜的矩形磁控濺射靶,其特征在于:所述水冷靶座(3)與矩形安裝槽(11)之間設有絕緣件(2),且水冷靶座(3)與矩形安裝槽(11)的四周側壁之間具有一定間隙。

6.根據權利要求1至3任意一項所述的用于金屬鍍膜的矩形磁控濺射靶,其特征在于:所述矩形安裝槽(11)上的槽口端裝設有方框形的陽極板(8),所述陽極板(8)與靶扣板(7)之間具有一定間隙。

7.根據權利要求6所述的用于金屬鍍膜的矩形磁控濺射靶,其特征在于:所述矩形安裝槽(11)上的槽口端設有用于安裝陽極板(8)的第一螺紋孔(111),所述矩形安裝槽(11)的側壁上設有可與所述第一螺紋孔(111)連通的排氣孔(9)。

8.根據權利要求1至3任意一項所述的用于金屬鍍膜的矩形磁控濺射靶,其特征在于:所述水冷靶座(3)上設有用于安裝靶背板(5)的第二螺紋孔(32),所述水冷靶座(3)的側壁設有可與所述第二螺紋孔(32)連通的排氣孔(9)。

9.根據權利要求1至3任意一項所述的用于金屬鍍膜的矩形磁控濺射靶,其特征在于:所述矩形安裝槽(11)的底部設有可供冷卻進水管、冷卻出水管穿過的進口和出口,以及可供電極線穿過的電極引入孔,所述冷卻進水管和冷卻出水管均與水冷靶座(3)連通,所述電極線穿過電極引入孔與水冷靶座(3)連接。

10.根據權利要求1至3任意一項所述的用于金屬鍍膜的矩形磁控濺射靶,其特征在于:所述端部磁鐵(42)的內側面為圓弧面。

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