技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及輥式輸送設(shè)備及板狀體的檢查裝置、以及玻璃板的制造裝置。

背景技術(shù)：

作為液晶顯示器等的FPD(Flat Panel Display：平板顯示器)用玻璃板的制造方法的一例，已知有使用了被稱為浮法的成形法的浮法制造方法。

浮法制造方法具備：向積存于浮槽的熔融金屬的表面供給熔融玻璃而成形為帶狀玻璃板的成形工序；將所述帶狀玻璃板切斷成規(guī)定尺寸的矩形形狀的玻璃板，并對(duì)切斷后的玻璃板的周緣部進(jìn)行磨削的切斷倒角工序；對(duì)于所述玻璃板的被研磨面，通過(guò)研磨裝置對(duì)該被研磨面的微小的凹凸或起伏進(jìn)行研磨除去的研磨工序；及檢查工序。

所述檢查工序具備：對(duì)研磨結(jié)束后的玻璃板進(jìn)行刷清洗之后，通過(guò)高壓水進(jìn)行清洗的清洗工序；將來(lái)自氣刀噴嘴的壓縮空氣向玻璃板噴射而對(duì)玻璃板進(jìn)行干燥清潔化的干燥清潔化工序；及測(cè)定被研磨面的平坦度(起伏高度相對(duì)于起伏間距的比率)的平坦度測(cè)定工序。

通過(guò)經(jīng)由這些工序，將玻璃板制造成適合于FPD用玻璃板的厚度0.2～1.5mm且平坦度高的玻璃板。

專利文獻(xiàn)1公開了以FPD用玻璃板為對(duì)象的批式的研磨裝置。專利文獻(xiàn)1的研磨裝置具備：吸附保持玻璃板的吸附片；由張?jiān)O(shè)有該吸附片的膜框構(gòu)成的膜體。根據(jù)該研磨裝置，向膜體與安裝膜體的托架之間供給加壓流體，通過(guò)加壓流體的壓力將由吸附片吸附保持的玻璃板的被研磨面壓緊于研磨墊，并使玻璃板與研磨墊相對(duì)旋轉(zhuǎn)(自轉(zhuǎn)及/或公轉(zhuǎn))來(lái)研磨被研磨面。而且，在研磨時(shí)，將漿液向研磨墊與被研磨面之間供給。需要說(shuō)明的是，由研磨墊研磨的玻璃板的被研磨面在FPD的制造工序中是制造TFT(Thin Film Transistor：薄膜晶體管)或CF(Color Filter：濾色器)的面，是要求高精度的平坦度的面。

另一方面，在平坦度測(cè)定工序中，檢查研磨后的玻璃板的被研磨面的平坦度是否收斂在適合于TFT或CF的制造的規(guī)格值內(nèi)。該平坦度的檢查例如使用專利文獻(xiàn)2公開的平坦度測(cè)定裝置(檢查裝置)進(jìn)行。

根據(jù)專利文獻(xiàn)2的平坦度測(cè)定裝置，將具有周期性的明暗的圖案向玻璃板照射，并接受透過(guò)了玻璃板的圖案或反射的圖案，實(shí)現(xiàn)為了檢測(cè)受光圖像中的明暗周期的偏差(相對(duì)于向玻璃板照射的圖案中的明暗周期的偏差)而向玻璃板照射的圖案中的明暗周期所對(duì)應(yīng)的尺寸的受光圖像中的區(qū)域的明暗的平均化，并基于平均化的信號(hào)來(lái)算出玻璃板的平坦度。

如上述那樣，在研磨工序(研磨裝置)中研磨了被研磨面的玻璃板由檢查工序(平坦度測(cè)定裝置)檢查被研磨面的平坦度，但是由于漿液附著于研磨結(jié)束后的玻璃板，因此通過(guò)檢查工序的所述清洗工序?qū)⒏街诓ＡО宓臐{液沖掉。然后，在平坦度測(cè)定裝置中，為了防止殘存于玻璃板的水滴、塵埃引起的誤檢測(cè)，在檢查工序的所述干燥清潔化工序中，通過(guò)來(lái)自氣刀噴嘴的壓縮空氣將水滴、塵埃除去，在對(duì)玻璃板進(jìn)行了干燥清潔化之后，實(shí)施基于平坦度測(cè)定裝置的平坦度測(cè)定。需要說(shuō)明的是，平坦度測(cè)定在未研磨玻璃板的玻璃板的制造方法例如熔化法中也實(shí)施。

另外，玻璃板通過(guò)由多根輥構(gòu)成的輥式輸送設(shè)備從研磨裝置到平坦度測(cè)定裝置被連續(xù)搬運(yùn)，鋪設(shè)在具有所述氣刀噴嘴的干燥生產(chǎn)線上的輥的軸承中，為了避免從軸承泄漏的潤(rùn)滑脂附著于玻璃板，而使用的是不使用潤(rùn)滑脂的具有自潤(rùn)滑性的氟樹脂等的樹脂制或?qū)⒎鷺渲葮渲扛灿谳S承鋼的軸承(以下，稱為樹脂軸承)。而且，也存在具有陶瓷制的滾動(dòng)體的樹脂軸承。

【在先技術(shù)文獻(xiàn)】

【專利文獻(xiàn)】

【專利文獻(xiàn)1】日本國(guó)特開2004-122351號(hào)公報(bào)

【專利文獻(xiàn)2】日本國(guó)專利第3411829號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

【發(fā)明要解決的課題】

然而，即便是不使用潤(rùn)滑脂的樹脂軸承，由于樹脂軸承的磨損也會(huì)產(chǎn)生樹脂的粉塵，在該粉塵飛散而附著于玻璃板的情況下，在基于平坦度測(cè)定裝置的檢查工序中存在導(dǎo)致誤檢測(cè)這樣的問(wèn)題。

本發(fā)明鑒于這樣的情況而作出，其目的在于提供一種輥由樹脂軸承支承的輥式輸送設(shè)備、且能夠抑制從樹脂軸承產(chǎn)生的粉塵的飛散的輥式輸送設(shè)備及板狀體的檢查裝置、以及玻璃板的制造裝置。

【用于解決課題的方案】

本發(fā)明為了實(shí)現(xiàn)所述目的，而提供一種輥式輸送設(shè)備，利用輥來(lái)搬運(yùn)板狀體，所述輥式輸送設(shè)備具備：多根輥，沿著所述板狀體的搬運(yùn)路徑配置；樹脂制或涂覆有樹脂的樹脂軸承，具有滾動(dòng)體、及夾持該滾動(dòng)體并以能夠滾動(dòng)的方式收容該滾動(dòng)體外圈和內(nèi)圈，將所述多根輥的各自的軸支承為旋轉(zhuǎn)自如；液體供給裝置，向所述滾動(dòng)體、所述外圈的與所述滾動(dòng)體相接的軌道面、及所述內(nèi)圈的與所述滾動(dòng)體相接的軌道面供給液體；及罩蓋，包圍所述樹脂軸承。

根據(jù)本發(fā)明，從液體供給裝置向樹脂軸承的滾動(dòng)體、外圈的與滾動(dòng)體相接的軌道面、內(nèi)圈的與滾動(dòng)體相接的軌道面供給液體，因此能夠使由于樹脂的磨損而產(chǎn)生的樹脂的粉塵向液體混入，而且，由于樹脂軸承由罩蓋包圍，因此能夠抑制所述粉塵的飛散。而且，液體作為潤(rùn)滑劑發(fā)揮作用，因此樹脂軸承的使用壽命延長(zhǎng)。

樹脂軸承由外圈、內(nèi)圈、滾動(dòng)體及保持器構(gòu)成，滾動(dòng)體、滾動(dòng)體與保持器的滑動(dòng)面、滾動(dòng)體相接的外圈的軌道面、及滾動(dòng)體相接的內(nèi)圈的軌道面是發(fā)塵部位。向該發(fā)塵部位供給液體而使產(chǎn)生的樹脂的粉塵封入液體的情況是本發(fā)明的特征。

〔樹脂軸承的定義〕

本發(fā)明的樹脂軸承是將構(gòu)成軸承的外圈、內(nèi)圈、滾動(dòng)體及保持器中的至少一個(gè)構(gòu)件形成為樹脂制或涂覆有樹脂的軸承。然而，當(dāng)所述構(gòu)件中的至少一個(gè)構(gòu)件形成為未涂覆樹脂的軸承鋼露出的構(gòu)件時(shí)，樹脂軸承的自潤(rùn)滑性下降。因此，作為優(yōu)選的樹脂軸承的結(jié)構(gòu)，全部的構(gòu)件優(yōu)選為樹脂制或向軸承鋼涂覆樹脂的構(gòu)件。

樹脂軸承的全部的構(gòu)件為樹脂制時(shí)的樹脂的材料沒(méi)有特別限定，但優(yōu)選為超高分子量聚乙烯(UHMW‐PE：ultra high molecular weight‐polyethylene)、聚四氟乙烯(PTFE：polytetrafluoroethylene)、或聚醚醚酮(PEEK：polyetheretherketone)。涂覆的樹脂的材料沒(méi)有特別限定，但優(yōu)選具有自潤(rùn)滑性的氟樹脂或聚酰亞胺樹脂。軸承(滾動(dòng)體、外圈及內(nèi)圈)的材料沒(méi)有特別限定，但優(yōu)選硬且具有耐磨損性的陶瓷或高碳鉻鋼。

而且，從強(qiáng)度、壽命及輕量化的觀點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選將外圈、內(nèi)圈及保持器設(shè)為超高分子量聚乙烯制并將滾動(dòng)體設(shè)為陶瓷制。

本發(fā)明的一方案優(yōu)選的是，所述液體供給裝置具備：支架構(gòu)件，具備對(duì)所述樹脂軸承的所述外圈進(jìn)行保持的保持部及所述液體的流路；及液體循環(huán)供給單元，向所述支架構(gòu)件的所述流路的入口供給所述液體，并將從所述流路的出口排出的所述液體向所述流路的入口循環(huán)供給。

根據(jù)本發(fā)明的一方案，在具備對(duì)樹脂軸承的外圈進(jìn)行保持固定的保持部的支架構(gòu)件上設(shè)有液體的流路，因此無(wú)需將流路與支架構(gòu)件另行設(shè)置，由此能夠削減零件個(gè)數(shù)。液體通過(guò)液體循環(huán)供給單元而向流路的入口供給，在通過(guò)流路的過(guò)程中向樹脂軸承的滾動(dòng)體、外圈的與滾動(dòng)體相接的軌道面、內(nèi)圈的與滾動(dòng)體相接的軌道面供給。并且，從流路的出口排出的液體利用液體循環(huán)供給單元而向流路的入口循環(huán)供給。需要說(shuō)明的是，若在液體的循環(huán)通路設(shè)置過(guò)濾器并通過(guò)該過(guò)濾器來(lái)捕獲向液體混入的粉塵，則能夠始終將清潔的液體向流路供給。

本發(fā)明的一方案優(yōu)選的是，所述支架構(gòu)件的所述流路具有：隔著所述保持部而設(shè)置在一側(cè)且與所述流路的入口連通的第一流路；及隔著所述保持部而設(shè)置在另一側(cè)且與所述流路的出口連通的第二流路，所述第一流路與所述第二流路經(jīng)由所述保持部而連通。

根據(jù)本發(fā)明的一方案，從流路的入口向第一流路供給的液體流過(guò)第一流路而向保持部流入。由此，向由保持部保持的樹脂軸承供給液體。并且，向樹脂軸承供給的液體從保持部向第二流路流入而流過(guò)第二流路，從流路的出口排出。通過(guò)將這樣的第一流路及第二流路設(shè)于支架構(gòu)件，能夠向樹脂軸承順暢地供給液體。

本發(fā)明的一方案優(yōu)選的是，在所述支架構(gòu)件的所述第一流路與所述保持部之間、及所述保持部與所述第二流路之間，分別具備在所述保持部堵住所述液體的堰堤構(gòu)件，所述樹脂軸承的滾動(dòng)體的一部分、所述外圈的軌道面的一部分、及所述內(nèi)圈的軌道面的一部分浸漬于被所述保持部堵住的所述液體。

根據(jù)本發(fā)明的一方案，由于通過(guò)堰堤構(gòu)件將向保持部供給的液體堵住，因此樹脂軸承的滾動(dòng)體的一部分、外圈的軌道面的一部分及內(nèi)圈的軌道面的一部分成為始終浸漬于液體的狀態(tài)。由此，能夠大幅抑制來(lái)自樹脂軸承的粉塵的飛散。

本發(fā)明的一方案優(yōu)選的是，所述輥的所述軸插通于所述樹脂軸承的所述內(nèi)圈，在隔著所述內(nèi)圈而位于兩側(cè)的所述軸上設(shè)置有滑動(dòng)防止構(gòu)件，所述滑動(dòng)防止構(gòu)件的端面抵接于所述內(nèi)圈的端面并利用緊固用具而固定于所述軸。

根據(jù)本發(fā)明的一方案，通過(guò)滑動(dòng)防止構(gòu)件的限動(dòng)作用，輥的軸相對(duì)于內(nèi)圈沿軸向不滑動(dòng)，能夠防止滑動(dòng)引起的發(fā)塵，因此來(lái)自樹脂軸承的發(fā)塵量能夠比以往減少。由此，能夠進(jìn)一步抑制粉塵的飛散。

另外，本發(fā)明為了實(shí)現(xiàn)所述目的，提供一種板狀體的檢查裝置，具備：一邊搬運(yùn)板狀體一邊進(jìn)行清洗的清洗部；一邊搬運(yùn)由所述清洗部清洗后的所述板狀體一邊進(jìn)行干燥并進(jìn)行清潔化的干燥清潔化部；及對(duì)由所述干燥清潔化部干燥并清潔化后的所述板狀體進(jìn)行檢查的檢查部，其中，將本發(fā)明的輥式輸送設(shè)備配置于所述干燥清潔化部。

根據(jù)本發(fā)明的板狀體的檢查裝置，由于將發(fā)明的輥式輸送設(shè)備配置于干燥清潔化部，因此能夠大幅減少所述粉塵附著于板狀體的情況引起的檢查裝置的誤檢測(cè)的發(fā)生頻度。

本發(fā)明的一方案優(yōu)選的是，所述板狀體是玻璃板。

根據(jù)本發(fā)明的一方案，由于在玻璃板的檢查裝置的干燥清潔化部配置有本發(fā)明的輥式輸送設(shè)備，因此玻璃板的檢查精度大幅提高。

另外，本發(fā)明提供一種玻璃板的制造裝置，具備：

成形部，將熔融玻璃成形為帶狀玻璃板；

切斷倒角部，將所述帶狀玻璃板切斷成規(guī)定尺寸的矩形形狀的玻璃板，并對(duì)切出的所述玻璃板的周緣部進(jìn)行磨削；

清洗部，一邊搬運(yùn)對(duì)周緣部進(jìn)行了磨削后的所述玻璃板一邊進(jìn)行清洗；

干燥清潔化部，一邊搬運(yùn)由所述清洗部清洗后的所述玻璃板一邊進(jìn)行干燥并進(jìn)行清潔化；及

檢查部，對(duì)由所述干燥清潔化部干燥并清潔化后的所述玻璃板進(jìn)行檢查，所述玻璃板的制造裝置中，

將本發(fā)明的輥式輸送設(shè)備配置于所述干燥清潔化部。

根據(jù)本發(fā)明的一方案，由于在玻璃板的檢查裝置的干燥清潔化部配置有本發(fā)明的輥式輸送設(shè)備，因此能夠制造出玻璃板的檢查精度大幅提高的玻璃板。

【發(fā)明效果】

根據(jù)本發(fā)明的輥式輸送設(shè)備，能夠抑制從樹脂軸承產(chǎn)生的樹脂的粉塵的飛散。由此，根據(jù)本發(fā)明的板狀體的檢查裝置，能夠大幅減少所述粉塵附著于板狀體的情況引起的誤檢測(cè)的發(fā)生頻度。

附圖說(shuō)明

圖1是表示液晶顯示器用的玻璃板制造裝置及玻璃板檢查裝置的各工序的框圖。

圖2是表示圖1的玻璃板檢查裝置的結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖3是表示圖1的玻璃板檢查裝置的清洗裝置及干燥清潔化裝置的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。

圖4是詳細(xì)表示輥式輸送設(shè)備的結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖5是從圖4的A-A′線觀察到的輥式輸送設(shè)備的主視圖。

圖6是樹脂軸承及支架構(gòu)件的從上方觀察到的組裝立體圖。

圖7是圖6的支架構(gòu)件的從下方觀察到的立體圖。

圖8是表示包含支架構(gòu)件的液體供給裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。

圖9是固定于支架構(gòu)件的樹脂軸承由罩蓋包圍的立體圖。

圖10是在圖9中將罩蓋拆下的樹脂軸承及支架構(gòu)件的側(cè)視圖。

【標(biāo)號(hào)說(shuō)明】

10…玻璃板制造裝置，12…玻璃板檢查裝置，14…成形工序，16…切斷倒角工序，18…研磨工序，20…清洗工序，22…干燥清潔化工序，24…平坦度測(cè)定工序，26…清洗裝置，28…干燥清潔化裝置，30…玻璃板，32…輥式輸送設(shè)備，34…刷清洗部，36…輥式輸送設(shè)備，38…旋轉(zhuǎn)刷，40、42…高壓水噴射裝置，44、46…噴嘴，48…殼體，49…干燥清潔化空間，50、52…氣刀噴嘴，54…輥，54A、54B、54C…輥，56…樹脂軸承，57…齒輪機(jī)構(gòu)，58…軸，59…驅(qū)動(dòng)部，60…圓盤體，61…環(huán)狀緩沖構(gòu)件，62…支架構(gòu)件，64…液體供給裝置，66…罩蓋，68…滾動(dòng)體，70…外圈，72…軌道面，74…內(nèi)圈，76…軌道面，76A…最下點(diǎn)，78…液體循環(huán)裝置，80…保持部，82…流路，84…流路的入口，86…流路的出口，88…泵，90…循環(huán)通路，92…上升通路，94…下降通路，96…第一流路，98…第二流路，100、102…堰堤構(gòu)件，104、106…切口，108…滑動(dòng)防止構(gòu)件，110…螺釘，112…電磁閥，114…控制部。

具體實(shí)施方式

以下，根據(jù)附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的輥式輸送設(shè)備及板狀體的檢查裝置的優(yōu)選的實(shí)施方式。

在實(shí)施方式中，說(shuō)明向設(shè)置在液晶顯示器用的玻璃板制造裝置上的玻璃板檢查裝置(板狀體的檢查裝置)適用的輥式輸送設(shè)備。然而，適用本發(fā)明的輥式輸送設(shè)備的裝置沒(méi)有限定為玻璃板檢查裝置。即，只要是防止從對(duì)輥式輸送設(shè)備的輥進(jìn)行支承的軸承產(chǎn)生的粉塵附著于板狀體的裝置都能夠適用本發(fā)明的輥式輸送設(shè)備。而且，雖然例示液晶顯示器用的玻璃板作為板狀體，但也可以是等離子體顯示器、有機(jī)EL顯示器等其他的FPD用玻璃板。而且，沒(méi)有限定為玻璃板，也可以是金屬制或樹脂制的板狀體。

圖1是表示液晶顯示器用的玻璃板制造裝置10及玻璃板檢查裝置12的各工序的框圖。

玻璃板制造裝置10的制造工序包括：由成形裝置(成形部)進(jìn)行的成形工序14；由切斷倒角裝置(切斷倒角部)進(jìn)行的切斷倒角工序16；由專利文獻(xiàn)1等公開的研磨裝置進(jìn)行的研磨工序18；由清洗裝置(清洗部)進(jìn)行的清洗工序20；由干燥清潔化裝置(干燥清潔化部)進(jìn)行的干燥清潔化工序22；及由專利文獻(xiàn)2等公開的平坦度測(cè)定裝置(檢查部)進(jìn)行的平坦度測(cè)定工序24。而且，玻璃板檢查裝置12的檢查工序包括清洗工序20、干燥清潔化工序22及平坦度測(cè)定工序24。

成形工序14是向積存于浮槽的熔融金屬的表面供給熔融玻璃而成形為帶狀玻璃板的工序。切斷倒角工序16是將所述帶狀玻璃板切斷成規(guī)定尺寸的矩形形狀的玻璃板并對(duì)切出的玻璃板的周緣部進(jìn)行磨削的工序。研磨工序18是對(duì)玻璃板的被研磨面的微小的凹凸或起伏進(jìn)行研磨而除去的工序。清洗工序20是在對(duì)研磨結(jié)束后的玻璃板進(jìn)行刷清洗之后，通過(guò)高壓水進(jìn)行清洗，將附著于玻璃板的漿液、研磨屑除去的工序。干燥清潔化工序22是將壓縮空氣向玻璃板噴射而對(duì)玻璃板進(jìn)行干燥清潔化的工序。平坦度測(cè)定工序24是對(duì)玻璃板的被研磨面的平坦度進(jìn)行測(cè)定的工序。通過(guò)上述的工序而玻璃板為適合于液晶顯示器用的玻璃板的厚度，且能得到平坦度高的玻璃板。

上述的玻璃板的制造方法基于浮法，但本實(shí)施方式也可以適用于熔化法等。需要說(shuō)明的是，在利用熔化法等將鍛造面形成為元件形成面的制造方法來(lái)制造玻璃板時(shí)，研磨工序18省略。

圖2是簡(jiǎn)要表示玻璃板檢查裝置12的結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖3是表示玻璃板檢查裝置12的清洗裝置(清洗工序20：參照?qǐng)D1)26及干燥清潔化裝置(干燥清潔化工序22：參照?qǐng)D1)28的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。

如圖2所示，通過(guò)研磨工序18研磨了被研磨面的玻璃板30借助輥式輸送設(shè)備32，依次通過(guò)構(gòu)成清洗裝置26的刷清洗部34、高壓水噴射裝置40、42(參照?qǐng)D3)、及干燥清潔化裝置28，向平坦度測(cè)定工序24的平坦度測(cè)定裝置搬入。需要說(shuō)明的是，輥式輸送設(shè)備32中的鋪設(shè)于干燥清潔化裝置28的輥式輸送設(shè)備36是具備樹脂軸承的實(shí)施方式的輥式輸送設(shè)備。而且，在圖2中，為了容易理解地圖示玻璃板30，不是由實(shí)線而是由雙點(diǎn)劃線表示。

圖4是詳細(xì)表示輥式輸送設(shè)備36的結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖5是從圖4的A-A′線觀察到的主視圖。

輥式輸送設(shè)備36的各輥由軸58和與玻璃板30的下表面抵接的多個(gè)圓盤體60、60…構(gòu)成，并將多個(gè)圓盤體60以規(guī)定的間隔配置于軸58。在圖2中，為了避免煩雜而省略圓盤體60的圖示，僅概略地圖示比圓盤體60的直徑小的樹脂軸承56及軸58。而且，如圖4及圖5所示，在與玻璃板30的下表面抵接的圓盤體60的外周部安裝有橡膠制或樹脂制的環(huán)狀緩沖構(gòu)件61，防止給玻璃板30的下表面造成傷痕。

如圖4及圖5那樣，軸58的兩端部從干燥清潔化裝置28的殼體48向外方突出地配置，經(jīng)由齒輪機(jī)構(gòu)57而與驅(qū)動(dòng)部59連結(jié)。軸58將來(lái)自驅(qū)動(dòng)部59的動(dòng)力經(jīng)由齒輪機(jī)構(gòu)57傳遞，從而被驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)，由此圓盤體60旋轉(zhuǎn)而搬運(yùn)玻璃板30。

圖2所示的刷清洗部34具備配置在輥式輸送設(shè)備32的上方且以玻璃板30的被研磨面的鉛垂方向?yàn)檩S而沿水平方向旋轉(zhuǎn)的多臺(tái)旋轉(zhuǎn)刷38、38…。玻璃板30一邊由輥式輸送設(shè)備32搬運(yùn)，一邊通過(guò)與被研磨面抵接而旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)刷38、38…將附著于被研磨面的漿液及研磨塵埃除去。

高壓水噴射裝置40如圖3所示隔著輥式輸送設(shè)備32而配置在上方，高壓水噴射裝置42隔著輥式輸送設(shè)備32而配置在下方。如圖3的左側(cè)的箭頭所示，玻璃板30一邊由輥式輸送設(shè)備32搬運(yùn)，一邊通過(guò)從高壓水噴射裝置40的噴嘴44噴射出的高壓水來(lái)清洗其被研磨面(上表面)，并通過(guò)從高壓水噴射裝置42的噴嘴46噴射出的高壓水來(lái)清洗其下表面。

通過(guò)了清洗裝置26的玻璃板30由輥式輸送設(shè)備32搬入到干燥清潔化裝置28的殼體48內(nèi)。并且，在通過(guò)配置在殼體48內(nèi)的輥式輸送設(shè)備36進(jìn)行的搬運(yùn)中，附著于玻璃板30的水滴、塵埃等由來(lái)自多個(gè)氣刀噴嘴50、52(在圖2及圖3中為各1個(gè))的壓縮空氣除去。如圖2的下側(cè)的箭頭及圖3的右側(cè)的箭頭所示，通過(guò)了氣刀噴嘴50、52的玻璃板30向平坦度測(cè)定工序24搬運(yùn)。需要說(shuō)明的是，配置有氣刀噴嘴50、52的干燥清潔化空間49由殼體48密閉。由此，在殼體48的外側(cè)浮游的粉塵不會(huì)侵入干燥清潔化空間49。而且，在圖2～圖4中，將氣刀噴嘴50、52上下配置一對(duì)，但也可以隔開間隔地將多對(duì)氣刀噴嘴配置在殼體48內(nèi)。

氣刀噴嘴50在輥式輸送設(shè)備36的上方且沿著玻璃板30的搬運(yùn)方向設(shè)置。氣刀噴嘴52在輥式輸送設(shè)備36的下方且沿著玻璃板30的搬運(yùn)方向設(shè)置。而且，氣刀噴嘴50與氣刀噴嘴52在上下方向上成對(duì)設(shè)置。而且，氣刀噴嘴50、52為了有效地除去附著于玻璃板30的水滴、塵埃等，而如圖2那樣相對(duì)于玻璃板30的搬運(yùn)方向傾斜規(guī)定角度地配置。

此外，輥式輸送設(shè)備36為了將來(lái)自氣刀噴嘴52的壓縮空氣高效地向玻璃板30的下表面噴射，而如圖2、圖4及圖5那樣將配置氣刀噴嘴52的部分切斷。

即，當(dāng)著眼于構(gòu)成輥式輸送設(shè)備36的多根輥中的圖2的標(biāo)號(hào)54所示的輥時(shí)，該輥54避開氣刀噴嘴52的配置位置而分割成2根輥54A、54B。并且，從殼體48向外部突出的輥54A的左端部支承于未圖示的一般的軸承(軸承鋼制的軸承)，位于殼體48內(nèi)的輥54A的右端部支承于實(shí)施方式的樹脂軸承56。而且，從殼體48向外部突出的輥54B的右端部支承于未圖示的一般的軸承(軸承鋼制的軸承)，位于殼體48內(nèi)的輥54B的左端部支承于樹脂軸承56。即，樹脂軸承56適用于在殼體內(nèi)配置的軸承。

需要說(shuō)明的是，關(guān)于構(gòu)成輥式輸送設(shè)備36的其他的多根輥，基本上成為與輥54同樣的結(jié)構(gòu)，因此省略其說(shuō)明。

接著，說(shuō)明具備樹脂軸承56的輥式輸送設(shè)備36的基本的結(jié)構(gòu)及作用。

圖6是樹脂軸承56及對(duì)樹脂軸承56進(jìn)行支承的大致長(zhǎng)方體形狀的支架構(gòu)件62的從上方觀察到的組裝立體圖，圖7是支架構(gòu)件62的從下方觀察到的立體圖，圖8是表示包含支架構(gòu)件62的液體供給裝置64的結(jié)構(gòu)的框圖，在支架構(gòu)件62處為主視圖，為了觀察到圖6所示的堰堤構(gòu)件100而將一部分剖切表示。圖9是固定于支架構(gòu)件62的樹脂軸承56由透明樹脂制的罩蓋66包圍的立體圖，圖10是在圖9中將罩蓋66拆下的樹脂軸承56及支架構(gòu)件62的側(cè)視圖。

圖4及圖5所示的實(shí)施方式的輥式輸送設(shè)備36為了避免在殼體48內(nèi)從軸承漏出的潤(rùn)滑脂附著于檢查前的玻璃板30，而使用的是不使用潤(rùn)滑脂的具備自潤(rùn)滑性的樹脂軸承56作為配置在殼體48內(nèi)的軸承。并且，設(shè)有向圖6那樣的樹脂軸承56的滾動(dòng)體68、外圈70的與滾動(dòng)體68相接的內(nèi)周面即軌道面72、內(nèi)圈74的與滾動(dòng)體68相接的外周面即軌道面76、及保持滾動(dòng)體68的保持器(未圖示)供給液體(例如純水、城市水、或地下水等水)的、圖8的液體供給裝置64。而且，如圖9那樣設(shè)置包圍樹脂軸承56的罩蓋66。需要說(shuō)明的是，圖6所示的粗箭頭表示樹脂軸承56相對(duì)于支架構(gòu)件62的組裝方向，細(xì)箭頭表示支架構(gòu)件62中的所述液體的流動(dòng)方向。

通過(guò)上述結(jié)構(gòu)，根據(jù)實(shí)施方式的輥式輸送設(shè)備36，由于從液體供給裝置64向樹脂軸承56的滾動(dòng)體68、外圈70的與滾動(dòng)體68相接的軌道面72、內(nèi)圈74的與滾動(dòng)體68相接的軌道面76、及保持器供給液體，因此由于樹脂軸承56的磨損而產(chǎn)生的樹脂的粉塵會(huì)混入液體。由此，能夠減少來(lái)自樹脂軸承56的發(fā)塵量，而且，由于樹脂軸承56由罩蓋66包圍，因此從樹脂軸承56產(chǎn)生的粉塵中的未混入液體的粉塵不會(huì)向罩蓋66外飛散。因此，根據(jù)實(shí)施方式的輥式輸送設(shè)備36，能夠抑制從樹脂軸承56產(chǎn)生的粉塵的飛散。

另外，根據(jù)具備實(shí)施方式的輥式輸送設(shè)備36的玻璃板檢查裝置12，能夠大幅減少所述粉塵附著于玻璃板30的情況引起的平坦度測(cè)定工序24中的誤檢測(cè)的發(fā)生頻度，因此基于平坦度測(cè)定裝置的玻璃板30的檢查精度大幅提高。

需要說(shuō)明的是，實(shí)施方式的樹脂軸承56從強(qiáng)度、壽命及輕量化的觀點(diǎn)出發(fā)，外圈70、內(nèi)圈74及所述保持器是超高分子量聚乙烯制，滾動(dòng)體68是陶瓷制。而且，向樹脂軸承56供給的液體作為潤(rùn)滑劑發(fā)揮作用，因此也具有樹脂軸承56的使用壽命延長(zhǎng)這樣的優(yōu)點(diǎn)。

接著，說(shuō)明液體供給裝置64的特征。

液體供給裝置64具備圖8那樣大致長(zhǎng)方體形狀的支架構(gòu)件62和液體循環(huán)裝置(液體循環(huán)供給單元)78。支架構(gòu)件62在其上表面具備保持部80且具備圖6那樣的液體的槽狀的流路82，該保持部80具有通過(guò)嵌合來(lái)保持樹脂軸承56的外圈70的下半部分的圓弧狀的凹曲面。而且，在圖7所示的支架構(gòu)件62的下部的一端設(shè)有流路82(參照?qǐng)D6)的入口84，并且在另一端設(shè)有流路82的出口86。

圖8的液體循環(huán)裝置78具有循環(huán)通路90，該循環(huán)通路90具備向流路82的入口84供給液體并將從流路82的出口86排出的液體向流路82的入口84循環(huán)供給的泵88。從流路82的入口84供給的液體經(jīng)由設(shè)于支架構(gòu)件62的上升通路92向支架構(gòu)件62的上表面的流路82供給，在通過(guò)了流路82之后，經(jīng)由設(shè)于支架構(gòu)件62的下降通路94從出口86排出。

根據(jù)如此構(gòu)成的液體供給裝置64，在具備固定樹脂軸承56的保持部80的支架構(gòu)件62設(shè)有液體的流路82，因此無(wú)需將流路82與支架構(gòu)件62另行設(shè)置，由此能夠削減零件個(gè)數(shù)。

另外，液體借助液體循環(huán)裝置78在通過(guò)流路82的過(guò)程中向樹脂軸承56的滾動(dòng)體68、外圈70的與滾動(dòng)體68相接的軌道面72、內(nèi)圈74的與滾動(dòng)體68相接的軌道面76供給。并且，從流路82的出口86排出的液體借助泵88向流路82的入口84循環(huán)供給。需要說(shuō)明的是，若在液體的循環(huán)通路90設(shè)置過(guò)濾器，并通過(guò)該過(guò)濾器來(lái)捕獲混入液體的粉塵，則能夠始終將粉塵的含有量少的液體向流路82供給。

接著，說(shuō)明流路82的特征。

支架構(gòu)件62的流路82如圖6那樣具備第一流路96和第二流路98。而且，第一流路96與第二流路98經(jīng)由保持部80而連通。

第一流路96隔著保持部80的圓弧狀的凹曲面而設(shè)置在一方側(cè)，并經(jīng)由上升通路92而與流路82的入口84連通。第二流路98隔著保持部80的圓弧狀的凹曲面而設(shè)置在另一方側(cè)，并經(jīng)由下降通路94而與流路82的出口86連通。上升通路92設(shè)置在第一流路96的一端，下降通路94設(shè)置在第二流路98的另一端，但是上升通路92及下降通路94的設(shè)置部位沒(méi)有特別限定，也可以設(shè)置在各流路的中央。需要說(shuō)明的是，第二流路98的另一端是與所述第一流路96的一端所設(shè)置的一側(cè)相反的一側(cè)。

根據(jù)如此構(gòu)成的流路82，從流路82的入口84經(jīng)由上升通路92向第一流路96供給的液體流過(guò)第一流路96，向保持部80流入。由此，向由保持部80保持的樹脂軸承56供給液體。并且，向樹脂軸承56供給的液體從保持部80向第二流路98流入而流過(guò)第二流路98，經(jīng)由下降通路94從流路82的出口86排出。通過(guò)將這樣的第一流路96及第二流路98設(shè)于支架構(gòu)件62，能夠向樹脂軸承56順暢地供給液體。

接著，說(shuō)明第一流路96和第二流路98的特征。

在支架構(gòu)件62的第一流路96與保持部80之間、及保持部80與第二流路98之間，分別具備在保持部80堵住(積存)液體的堰堤構(gòu)件100、102。由此，在由保持部80堵住的液體中浸漬有樹脂軸承56的滾動(dòng)體68的一部分、外圈70的軌道面72的一部分及內(nèi)圈74的軌道面76的一部分。

根據(jù)具備這樣的堰堤構(gòu)件100、102的第一流路96及第二流路98，通過(guò)堰堤構(gòu)件100、102能夠堵住向保持部80供給的液體，因此位于樹脂軸承56的下部的滾動(dòng)體68、外圈70的與該滾動(dòng)體68相接的軌道面72、及內(nèi)圈74的與該滾動(dòng)體68相接的軌道面76成為始終沒(méi)入(浸漬于)液體的狀態(tài)。由此，能夠大幅抑制來(lái)自樹脂軸承56的粉塵的飛散。

需要說(shuō)明的是，在堰堤構(gòu)件100的上部中央具備使液體從第一流路96向保持部80流入的凹狀的切口104，在堰堤構(gòu)件102的上部中央具備使液體從保持部80向第二流路98流入的凹狀的切口106。切口104、106的底部的高度、即由保持部80堵住的液體的水面設(shè)定在比固定于保持部80的樹脂軸承56的圖8中雙點(diǎn)劃線所示的內(nèi)圈74的軌道面76的最下點(diǎn)76A靠上方的位置。由此，樹脂軸承56的滾動(dòng)體68的一部分、外圈70的與該滾動(dòng)體68相接的軌道面72的一部分、及內(nèi)圈74的與該滾動(dòng)體68相接的軌道面76的一部分始終浸漬于液體。

然而，圖10那樣輥式輸送設(shè)備36的輥的軸58經(jīng)由一對(duì)滑動(dòng)防止構(gòu)件108、108而固定于樹脂軸承56的內(nèi)圈74。即，該固定方法首先將軸58插通于內(nèi)圈74。接著，從內(nèi)圈74的兩端面各自的方向?qū)A圈狀的滑動(dòng)防止構(gòu)件108、108向軸58嵌入。接著，使各個(gè)滑動(dòng)防止構(gòu)件108、108的與內(nèi)圈74相對(duì)的端面與內(nèi)圈74的兩側(cè)端面接觸。即，利用滑動(dòng)防止構(gòu)件108、108將內(nèi)圈74夾持。需要說(shuō)明的是，滑動(dòng)防止構(gòu)件108的外徑優(yōu)選為內(nèi)圈74的外徑以下。若滑動(dòng)防止構(gòu)件108的外徑為內(nèi)圈74的外徑以下，則不會(huì)阻礙液體的流動(dòng)。并且，最后，向從滑動(dòng)防止構(gòu)件108的外周面朝向內(nèi)周面設(shè)置的貫通螺紋孔插通螺釘(緊固用具)110、110，將2個(gè)滑動(dòng)防止構(gòu)件108、108固定于軸58。由此，輥式輸送設(shè)備36的輥的軸58經(jīng)由滑動(dòng)防止構(gòu)件108、108而固定于樹脂軸承56的內(nèi)圈74。

輥的軸58相對(duì)于內(nèi)圈74，通過(guò)滑動(dòng)防止構(gòu)件108、108的限動(dòng)作用來(lái)不會(huì)沿軸向的滑動(dòng)。由此，能夠防止所述滑動(dòng)引起的從樹脂軸承56的內(nèi)圈74的發(fā)塵，因此能夠更進(jìn)一步抑制粉塵的飛散。

另外，如圖8那樣，液體供給裝置64具備向液體循環(huán)裝置78的循環(huán)通路90開始及停止液體的供給的電磁閥(閥)112。根據(jù)需要而對(duì)電磁閥112進(jìn)行開閉，由此能夠開始及停止液體的供給。

而且，電磁閥112進(jìn)行的液體的供給的開始動(dòng)作及停止動(dòng)作由控制部114控制。在不需要始終向樹脂軸承56供給液體時(shí)，只要通過(guò)控制部114每規(guī)定時(shí)間對(duì)電磁閥112進(jìn)行開閉控制，來(lái)進(jìn)行液體的供給的開始動(dòng)作及停止動(dòng)作即可。而且，控制部114為了節(jié)電而僅在必要時(shí)使泵88運(yùn)轉(zhuǎn)。即，控制部114也控制泵88的運(yùn)轉(zhuǎn)/停止。

雖然詳細(xì)地而且參照特定的實(shí)施方式說(shuō)明了本發(fā)明，但是不脫離本發(fā)明的范圍和主旨而能夠施加各種修正或變更的情況對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)不言自明。

本申請(qǐng)基于2012年10月5日提出申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)2012-222761，并將其內(nèi)容作為參照而援引于此。