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一種靛藍(lán)色雙銀高隔熱節(jié)能窗膜及其制備方法與流程

文檔序號(hào):11147031閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種靛藍(lán)色雙銀高隔熱節(jié)能窗膜,在陽(yáng)光下呈靛藍(lán)色,其特征在于,所述窗膜的膜層結(jié)構(gòu)由內(nèi)向外依次為:

柔性透明PET基材層(1),厚度為23微米~50微米,其可見(jiàn)光透光率≥89%,霧度≤1.5;

第一高折射率層(2),厚度為31nm~33nm,折射率為2.36,所述第一高折射率層(2)由Nb2O5構(gòu)成;

第一金屬氧化物層(3),厚度為7nm~9nm,所述第一金屬氧化物層(3)由ZnO:Sn構(gòu)成;

第一銀合金層(4),厚度為15nm~17nm,所述第一銀合金層(4)由99%的Ag,1%的Cu構(gòu)成;

第一阻隔層(5),厚度為0.8nm~1nm,所述第一阻隔層(5)由NiCr構(gòu)成;

第二高折射率層(6),厚度為70nm~72nm,折射率為2.36,所述第二高折射率層(6)由Nb2O5構(gòu)成;

第二金屬氧化物層(7),厚度為10nm~12nm,所述第二金屬氧化物層(7)由ZnO:Sn構(gòu)成;

第二銀合金層(8),厚度為17nm~19nm,所述第二銀合金層(8)由98%的Ag,2%的Pd構(gòu)成;

第二阻隔層(9),厚度為1nm~1.2nm,所述第二阻隔層(9)由NiCr構(gòu)成;

第三高折射率層(10),厚度為25nm~37nm,折射率為2.06,所述第三高折射率層(10)由Si3N4構(gòu)成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靛藍(lán)色雙銀高隔熱節(jié)能窗膜,其特征在于,所述第一金屬氧化物層(3)的厚度小于等于所述第一銀合金層(4)的厚度的2/3;所述第二金屬氧化物層(7)的厚度小于等于所述第二銀合金層(8)的厚度的2/3。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靛藍(lán)色雙銀高隔熱節(jié)能窗膜,其特征在于,所述第一阻隔層(5)的厚度小于等于所述第一銀合金層(4)的厚度的1/5;所述第二阻隔層(9)的厚度小于等于所述第二銀合金層(8)的厚度的1/5。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靛藍(lán)色雙銀高隔熱節(jié)能窗膜,其特征在于,所述柔性透明PET基材層(1)的厚度為23微米;所述第一高折射率層(2)的厚度為32nm;所述第一金屬氧化物層(3)的厚度為8nm;所述第一銀合金層(4)的厚度為16nm;所述第一阻隔層(5)的厚度為0.9nm;所述第二高折射率層(6)的厚度為71nm;所述第二金屬氧化物層(7)的厚度為11nm;所述第二銀合金層(8)厚度為18nm;所述第二阻隔層(9)的厚度為1.1nm;所述第三高折射率層(10)的厚度為36nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的靛藍(lán)色雙銀高隔熱節(jié)能窗膜,其特征在于,所述靛藍(lán)色雙銀高隔熱節(jié)能窗膜在可見(jiàn)光范圍的透光率為68.3%、在波長(zhǎng)為780nm~2500nm的紅外光范圍的透光率為9.8%、在波長(zhǎng)為950nm波長(zhǎng)處的紅外阻隔率為94.2%、在波長(zhǎng)為1400nm波長(zhǎng)處的紅外阻隔率為99.1%。

6.一種根據(jù)權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的靛藍(lán)色雙銀高隔熱節(jié)能窗膜的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:

(1)提供柔性透明PET膜作為所述柔性透明PET基材層(1);

(2)通過(guò)雙旋轉(zhuǎn)陰極、中頻反應(yīng)磁控濺射的方式在所述柔性透明PET基材層(1)上沉積所述第一高折射率層(2);

(3)通過(guò)單旋轉(zhuǎn)陰極、直流反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第一高折射率層(2)上沉積所述第一金屬氧化物層(3);

(4)通過(guò)單平面陰極、直流反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第一金屬氧化物層(3)上沉積所述第一銀合金層(4);

(5)通過(guò)單平面陰極、直流反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第一銀合金層(4)上沉積所述第一阻隔層(5);

(6)通過(guò)雙旋轉(zhuǎn)陰極、中頻反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第一阻隔層(5)上沉積所述第二高折射率層(6);

(7)通過(guò)單旋轉(zhuǎn)陰極、直流反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第二高折射率層(6)上沉積所述第二金屬氧化物層(7);

(8)通過(guò)單平面陰極、直流反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第二金屬氧化物層(7)上沉積所述第二銀合金層(8);

(9)通過(guò)單平面陰極、直流反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第二銀合金層(8)上沉積所述第二阻隔層(9);

(10)通過(guò)雙旋轉(zhuǎn)陰極、中頻反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第二阻隔層(9)上沉積所述第三高折射率層(10)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的靛藍(lán)色雙銀高隔熱節(jié)能窗膜的制備方法,其特征在于,在磁控濺射沉積鍍膜時(shí),所有腔室內(nèi)的溫度分別恒定在-15℃~15℃。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的靛藍(lán)色雙銀高隔熱節(jié)能窗膜的制備方法,其特征在于,所述步驟(2)、步驟(3)、步驟(6)、步驟(7)、步驟(10)均包括:相應(yīng)腔室中通入體積比為10:1~100:1的氬氣和氧氣的混合氣體,設(shè)定濺射真空度10-6Torr,鍍膜穩(wěn)定氣壓為10-3Torr;雙旋轉(zhuǎn)陰極、中頻反應(yīng)磁控濺射功率為20Kw~50Kw;單旋轉(zhuǎn)陰極、直流反應(yīng)磁控濺射功率為2Kw~5Kw。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的靛藍(lán)色雙銀高隔熱節(jié)能窗膜的制備方法,其特征在于,所述步驟(4)、步驟(5)、步驟(8)、步驟(9)均包括:相應(yīng)腔室中通入純度不小于99.99%的氬氣,設(shè)定濺射真空度10-6Torr,鍍膜穩(wěn)定氣壓為10-3Torr;單平面陰極、直流反應(yīng)磁控濺射功率為0.5Kw~8Kw。

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