技術特征：

1.一種環管式低壓化學氣相沉淀腔，包括腔體(1)，所述腔體(1)中內置有導氣結構(3)及用于支撐晶圓的支撐結構(2)，其特征在于：所述導氣結構(3)為一環形腔套，所述環形腔套的內壁安裝有多根徑向設置的導氣管(4)，所述支撐結構(2)包括一支撐軸，所述支撐軸軸向設置于所述環形腔套中，支撐軸的周壁上借助卡夾(5)夾持晶圓(6)，所述導氣管(4)置于相鄰的晶圓(6)之間。