技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種具有新型納米多層結(jié)構(gòu)的薄膜及其制備方法，納米多層結(jié)構(gòu)的薄膜由依次沉積在基體上的鋯底層及鋯?氮化鋯?碳多層結(jié)構(gòu)構(gòu)成。其中，鋯底層厚度為200?300nm，可提高薄膜的承載能力及與金屬基底的結(jié)合力。鋯?氮化鋯?碳多層結(jié)構(gòu)由鋯單層、氮化鋯單層及非晶碳單層構(gòu)成，其中“氮化鋯單層?鋯單層?非晶碳單層?鋯單層”組成一個(gè)重復(fù)單元，多層結(jié)構(gòu)由若干個(gè)重復(fù)單元構(gòu)成。多層結(jié)構(gòu)中，鋯單層為密排六方結(jié)構(gòu)，氮化鋯單層為面心立方結(jié)構(gòu)。納米多層的薄膜具有高承載能力、高耐腐蝕及高耐磨的特點(diǎn)，并具有良好的生物相容性，在金屬關(guān)節(jié)領(lǐng)域具有應(yīng)用前景。

技術(shù)研發(fā)人員：白文琦;涂江平;王秀麗;金攻;李瑞玲;李玲玲;謝躍軍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中奧匯成科技股份有限公司
文檔號(hào)碼：201611012186
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.17
技術(shù)公布日：2017.03.22