技術總結
本發明公開了化學技術領域的一種金屬有機化學氣相沉積反應系統，包括反應室，所述反應室的頂部安裝有頂蓋，所述反應室與頂蓋的連接處設置有密封墊圈，所述頂蓋的底部均勻安裝有金屬反應源出口，所述頂蓋的頂部連接有分氣頭，所述分氣頭的頂部連接有金屬反應源進氣管，所述金屬反應源進氣管的右端連接有金屬反應源鼓泡箱，所述金屬反應源鼓泡箱的右端通過管道連接有鼓風機，該金屬有機化學氣相沉積反應系統，通過三組加熱裝置的組合加熱，使得反應室內的熱空氣形成對流，從而加熱更加均勻，通過電機等一系列的傳動使得承載盤和基板轉動，使得反應后的薄膜均勻的覆蓋在基板的表面。

技術研發人員：崔乘幸;鄧紹新;劉露;焦紅艷;張中印;張裕平
受保護的技術使用者：河南科技學院
文檔號碼：201611101614
技術研發日：2016.12.05
技術公布日：2017.05.31