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納米多孔金及其制備方法與流程

文檔序號:12109649閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.納米多孔金,其特征在于:其孔隙率沿厚度呈梯度變化。

2.根據權利要求1所述的納米多孔金,其特征在于:所述孔隙率沿厚度呈梯度變化為孔隙率沿厚度呈線性變化。

3.根據權利要求2所述的納米多孔金,其特征在于:所述孔隙率沿厚度呈線性變化由Au含量從5~40%線性變化到30~40%的納米多孔金前驅體經去合金化處理實現,所述的納米多孔金前驅體為金與其他金屬所形成的合金,所述的其他金屬為Ag、Cu或Al中的至少一種。

4.根據權利要求3所述的納米多孔金,其特征在于:所述納米多孔金前驅體中Au含量從15~25%線性變化到35~40%。

5.根據權利要求4所述的納米多孔金,其特征在于:所述納米多孔金前驅體中Au含量從20%線性變化到40%。

6.納米多孔金的制備方法,其特征在于:包括以下步驟:

A、采用磁控共濺射薄膜沉積法制備納米多孔金前驅體;一靶材為Au靶,另一靶材為活潑金屬靶;控制任一靶材功率不變,另一靶材功率變化或控制兩個靶材功率變化但變化不同;

B、將納米多孔金前驅體在酸性溶液中進行去合金化處理即可。

7.根據權利要求6所述的納米多孔金的制備方法,其特征在于:步驟A中,采用磁控共濺射薄膜沉積法沉積時,先控制裝置背底真空度高于2.5×10-4Pa,然后通入濺射氣體氬氣將壓力控制為0.1~2Pa。

8.根據權利要求6所述的納米多孔金的制備方法,其特征在于:步驟A中,所述活潑金屬靶為Ag、Cu或Al中的任意一種。

9.根據權利要求6所述的納米多孔金的制備方法,其特征在于:步驟A中,所述另一靶材功率變化為線性變化。

10.根據權利要求6所述的納米多孔金的制備方法,其特征在于:步驟A中,通過控制沉積時間來控制納米多孔金前驅體的厚度。

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