技術總結
本發明公開了一種旋轉銀靶材的晶粒輥壓細化裝置，包括第一安裝架、第二安裝架、座架、驅動器、第一輥壓輪組和第二輥壓輪組。第一輥壓輪組安于第一安裝架并與第一安裝架位于旋轉銀靶材徑向的一側處，第二輥壓輪組安于第二安裝架并與第二安裝架位于旋轉銀靶材徑向的另一側處，驅動器安在座架上并與第一安裝架及第二安裝架中至少一者連接；當驅動器驅使第一安裝架和第二安裝架相對運動而使第一輥壓輪組和第二輥壓輪組一起抱緊旋轉銀靶材時，則被主軸帶動旋轉的旋轉銀靶材被第一輥壓輪組和第二輥壓輪組一起輥壓細化，托板帶動第一輥壓輪組和第二輥壓輪組沿旋轉銀靶材的軸向輥壓細化旋轉銀靶材的各處，以提高旋轉銀靶材的均勻性和降低其晶粒大小。

技術研發人員：崔新禮;黃穎;余華駿;王聲容
受保護的技術使用者：東莞南玻工程玻璃有限公司;中國南玻集團股份有限公司
文檔號碼：201611155034
技術研發日：2016.12.14
技術公布日：2017.05.10