1.一種Ti-Ag-N納米復(fù)合涂層,其特征在于:按離基體的遠(yuǎn)近區(qū)分,從內(nèi)到外依次包括:在基體表面Ti膜形成的過渡層、TiN膜形成的中間層和Ti-Ag-N層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Ti-Ag-N納米復(fù)合涂層的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
(1)鍍過渡層:采用純鈦靶,當(dāng)真空室內(nèi)真空度達(dá)到2×10-3Pa~4×10-2Pa時,對真空室加熱至300~500℃;向真空室通入氬氣,設(shè)定所需的氣體流量為30~300sccm,氣壓控制在0.5~2Pa之間;基體加脈沖負(fù)偏壓在-500~-1000V范圍,使氣體發(fā)生輝光放電,對樣品進(jìn)行輝光清洗10~60min;調(diào)整氬氣流量,使真空室氣壓為0.1~1.0Pa,同時開啟鈦靶弧源,弧電流為60~150A,對樣工件繼續(xù)進(jìn)行Ti離子轟擊1~20min;調(diào)脈沖負(fù)偏壓至-100V~-600V,沉積Ti膜即過渡層1~10min;
(2)鍍TiN層:采用純鈦靶,停氬氣,通氮氣,設(shè)定氣壓為0.2~2Pa范圍;對基體施加脈沖負(fù)偏壓-100V~-600V;調(diào)節(jié)靶電流為50~150A,沉積時間為1~20min;
(3)鍍Ti-Ag-N層:停氬氣,通氮氣,氮氣流量控制在10~200sccm,設(shè)定氣壓為0.2~3Pa范圍;對基體施加脈沖負(fù)偏壓-100V~-600V;調(diào)制靶電流為60~200A,沉積時間為20~300min;
(4)沉積結(jié)束后,迅速停弧、停基體脈沖負(fù)偏壓、停止通入氣體,繼續(xù)抽真空,工件隨爐冷卻至100℃以下。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的Ti-Ag-N納米復(fù)合涂層的制備方法,在所使用的鈦銀合金靶的靶材中,銀的含量為5-40%。