技術總結
本發明公開了一種高效氮摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法，包括如下步驟：（1）清洗玻璃基片，后用高壓N2吹干；（2）采用直流耦合射頻磁控濺射的方法沉積氮摻雜二氧化鈦薄膜，即射頻電源與匹配器相連接后與直流電源一起連接至濾波器，濾波器直接連接陰極，射頻電源和直流電源一起供電給陰極。本發明采用直流耦合射頻磁控濺射的方法沉積氮摻雜二氧化鈦薄膜，從而得到沉積速率快，膜層質量高的薄膜。本發明工藝簡單，條件易控，制備周期短，易于規模放大。制備的氮摻雜二氧化鈦薄膜結晶度高，與基底結合牢固，穩定性好，可重復使用。

技術研發人員：彭壽;馬立云;楊勇;姚婷婷;李剛;金克武;沈洪雪;王天齊;甘治平;徐根保
受保護的技術使用者：蚌埠玻璃工業設計研究院;中國建材國際工程集團有限公司
文檔號碼：201611188589
技術研發日：2016.12.21
技術公布日：2017.05.10