1.一種管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置,其特征在于:包括石墨舟輸送裝置、工藝點推出裝置和工藝點收納裝置,所述工藝點推出裝置設置在所述石墨舟輸送裝置的正上方,所述工藝點收納裝置可拆卸安裝在所述石墨舟輸送裝置的正下方;
所述石墨舟輸送裝置包括石墨舟固定夾具和驅動石墨舟固定夾具移動的移動裝置,所述石墨舟固定夾具滑動安裝在所述移動裝置上;
所述石墨舟固定夾具包括底板(1),所述底板(1)上固定安裝有安裝塊(2),所述安裝塊(2)上開有直角開口(3),兩個所述安裝塊(2)對稱設置,所述底板(1)上開有螺紋孔,所述螺紋孔內螺紋安裝有螺釘(4),所述底板(1)上開有若干與石墨舟(18)上的工藝孔相對應的工藝通孔(5);
所述工藝點推出裝置包括導向裝置和推出裝置,所述導向裝置與所述推出裝置相對設置;
所述導向裝置包括導向板(6)和驅動導向板(6)升降的升降裝置,所述導向板(6)固定安裝在所述升降裝置上,所述導向板(6)上開有若干導向孔(7),若干所述導向孔(7)與石墨舟(18)上的工藝孔相對應;
所述推出裝置包括推板(9)和驅動推板(9)升降的升降裝置,所述推板(9)固定安裝在所述升降裝置上,所述推板(9)上固定安裝有若干與石墨舟(18)上的工藝孔相對應的推桿(10),所述推桿(10)與所述導向孔(7)同軸心。
2.如權利要求1所述的管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置,其特征在于:所述移動裝置為絲桿驅動裝置,包括絲桿(11),絲桿轉動裝置、具有滑槽的導軌(12)和滑塊,所述絲桿(11)驅動裝置與所述絲桿(11)固定連接,所述滑塊與所述絲桿(11)傳動連接,所述滑塊滑動安裝在所述導軌(12)內。
3.如權利要求1所述的管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置,其特征在于:所述升降裝置為推動缸。
4.如權利要求1所述的管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置,其特征在于:所述工藝點收納裝置為收納箱(8)。