技術(shù)總結(jié)
本實用新型涉及一種管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置，包括石墨舟輸送裝置、工藝點推出裝置和工藝點收納裝置，工藝點推出裝置設(shè)置在石墨舟輸送裝置的正上方，工藝點收納裝置可拆卸安裝在石墨舟輸送裝置的正下方。本實用新型包括石墨舟固定夾具和驅(qū)動石墨舟固定夾具移動的移動裝置，在石墨舟固定夾具上安裝固定好裝有工藝點的石墨舟后，使用移動裝置將固定好的石墨舟移動到導(dǎo)向板的正下方，導(dǎo)向板通過升降裝置下移到與石墨舟上工藝點的上表面接觸，最后通過工藝點推出裝置將工藝點推出石墨舟的工藝孔，全部工序均通過機器自動完成，節(jié)省了人力，提高了拆卸效率，提高了勞動生產(chǎn)率。

技術(shù)研發(fā)人員：鄒海軍;吳佳俊;吳俊;王少華
受保護的技術(shù)使用者：常州億晶光電科技有限公司
文檔號碼：201620652726
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.27
技術(shù)公布日：2017.01.04