本實用新型涉及光學元件精密加工領域，特別是涉及一種大口徑離軸非球面光學元件超精密成型磨削加工系統。

背景技術：

隨著激光技術的不斷發展，大口徑高功率激光驅動器作為激光技術的一個重要分支，在慣性約束核聚變方面有著重要的應用，如美國的NIF裝置。作為世界上最大的光學工程，在大口徑光學元件數量、質量方面，高功率激光驅動器所提出的要求比迄今為止任何光學系統都高出許多。離軸非球面鏡是高功率激光驅動器終端光學組件的重要元器件之一，其作用是將前端輸入的大口徑混頻激光分別聚焦，三倍頻光匯聚為數十微米的光斑并至靶點，基頻和二倍頻光折射分離后用于診斷物理實驗。而超精密磨削加工，是高效高精度獲得批量非球面聚焦透鏡的重要手段。

基于X/Y/Z三直線軸數控磨床，采用圓弧金剛石砂輪作為加工刀具，在數控三軸聯動控制下，可實現離軸非球面鏡的超精密磨削加工。離軸非球面表面各點的矢高不一致，每點的曲率半徑也不相同，因此采用傳統的G代碼進行插補運動控制難以實現非球面廓形的運動；此外，光學加工精度要求極高，由于存在機床自身的定位誤差、環境溫度波動等影響，使用成型磨床一次加工很難得到理想面形精度的光學表面。

技術實現要素：

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種大口徑離軸非球面鏡的自動化超精密磨削加工系統。

本實用新型解決技術問題所采用的技術方案是：大口徑離軸非球面光學元件的精密磨削系統，由磨床和位移傳感器連接而成。

進一步的，所述磨床采用超精密磨床。

進一步的，所述超精密磨床內的計算機讀取位移傳感器的檢測數據。

本實用新型的有益效果是：明顯降低了非球面元件超精密磨削加工對操作人員技能水平的依賴，與傳統研磨加工相比，單件大口徑離軸非球面元件整體加工效率提升8-10倍，實現了大口徑離軸非球面鏡的高效自動化超精密磨削加工。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構框圖。

具體實施方式

本實用新型的大口徑離軸非球面鏡超精密磨削系統由超精密磨床和位移傳感器組成，位移傳感器檢測大口徑離軸非球面光學元件表面形貌并獲取位移數據，由超精密磨床內的計算機讀取位移數據后進行分析，得到三維面形誤差數據，完成離軸非球面鏡的磨削加工和在位檢測。

工作時，運行大口徑離軸非球面鏡超精密磨削系統，由用戶輸入相應的工藝參數后，輸出非球面磨削加工數控程序和非球面在位檢測數控程序，超精密磨床運行加工數控程序，得到離軸非球面光學元件，在運行檢測數控程序的同時，位移傳感器檢測非球面表面形貌并獲取位移數據，由大口徑離軸非球面鏡超精密磨削系統讀取位移數據后進行分析，得到三維面形誤差數據，完成離軸非球面鏡的磨削加工和在位檢測，如圖1所示。