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大口徑離軸非球面光學元件的精密磨削系統的制作方法

文檔序號:12162278閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.大口徑離軸非球面光學元件的精密磨削系統,其特征在于:由磨床和位移傳感器連接而成,所述位移傳感器檢測大口徑離軸非球面光學元件表面形貌并獲取位移數據,所述磨床內的計算機讀取位移傳感器的檢測數據。

2.如權利要求1所述的大口徑離軸非球面光學元件的精密磨削系統,其特征在于:所述磨床采用超精密磨床。

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