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一種電弧離子鍍設備的雙靶結構的制作方法

文檔序號:12430828閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種電弧離子鍍設備的雙靶結構,其特征在于,在一個蒸發源法蘭(1)設置兩個靶位(2),在兩個靶位(2)中間,設置一臺弧電源(3),即同一個蒸發源共用一臺弧電源(3)。

2.根據權利要求1所述的一種電弧離子鍍設備的雙靶結構,其特征在于,每個靶位(2)上裝配平行的兩列靶材位,即可同時裝配4列平行的靶材位。

3.根據權利要求2所述的一種電弧離子鍍設備的雙靶結構,其特征在于,除了打底和轟擊靶材位以外,剩余三列靶材位中的兩列裝相同的涂層靶材。

4.根據權利要求2所述的一種電弧離子鍍設備的雙靶結構,其特征在于,除了打底和轟擊靶材位以外,剩余三列靶材位裝不同的靶材。

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