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一種真空鍍膜的修正擋板結構的制作方法

文檔序號:12430822閱讀:來源:國知局
技術總結
一種真空鍍膜的修正擋板結構,涉及一種修正擋板結構,包括真空鍍膜室(4)、旋轉基片臺(5)和蒸發源(6),在真空鍍膜室(4)內設有蒸發源(6),在蒸發源(6)的上部設有旋轉基片臺(5),在真空鍍膜室(4)的外部設有旋轉組件(3),在旋轉組件(3)的中心處設有穿過真空鍍膜室(4)的轉軸(2),在轉軸(2)上設有修正擋板(1);本實用新型通過設置旋轉組件驅動轉軸上的修正擋板旋轉,實現了真空鍍膜更均勻的目的。

技術研發人員:鄒楊;孫蕾;楊宜珍;鄒松東;孫凌
受保護的技術使用者:洛陽奧爾材料科技有限公司
文檔號碼:201620784026
技術研發日:2016.07.25
技術公布日:2016.12.14

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