技術特征：

技術總結
本發明公開了一種拋光設備及其拋光方法，所述拋光設備包括：上拋光頭和下拋光頭，所述上拋光頭和所述下拋光頭相對布置，所述上拋光頭和所述下拋光頭相對可移動以拋光，所述上拋光頭的下表面和所述下拋光頭的上表面均具有用于放置待拋光物的待拋光物放置區；用于向待拋光物的待拋光面放入拋光液的拋光液輸送裝置，所述拋光液輸送裝置的出口連通所述上拋光頭和所述下拋光頭之間的空間。根據本發明的拋光設備，通過使上拋光頭相對下拋光頭移動可以同時拋光兩個待拋光面，并且通過拋光液輸送裝置可以向上拋光頭和下拋光頭之間的空間輸送拋光液，這樣有利于提高拋光效率，降低成本。

技術研發人員：趙慧佳;路新春;沈攀
受保護的技術使用者：天津華海清科機電科技有限公司;清華大學
技術研發日：2017.06.12
技術公布日：2017.10.03