本公開的一些實施例的各方面涉及沉積設備。

背景技術：

1、隨著信息社會的發展，消費者對用于顯示圖像的顯示裝置的需求正在以各種形式增加。顯示裝置可以包括例如液晶顯示(lcd)裝置、場發射顯示(fed)裝置、發光顯示裝置等。發光顯示裝置可以包括包含有機發光二極管(oled)元件的有機發光顯示裝置和包含無機發光二極管(led)元件的無機發光顯示裝置。

2、同時，構成顯示裝置的顯示面板可以包括以層疊結構形成在基板上的各種導電層和絕緣層。形成在基板上的各種導電層和絕緣層可以通過沉積工藝來產生。

3、在該背景技術部分中公開的以上信息僅用于增強對背景技術的理解，并且因此在該背景技術部分中討論的信息不一定構成現有技術。

技術實現思路

1、本公開的一些實施例的方面包括能夠實時檢測電弧現象的沉積設備。

2、本公開的一些實施例的方面還包括具有相對提高的電弧判斷的準確性的沉積設備。

3、然而，根據本公開的實施例的特性不限于在本文中闡述的那些特性。通過參考下面給出的本公開的詳細描述，根據本公開的實施例的以上和其他特性對于本公開所屬領域的普通技術人員來說將變得更加顯而易見。

4、根據本公開的一些實施例，沉積設備包括：反應室；射頻(rf)電源裝置，被配置為將rf功率提供給反應室；rf感測裝置，被配置為在多個單位時間中的每個單位時間的每個子單位時間感測rf功率；計算裝置，被配置為計算在單位時間中的每個單位時間的每個子單位時間測量的rf功率的強度的平均值；以及故障檢測和分類(fdc)裝置，被配置為基于計算出的rf功率的強度的平均值來確定電弧的發生。

5、根據一些實施例，rf功率包括正向波功率和反射波功率，并且rf功率的強度與正向波功率的強度和反射波功率的強度之和相同。

6、根據一些實施例，單位時間包括按時間順序的第一單位時間、第二單位時間和第三單位時間，在第一單位時間期間計算出的正向波功率的強度的平均值是fpn-2，在第二單位時間期間計算出的正向波功率的強度的平均值是fpn-1，在第三單位時間期間計算出的正向波功率的強度的平均值是fpn，fdc裝置進一步被配置為如果等式(1)不被滿足，則生成“繼續”命令，并且等式(1)如下：fpn≤(fpn-2+fpn-1)/2×σ1，0.7≤σ1≤0.9(1)。

7、根據一些實施例，fdc裝置進一步被配置為如果等式(1)被滿足并且等式(2)不被滿足，則生成“警告”命令，并且等式(2)如下：fpn≤(fpn-2+fpn-1)/2×σ2，0.2≤σ2≤0.5(2)。

8、根據一些實施例，fdc裝置進一步被配置為如果等式(1)和等式(2)兩者均被滿足，則生成“停止”命令。

9、根據一些實施例，單位時間包括按時間順序的第一單位時間、第二單位時間和第三單位時間，在第一單位時間期間計算出的反射波功率的強度的平均值是rpn-2，在第二單位時間期間計算出的反射波功率的強度的平均值是rpn-1，在第三單位時間期間計算出的反射波功率的強度的平均值是rpn，fdc裝置進一步被配置為如果等式(3)不被滿足，則生成“繼續”命令，并且等式(3)如下：rpn≥(rpn-2+rpn-1)/2×σ3，1.1≤σ3≤1.3(3)。

10、根據一些實施例，fdc裝置進一步被配置為如果等式(3)被滿足并且等式(4)不被滿足，則生成“警告”命令，并且等式(4)如下：rpn≥(rpn-2+rpn-1)/2×σ4，1.5≤σ4≤1.8(4)。

11、根據一些實施例，fdc裝置進一步被配置為如果等式(3)和等式(4)兩者均被滿足，則生成“停止”命令。

12、根據一些實施例，100個以上的子單位時間包括在單位時間中的每個單位時間中。

13、根據一些實施例，子單位時間是10毫秒(msec)以下。

14、根據一些實施例，子單位時間是1msec。

15、根據一些實施例，單位時間是2秒(sec)。

16、根據一些實施例，單位時間是1sec。

17、根據一些實施例，rf感測裝置包括數據采集(daq)系統和可編程邏輯控制器(plc)系統中的至少一種。

18、根據本公開的一些實施例，提供沉積設備，其包括：反應系統，包括反應室和被配置為將射頻(rf)功率提供給反應室的rf電源裝置；以及檢查系統，檢查系統包括：rf感測裝置，被配置為在多個單位時間中的每個單位時間的每個子單位時間感測rf功率，并且從而生成包括關于rf功率的強度的信息的多個rf感測信號；計算裝置，被配置為在單位時間中的每個單位時間收集rf感測信號，并且從而生成多個處理后的數據信號，處理后的數據信號包括關于在單位時間中的每個單位時間的每個子單位時間測量的rf功率的強度的平均值的信息；以及故障檢測和分類(fdc)裝置，被配置為基于處理后的數據信號確定rf功率的狀態，并且針對rf功率的狀態生成命令信號，其中，fdc裝置進一步被配置為將命令信號提供給反應系統。

19、根據一些實施例，rf功率包括正向波功率和反射波功率，并且rf功率的強度與正向波功率的強度和反射波功率的強度之和相同。

20、根據一些實施例，單位時間包括按時間順序的第一單位時間、第二單位時間和第三單位時間，在第一單位時間期間計算出的正向波功率的強度的平均值是fpn-2，在第二單位時間期間計算出的正向波功率的強度的平均值是fpn-1，在第三單位時間期間計算出的正向波功率的強度的平均值是fpn，fdc裝置進一步被配置為，如果等式(1)不被滿足，則生成“繼續”命令，并且等式(1)如下：fpn≤(fpn-2+fpn-1)/2×σ1，0.7≤σ1≤0.9(1)。

21、根據一些實施例，fdc裝置進一步被配置為如果等式(1)被滿足并且等式(2)不被滿足，則生成“警告”命令，等式(2)如下：fpn≤(fpn-2+fpn-1)/2×σ2，0.2≤σ2≤0.5(2)，并且fdc裝置進一步被配置為如果等式(1)和等式(2)兩者均被滿足，則生成“停止”命令。

22、根據一些實施例，單位時間包括按時間順序的第一單位時間、第二單位時間和第三單位時間，在第一單位時間期間計算出的反射波功率的強度的平均值是rpn-2，在第二單位時間期間計算出的反射波功率的強度的平均值是rpn-1，在第三單位時間期間計算出的反射波功率的強度的平均值是rpn，fdc裝置進一步被配置為如果等式(3)不被滿足，則生成“繼續”命令，并且等式(3)如下：rpn≥(rpn-2+rpn-1)/2×σ3，1.1≤σ3≤1.3(3)。

23、根據一些實施例，fdc裝置進一步被配置為如果等式(3)被滿足并且等式(4)不被滿足，則生成“警告”命令，等式(4)如下：rpn≥(rpn-2+rpn-1)/2×σ4，1.5≤σ4≤1.8(4)，并且fdc裝置進一步被配置為如果等式(3)和等式(4)兩者均被滿足，則生成“停止”命令。

24、根據本公開的前述和其他實施例，可以實時檢測電弧現象。

25、另外，可以相對提高電弧判斷的準確性。

26、應當注意，根據本公開的實施例的特性不限于上述特征，并且根據本公開的實施例的其他特性將通過以下描述而更加顯而易見。