本申請屬于晶體加工治具,具體涉及一種磨拋治具及磨拋裝置。
背景技術:
1、制造光芯片時,會先在整張晶圓上制造光芯片陣列,然后將整張晶圓切割成多個光芯片并排排列的寬光芯片bar條,再將寬光芯片bar條分割成光芯片bar條以方便進行后道加工,如貼片、研磨、拋光等,隨后再將光芯片bar條切成單顆芯片。
2、目前bar條的拋光通常是通過在磨拋治具的底部開設凹槽,然后將bar條嵌入凹槽實現bar條的固定,然后將磨拋治具放置在拋光墊上,以對bar條進行磨拋。但是現有的磨拋治具只能適用單一尺寸的bar條,通用性低。
技術實現思路
1、本申請要解決的技術問題在于:現有的磨拋治具只能適用單一尺寸的bar條,提供一種能夠用于多種尺寸的bar條的固定,通用性較強的磨拋治具及磨拋裝置。
2、本申請提出的技術方案為:
3、一種磨拋治具,包括:
4、安裝座,具有安裝面,所述安裝面開設有安裝孔;
5、夾持組件,裝設于所述安裝孔,且所述夾持組件靠近所述安裝面的一端包括間隔設置的第一夾持部和第二夾持部,所述第一夾持部和所述第二夾持部被構造為可受控地相互靠近和遠離;
6、鎖緊件,連接于所述安裝座,且所述鎖緊件的一端可伸入所述安裝孔并抵接于所述夾持組件。
7、進一步地,所述夾持組件包括第一夾持件和第二夾持件,所述第一夾持件和所述第二夾持件間隔布設,且可受控地相互靠近和遠離,所述第一夾持件靠近所述安裝面的一端具有所述第一夾持部,所述第二夾持件靠近所述安裝面的一端具有所述第二夾持部。
8、進一步地,所述夾持組件還包括調節模塊,所述調節模塊與所述第一夾持件及所述第二夾持件連接,且所述調節模塊能夠調節所述第一夾持件和所述第二夾持件之間的間距。
9、進一步地,所述第一夾持件和所述第二夾持件沿所述安裝孔的寬度方向間隔布設,所述鎖緊件沿所述安裝孔的寬度方向伸入所述安裝孔并抵接于所述第一夾持件或所述第二夾持件。
10、進一步地,所述第一夾持件和所述第二夾持件中的至少一者與所述安裝孔沿其長度方向相對的兩內壁相抵接。
11、進一步地,所述第一夾持部開設有夾持槽,所述夾持槽包括相互連接且呈角度設置的第一夾持面和底面,所述第二夾持部具有第二夾持面,所述第一夾持面和所述第二夾持面彼此相對且相互平行,所述第一夾持面和所述第二夾持面相對所述安裝孔的高度方向傾斜設置。
12、進一步地,所述安裝面開設有多個安裝孔,所述磨拋治具包括多個夾持組件及多個所述鎖緊件,每一所述夾持組件裝設于對應的一所述安裝孔,多個所述鎖緊件和多個所述夾持組件一一對應布置。
13、進一步地,所述磨拋治具還包括配重塊,所述配重塊可拆卸地連接于所述安裝座,且位于所述安裝座背離所述安裝面的一側。
14、一種磨拋治具,包括:
15、安裝座,具有安裝面,所述安裝面開設有安裝孔;
16、夾持組件,設置于所述安裝孔,所述夾持組件包括第一夾持件和第二夾持件,所述第一夾持件和所述第二夾持件間隔布設,且可受控地相互靠近和遠離,所述第一夾持件靠近所述安裝面的一端具有第一夾持部,所述第二夾持件靠近所述安裝面的一端具有第二夾持部,所述第一夾持部和所述第二夾持部用于夾持待加工件,并使得所述待加工件至少部分突出于所述安裝面;
17、鎖緊件,連接于所述安裝座,且所述鎖緊件的一端可伸入所述安裝孔并抵接于所述夾持組件。
18、一種磨拋裝置,包括如上所述的磨拋治具。
19、采用上述的磨拋治具,先將第一夾持部和第二夾持部分開,將bar條放入第一夾持部和第二夾持部之間,然后第一夾持部和第二夾持部相互靠近將bar條夾緊。接下來將夾持組件放入安裝孔,并通過鎖緊件鎖緊固定,確保bar條至少部分突出于安裝面,最后通過磨拋治具將bar條壓在拋光墊上進行磨拋即可。由于第一夾持部和第二夾持部能夠相互靠近和遠離,從而能夠對不同尺寸的bar條進行夾持,有效地提高了磨拋治具的通用性。
1.一種磨拋治具,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的磨拋治具,其特征在于,所述夾持組件包括第一夾持件和第二夾持件,所述第一夾持件和所述第二夾持件間隔布設,且可受控地相互靠近和遠離,所述第一夾持件靠近所述安裝面的一端具有所述第一夾持部,所述第二夾持件靠近所述安裝面的一端具有所述第二夾持部。
3.根據權利要求2所述的磨拋治具,其特征在于,所述夾持組件還包括調節模塊,所述調節模塊與所述第一夾持件及所述第二夾持件連接,且所述調節模塊能夠調節所述第一夾持件和所述第二夾持件之間的間距。
4.根據權利要求2所述的磨拋治具,其特征在于,所述第一夾持件和所述第二夾持件沿所述安裝孔的寬度方向間隔布設,所述鎖緊件沿所述安裝孔的寬度方向伸入所述安裝孔并抵接于所述第一夾持件或所述第二夾持件。
5.根據權利要求4所述的磨拋治具,其特征在于,所述第一夾持件和所述第二夾持件中的至少一者與所述安裝孔沿其長度方向相對的兩內壁相抵接。
6.根據權利要求1所述的磨拋治具,其特征在于,所述第一夾持部開設有夾持槽,所述夾持槽包括相互連接且呈角度設置的第一夾持面和底面,所述第二夾持部具有第二夾持面,所述第一夾持面和所述第二夾持面彼此相對且相互平行,所述第一夾持面和所述第二夾持面相對所述安裝孔的高度方向傾斜設置。
7.根據權利要求1所述的磨拋治具,其特征在于,所述安裝面開設有多個安裝孔,所述磨拋治具包括多個夾持組件及多個所述鎖緊件,每一所述夾持組件裝設于對應的一所述安裝孔,多個所述鎖緊件和多個所述夾持組件一一對應布置。
8.根據權利要求1所述的磨拋治具,其特征在于,所述磨拋治具還包括配重塊,所述配重塊可拆卸地連接于所述安裝座,且位于所述安裝座背離所述安裝面的一側。
9.一種磨拋治具,其特征在于,包括:
10.一種磨拋裝置,其特征在于,包括權利要求1-9任一項所述的磨拋治具。