技術(shù)總結(jié)
本申請涉及用于石墨烯形成的方法和系統(tǒng)。一種用于石墨烯形成的方法包括提供基底并使所述基底經(jīng)受減壓環(huán)境。所述方法還包括提供載氣和碳源并且使所述基底的至少一部分暴露于所述載氣和所述碳源。所述方法還包括在所述基底的所述至少一部分上進(jìn)行表面處理工藝并且使所述碳源的一部分轉(zhuǎn)變成布置在所述基底的所述至少一部分上的石墨烯。

技術(shù)研發(fā)人員：大衛(wèi)·A·博伊德
受保護(hù)的技術(shù)使用者：加州理工學(xué)院
文檔號碼：201611162591
技術(shù)研發(fā)日：2013.02.22
技術(shù)公布日：2017.05.31