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用于晶片的腐蝕裝置的制作方法

文檔序號:11147615閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及晶片的生產(chǎn)加工領(lǐng)域,具體涉及用于晶片的腐蝕裝置,包括液池,液池沿內(nèi)底固設(shè)有階梯狀的高臺,高臺包括放置于液池中部的一級高臺和高于一級高臺的二級高臺,一級高臺上固接有壓簧,壓簧上端固接有托盤,托盤的周緣上設(shè)有擋板,托盤的一端可擱置在二級高臺上,托盤另一端固接有拉繩,拉繩連接有滑蓋,滑蓋滑動連接在進水口處,液池兩側(cè)的上方均放置有能往托盤內(nèi)噴入腐蝕液的噴液輥。本發(fā)明托盤輕微的左右搖晃,相對于攪拌了托盤內(nèi)腐蝕液和晶片,使所有的晶片以及晶片的各個面都能接觸到腐蝕液,晶片腐蝕更均勻,晶片腐蝕完成之后,就倒入了清水對晶片進行清洗,時間緊湊,避免過度腐蝕。

技術(shù)研發(fā)人員:侯明永
受保護的技術(shù)使用者:重慶晶宇光電科技有限公司
文檔號碼:201611227092
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.27
技術(shù)公布日:2017.05.10

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