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一種新型多晶鑄錠刷涂涂層結(jié)構(gòu)坩堝的制作方法

文檔序號(hào):11975064閱讀:300來源:國知局

本實(shí)用新型涉及一種新型多晶鑄錠刷涂涂層結(jié)構(gòu)坩堝。



背景技術(shù):

針對(duì)坩堝氮化硅涂層制備,目前行業(yè)里面幾乎全部采用的是噴涂處理技術(shù),使用高壓噴槍在坩堝內(nèi)側(cè)與多晶硅錠的接觸區(qū)域噴涂一層氮化硅涂層,用于降低多晶硅中的氧碳等雜質(zhì)含量,同時(shí)保護(hù)石英坩堝,防止粘堝,方便脫模。但噴涂氮化硅涂層方式存在以下缺陷:首先,噴涂作業(yè)環(huán)境惡劣,會(huì)產(chǎn)生大量有害粉塵;其次,噴涂設(shè)備備件及維護(hù)成本高;最后,噴涂生產(chǎn)的晶錠表面易附著氮化硅粉顆粒,產(chǎn)生的循環(huán)料噴砂打磨處理損耗大,成本高。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型其目的就在于提供一種新型多晶鑄錠刷涂涂層結(jié)構(gòu)坩堝,解決了傳統(tǒng)坩堝噴涂涂層噴涂作業(yè)環(huán)境惡劣,會(huì)產(chǎn)生大量有害粉塵,且噴涂設(shè)備及維護(hù)成本高,噴砂打磨處理損耗大的問題。

實(shí)現(xiàn)上述目的而采取的技術(shù)方案,包括一體成型的坩堝堝底和坩堝側(cè)壁,所述坩堝側(cè)壁內(nèi)側(cè)表面上端設(shè)有毛刷涂層,毛刷涂層上端邊緣低于坩堝側(cè)壁上端邊緣,所述坩堝堝底內(nèi)側(cè)表面和坩堝側(cè)壁內(nèi)側(cè)表面均設(shè)有滾刷涂層,所述坩堝側(cè)壁內(nèi)側(cè)表面上的滾刷涂層覆蓋毛刷涂層表面。

有益效果

與現(xiàn)有技術(shù)相比本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)。

1.刷涂過程采用毛刷或滾刷,擯棄了噴涂裝置和加熱裝置等,減少了設(shè)備備件維護(hù)成本,涂刷過程幾乎不產(chǎn)生粉塵,降低了粉塵污染;

2.氮化硅致密性及附著力更好,晶錠四周表面光滑平整,大大降低了循環(huán)料噴砂打磨處理成本和損耗。

附圖說明

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳述。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

本裝置包括一體成型的坩堝堝底2和坩堝側(cè)壁1,如圖1所示,所述坩堝側(cè)壁1內(nèi)側(cè)表面上端設(shè)有毛刷涂層3,毛刷涂層3上端邊緣低于坩堝側(cè)壁1上端邊緣,所述坩堝堝底2內(nèi)側(cè)表面和坩堝側(cè)壁1內(nèi)側(cè)表面均設(shè)有滾刷涂層4,所述坩堝側(cè)壁1內(nèi)側(cè)表面上的滾刷涂層4覆蓋毛刷涂層3表面。

所述滾刷涂層4和毛刷涂層3涂料均為氮化硅涂料涂刷制成。

滾刷涂層4和毛刷涂層3氮化硅涂料中引入膠水,毛刷涂層3離坩堝側(cè)壁1上沿15-25CM,寬度為10CM左右,該涂層采用毛刷刷涂,用毛刷蘸取配制好的氮化硅涂料,來回刷涂,用力適中,待毛刷涂層3刷涂完后干燥0.5小時(shí),滾刷涂層4采用滾刷刷涂,將配制好的氮化硅涂料倒在坩堝表面,用滾刷刷涂均勻。以上毛刷涂層3和滾刷涂層4均必須保證涂層均勻平整,且坩堝面盡量保證水平,避免漿料在坩堝側(cè)壁1因流動(dòng)而出現(xiàn)涂層厚薄不均現(xiàn)象。

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