1.一種多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),包括:隔熱籠(1)、設(shè)置于所述隔熱籠(1)內(nèi)的坩堝(2)、設(shè)置于所述坩堝(2)的外側(cè)的側(cè)護(hù)板(3)、及設(shè)置于所述側(cè)護(hù)板(3)與所述隔熱籠(1)之間的側(cè)加熱器(4);其特征在于,所述側(cè)護(hù)板(3)與所述側(cè)加熱器(4)之間設(shè)置有石墨硬氈(5),所述石墨硬氈(5)連接于所述側(cè)護(hù)板(3),且所述石墨硬氈(5)的位置對(duì)應(yīng)于所述側(cè)加熱器(4)的中部設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),其特征在于,所述側(cè)護(hù)板(3)的外側(cè)面開設(shè)有用于放置所述石墨硬氈(5)的凹槽(31),所述凹槽(31)的深度略小于所述石墨硬氈(5)的厚度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),其特征在于,所述石墨硬氈(5)的厚度為10mm~30mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),其特征在于,所述石墨硬氈(5)與所述側(cè)加熱器(4)的高度比為0.4~0.8:1。