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一種多晶硅鑄錠爐的熱場結構的制作方法

文檔序號:12232929閱讀:來源:國知局
技術總結
本實用新型公開了一種多晶硅鑄錠爐的熱場結構,包括:隔熱籠、設置于隔熱籠內(nèi)的坩堝、設置于坩堝的外側的側護板、及設置于側護板與隔熱籠之間的側加熱器;側護板與側加熱器之間設置有石墨硬氈,石墨硬氈連接于側護板,且石墨硬氈的位置對應于側加熱器的中部設置。該多晶硅鑄錠爐的熱場結構能夠在不延長長晶時間的前提下,使邊角長晶的表面比較平整,提高多晶硅鑄錠的良率。

技術研發(fā)人員:吳小元;宋江;郭寬新;張斌
受保護的技術使用者:奧特斯維能源(太倉)有限公司
文檔號碼:201620956895
技術研發(fā)日:2016.08.26
技術公布日:2017.02.22

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