1.一種多晶硅鑄錠用坩堝護板結構,設置于坩堝與側邊加熱器之間;其特征在于,所述坩堝護板結構包括:護板本體(1),所述護板本體(1)的朝向所述側邊加熱器的一側開設有多個凹槽(11)。
2.根據權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠用坩堝護板結構,其特征在于,所述凹槽(11)呈倒三角形長條狀;所述凹槽(11)的深度為5mm~15mm,所述凹槽(11)的截面寬度為0mm~20mm。
3.根據權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠用坩堝護板結構,其特征在于,所述凹槽(11)為倒金子塔形或倒圓錐體形的凹坑;所述凹坑的深度為5mm~15mm,所述凹坑的截面寬度為0mm~20mm。
4.根據權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠用坩堝護板結構,其特征在于,所述凹槽(11)呈楔形長條狀;所述凹槽(11)的深度為5mm~15mm,所述凹槽(11)的截面寬度為5mm~20mm。
5.根據權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠用坩堝護板結構,其特征在于,所述凹槽(11)為楔形的凹坑;所述凹坑的深度為5mm~15mm,所述凹坑的截面寬度為5mm~20mm。
6.根據權利要求1至5中任一項所述的一種多晶硅鑄錠用坩堝護板結構,其特征在于,所述凹槽(11)在所述護板本體(1)的表面的覆蓋面積占所述護板本體(1)的表面面積的50%~100%。
7.根據權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠用坩堝護板結構,其特征在于,所述護板本體(1)為石墨板。
8.根據權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠用坩堝護板結構,其特征在于,所述護板本體(1)為具有高導熱性并耐高溫的合金板。