技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及脈動(dòng)熱管，特指一種具有微/納復(fù)合結(jié)構(gòu)的硅基微型脈動(dòng)熱管。所述微型脈動(dòng)熱管由一對(duì)半導(dǎo)體硅片和耐熱硼硅酸玻璃片鍵合而成，所述硼硅酸玻璃片上加工有抽真空/注液孔；所述抽真空/注液孔與半導(dǎo)體硅片上的抽真空/注液微槽道的頂端位置相對(duì)應(yīng)，所述半導(dǎo)體硅片上刻蝕有若干微槽道，所述微槽道表面為碳納米管束形成的微/納復(fù)合結(jié)構(gòu)。本發(fā)明克服了普通微型脈動(dòng)熱管蒸發(fā)段易發(fā)生“燒干”現(xiàn)象和啟動(dòng)溫度過高、啟動(dòng)時(shí)間過長等不足，通過改變脈動(dòng)熱管通道截面尺寸和微槽道表面碳納米管束的形狀等可實(shí)現(xiàn)提高熱管冷卻溫控性能和承載熱負(fù)荷的能力。

技術(shù)研發(fā)人員：屈健;孫芹;袁建平;張若梅;楊學(xué)貴
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇大學(xué)
文檔號(hào)碼：201611150519
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.14
技術(shù)公布日：2017.05.10