本發(fā)明涉及一種清潔裝置，特別涉及一種用于清潔玻璃基板的裝置。

背景技術(shù)：

在目前液晶面板產(chǎn)線上，清洗機、顯影機已成為必不可少的組成部分，而風刀(air knife，AK)作為清洗設(shè)備的后端有著極其重要的作用。

風刀的作用即為利用大量的CDA吹除玻璃基板表面上的水，而風刀與玻璃會有一夾角，目的在于增加排水性，將水由玻璃上方吹趕到下方。

風刀在吹干基板上水時，在風刀上下流量一定的情況下，風刀對準基板表面的角度相當重要。

若角度偏小，風刀會吹不干凈水，只能通過加大氣流(air flow)流量來協(xié)調(diào)，相應會增加費用及減少流量變化空間。

若角度偏大，直接會導致水膜下面光阻缺陷，形成貫穿性橫條風刀不均勻(mura)，嚴重影響品質(zhì)。

若固定調(diào)好風刀的角度，并且搭配合適的氣流流量，實驗證明能在一段時間內(nèi)穩(wěn)定，但是一旦洗滌(wash)端水膜厚度變化，洗滌、超高壓微細顆粒水噴射清洗技術(shù)(HPMJ)、H/M流量變化，光阻材質(zhì)變化，前程中不同制程條件變化時，風刀不均勻就會發(fā)生，適當調(diào)整風刀角度就能減輕減弱不均勻。但此時已經(jīng)固定調(diào)好風刀的角度，需要拆除風刀并調(diào)整風刀與玻璃基板之間的角度，最后再安裝風刀。

拆除加安裝風刀至少需要四小時以上，會大大降低生產(chǎn)效率。

為解決現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本發(fā)明提供了一種新的用于清潔玻璃基板的裝置。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的用于清潔玻璃基板的裝置能夠在短時間內(nèi)將風刀與玻璃基板之間的角度調(diào)整到所需要的角度，提高生產(chǎn)效率，同時利用角度來搭配低流量，能夠節(jié)約成本。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種用于清潔玻璃基板的裝置，其中，

所述風刀裝置包括：

風刀單元，所述風刀單元包括進氣口、風刀和出氣口，氣流從所述進氣口進入，經(jīng)由所述風刀與玻璃基板之間的縫隙后從所述出氣口離開所述風刀單元；

驅(qū)動器，所述驅(qū)動器與所述風刀機械式連接，且能夠調(diào)整所述風刀與所述玻璃基板之間角度；以及

控制單元，所述控制單元與所述驅(qū)動器電連接，并控制所述驅(qū)動器進行所述調(diào)整。

如上所述的裝置，其中，所述驅(qū)動器包括線性馬達，所述線性馬達通過滾動軸承與所述風刀相接，所述線性馬達與所述控制單元相接。

如上所述的裝置，其中，所述線性馬達和所述滾動軸承之間設(shè)有角度計數(shù)器。

如上所述的裝置，其中，所述角度計數(shù)器能將所述線性馬達轉(zhuǎn)動的圈數(shù)轉(zhuǎn)換為所述風刀與所述玻璃基板之間的角度。

如上所述的裝置，其中，所述風刀單元包括風刀本體，所述風刀和所述玻璃基板設(shè)于所述風刀本體內(nèi)，所述玻璃基板的上下兩側(cè)分別設(shè)有所述風刀。

如上所述的裝置，其中，所述玻璃基板的上側(cè)的所述風刀與所述玻璃基板下側(cè)的所述風刀相對設(shè)置。

如上所述的裝置，其中，所述風刀本體上設(shè)有所述進氣口和所述出氣口，所述風刀設(shè)于所述進氣口和所述出氣口之間。

如上所述的裝置，其中，所述進氣口處設(shè)有空氣過濾器。

如上所述的裝置，其中，所述風刀本體內(nèi)還設(shè)有儲氣槽，所述儲氣槽位于所述進氣口和所述出氣口之間，且所述儲氣槽分別與所述進氣口和所述出氣口相連通。

如上所述的裝置，其中，所述風刀本體內(nèi)還設(shè)有氣體導向槽，所述氣體導向槽位于所述儲氣槽和所述出氣口之間，且所述氣體導向槽分別與所述儲氣槽和所述出氣口相連通。

本發(fā)明的用于清潔玻璃基板的裝置通過控制單元使驅(qū)動器來調(diào)整風刀與玻璃基板之間角度，實現(xiàn)快速調(diào)整的目的，從而達到提高生產(chǎn)效率的效果。本發(fā)明的角度計數(shù)器能夠?qū)⒕€性馬達轉(zhuǎn)動的圈數(shù)轉(zhuǎn)換為風刀與玻璃基板之間的角度，記錄風刀與玻璃基板之間的角度，同時利用角度來搭配低氣體流量，能夠節(jié)約成本。

附圖說明

在此描述的附圖僅用于解釋目的，而不意圖以任何方式來限制本發(fā)明公開的范圍。另外，圖中的各部件的形狀和比例尺寸等僅為示意性的，用于幫助對本發(fā)明的理解，并不是具體限定本發(fā)明各部件的形狀和比例尺寸。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明的教導下，可以根據(jù)具體情況選擇各種可能的形狀和比例尺寸來實施本發(fā)明。

圖1為本發(fā)明的用于清潔玻璃基板的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的風刀單元中風刀與玻璃基板之間的設(shè)置示意圖；

圖3為本發(fā)明的風刀單元的主視圖；

圖4為本發(fā)明的風刀單元的平面剖視圖。

具體實施方式

結(jié)合附圖和本發(fā)明具體實施方式的描述，能夠更加清楚地了解本發(fā)明的細節(jié)。但是，在此描述的本發(fā)明的具體實施方式，僅用于解釋本發(fā)明的目的，而不能以任何方式理解成是對本發(fā)明的限制。在本發(fā)明的教導下，技術(shù)人員可以構(gòu)想基于本發(fā)明的任意可能的變形，這些都應被視為屬于本發(fā)明的范圍，下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步說明。

圖1至圖4分別為本發(fā)明的用于清潔玻璃基板的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖、風刀單元中風刀與玻璃基板之間的設(shè)置示意圖、風刀單元的主視圖和風刀單元的平面剖視圖。

如圖1至圖3所示，本發(fā)明的用于清潔玻璃基板的裝置包括風刀單元1、驅(qū)動器3和控制單元，其中，風刀單元1包括進氣口121、風刀11和出氣口122，氣流從進氣口121進入，經(jīng)由風刀11與玻璃基板2之間的縫隙后從所述出氣口122離開風刀單元1，風刀11與能調(diào)整風刀11與玻璃基板2之間傾斜角度的驅(qū)動器3機械方式連接，以能夠調(diào)整風刀11與玻璃基板2之間角度，驅(qū)動器3與控制單元(recipe)電相接，并控制驅(qū)動器3進行所述調(diào)整。

在本發(fā)明的用于清潔玻璃基板的裝置中，氣流從進氣口121進入，經(jīng)由風刀11與玻璃基板2之間的縫隙后，氣體(或者CDA)的壓力速度增加，從而能夠吹去玻璃基板2上的水，通過驅(qū)動器3能將風刀11與玻璃基板2之間角度調(diào)整到適合的角度，有利于減少氣體(CDA)的使用量，即有利于降低生產(chǎn)成本，且該調(diào)整過程中，只需要在幾分鐘之內(nèi)就可以調(diào)整至所需的角度，調(diào)整過程簡單，花費時間短的優(yōu)點，從而有利于提高生產(chǎn)效率。

具體的，驅(qū)動器3包括線性馬達31，線性馬達31通過滾動軸承(圖中未示出)與風刀單元1中的風刀31相接，線性馬達31與控制單元相電接。

進一步地，線性馬達31和滾動軸承之間設(shè)有角度計數(shù)器4，本發(fā)明的角度計數(shù)器4能將線性馬達31轉(zhuǎn)動的圈數(shù)轉(zhuǎn)換為風刀11與玻璃基板2之間的角度。在一具體實施例中，本發(fā)明的角度計數(shù)器4類似于千分尺，能將線性馬達31轉(zhuǎn)動的圈數(shù)轉(zhuǎn)換成角度計數(shù)，例如，線性馬達31轉(zhuǎn)一圈表示角度36度，線性馬達31由36個小格組成，這樣每轉(zhuǎn)一格表示角度變化一度，順時針一圈后角度累加，逆時針一圈后角度減小。

本發(fā)明的在風刀單元1兩端接上滾動軸承以及角度計數(shù)器4，通過控制單元管理來調(diào)整適當?shù)腁K角度，以往調(diào)整風刀11與玻璃基板1之間的角度，需要拆除加安裝風刀11，該過程至少需要4h以上，現(xiàn)在通過控制單元調(diào)整驅(qū)動器3以使風刀11與玻璃基板2之間的角度達到所需的角度，現(xiàn)在的調(diào)整過程只需要幾分鐘內(nèi)就可調(diào)整到需要的角度，可以實現(xiàn)提高生產(chǎn)效率，通過風刀角度來搭配低流量的氣體，能夠減少氣體量，節(jié)約成本。

本發(fā)明的風刀單元1包括包括風刀本體12，風刀11和玻璃基板2設(shè)于風刀本體12內(nèi)，玻璃基板2的上下兩側(cè)分別設(shè)有風刀11。在一具體實施例中，玻璃基板2的上側(cè)的風刀11與玻璃基板2下側(cè)的風刀11相對設(shè)置，從而能夠更好的吹干玻璃基板的效果。

風刀本體12上設(shè)有進氣口121和出氣口122，風刀11設(shè)于進氣口121和出氣口122之間。進一步地，進氣口121處設(shè)有空氣過濾器123，以增加氣體的凈度，防止污染玻璃基板2的目的。

進一步地，風刀本體12內(nèi)還設(shè)有儲氣槽124，儲氣槽124位于進氣口121和出氣口122之間，且儲氣槽124均與進氣口121和出氣口122相連通，從而實現(xiàn)從風刀本體12內(nèi)氣體能夠穩(wěn)定地從出氣口122流出。

進一步地，風刀本體12內(nèi)還設(shè)有氣體導向槽125，導向槽125位于儲氣槽124和出氣口122之間，且導向槽125分別與儲氣槽124和出氣口122相連通，從而使風刀本體12內(nèi)氣體能夠順暢地從出氣口122流出，在本發(fā)明的風刀本體12上設(shè)有多個螺絲孔126，在連接中使用，圖3中的虛線代表風刀刀口的縫隙，在一具體實施例中，該縫隙為0.1mm。

本發(fā)明的驅(qū)動器3也可應用到液刀中，通過驅(qū)動器3調(diào)整液刀單元的液刀與玻璃基板之間的角度，同樣也能實現(xiàn)在短時間內(nèi)快速調(diào)整液刀單元的液刀與玻璃基板之間的角度的目的，針對利用液刀單元的液刀與玻璃基板之間的角度來搭配低液體流量，能夠減少用水量，節(jié)約成本的效果。其中，液刀單元與風刀單元的結(jié)構(gòu)相似，在此不再具體贅述。

本發(fā)明的驅(qū)動器與風刀相接能夠?qū)崿F(xiàn)以下效果：

(1)以往拆除加安裝風刀至少需要4h以上，現(xiàn)在通過控制單元調(diào)整，幾分鐘內(nèi)就可將風刀與玻璃基板之間的角度調(diào)整到所需的角度，從而實現(xiàn)增加生產(chǎn)效率的目的，

(2)在實驗過程中，方便簡單的就能通過改變不同風刀角度來做成不同實驗條件。

(3)針對水洗段流量會隨著過濾器(filter)使用而逐步減小，此時通過液刀角度的調(diào)整，能夠避免不均勻出現(xiàn).

(4)利用角度來搭配低流量，能夠減少用水/氣體的流量，節(jié)約成本。

通過以上風刀改造后，在生產(chǎn)以及實驗過程中，可以調(diào)整風刀角度來搭配相應的制程條件，達到解決風刀不均勻目的。

上述技術(shù)方案只是本發(fā)明的一種實施方式，對于本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員而言，在本發(fā)明公開了應用方法和原理的基礎(chǔ)上，很容易做出各種類型的改進或變形，而不僅限于本發(fā)明上述具體實施方式所描述的方法。雖然已經(jīng)參考優(yōu)選實施例對本發(fā)明進行了描述，但在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，可以對其進行各種改進并且可以用等效物替換其中的部件。尤其是，只要不存在結(jié)構(gòu)沖突，各個實施例中所提到的各項技術(shù)特征均可以任意方式組合起來。本發(fā)明并不局限于文中公開的特定實施例，而是包括落入權(quán)利要求的范圍內(nèi)的所有技術(shù)方案。