本技術屬于晶硅電池生產，尤其涉及一種自動切換的雙濾芯裝置。

背景技術：

1、現有技術中，在晶硅電池生產過程中，擴散工藝基本為低壓擴散，而低壓擴散工藝需要用隔膜泵來實現擴散爐內負壓，同時需要使用濾芯來過濾擴散爐內反應產生的廢氣，防止反應產生的副產物堵塞隔膜泵，但是過濾器堵塞后會導致爐管的壓力抽不到工藝所需的負壓，導致工藝失敗。因此，亟需一種自動切換的雙濾芯裝置。

技術實現思路

1、本實用新型的目的是提供一種自動切換的雙濾芯裝置，以解決上述問題。

2、為實現上述目的，本實用新型提供了如下方案：

3、一種自動切換的雙濾芯裝置，包括：

4、進氣管，與擴散爐出氣口連通；

5、抽氣管，與外界負壓抽吸設備連通；

6、第一過濾組件，首端與所述進氣管連通，尾端與所述抽氣管連通，所述第一過濾組件包括與所述進氣管連通的第一閥門，所述第一閥門連通有過濾器，所述過濾器與所述抽氣管連通；

7、第二過濾組件，首端與所述進氣管連通，尾端與所述抽氣管連通，所述第二過濾組件與所述第一過濾組件結構相同且并聯設置。

8、優選的，所述過濾器包括：

9、蓋體，所述蓋體的外側壁上固接且連通有進氣連接管與出氣連接管，所述進氣連接管與所述出氣連接管中心對稱設置；

10、殼體，螺紋連接在所述蓋體的下方；

11、圓筒濾芯，設置在所述殼體內，所述圓筒濾芯與所述殼體之間留有間隙，所述間隙與所述進氣連接管連通，所述圓筒濾芯的內腔與所述出氣連接管連通。

12、優選的，所述蓋體的內側頂壁上固接有抵接塊，所述抵接塊與所述蓋體同軸設置，所述抵接塊的底壁與所述圓筒濾芯的頂端抵接，所述抵接塊內開設有出氣腔，所述出氣腔的一端與所述圓筒濾芯的內腔連通，所述出氣腔的另一端通過連通管與所述出氣連接管連通。

13、優選的，所述抵接塊底端同軸固接有上定位塊，所述上定位塊上開設有通孔，所述通孔與所述出氣腔的一端連通，所述上定位塊伸入所述圓筒濾芯的內腔且與所述圓筒濾芯的內腔連通；

14、所述殼體的內側底壁上固接有下定位塊，所述下定位塊伸入所述圓筒濾芯的內腔。

15、優選的，所述殼體的外側壁上周向固接有限位環，所述限位環位于所述殼體的上部，所述限位環的頂面與所述蓋體抵接。

16、優選的，所述殼體的外側套設有密封墊，所述密封墊位于所述限位環與所述蓋體之間。

17、與現有技術相比，本實用新型具有如下優點和技術效果：

18、本實用新型在使用時，第一過濾組件的第一閥門開啟，此時第二過濾組件的第一閥門關閉，氣體通過第一過濾組件被外界負壓抽吸設備吸走，使擴散爐內保持負壓；當監測到擴散爐內負壓減小超過警戒值，此時判定第一過濾組件的過濾器堵塞，關閉第一過濾組件的第一閥門，開啟第二過濾組件的第一閥門，氣體通過第二過濾組件被外界負壓抽吸設備吸走，使擴散爐內保持負壓，使用完成后，工作人員更換堵塞的過濾器即可。

19、本實用新型通過切換堵塞的過濾器，有效避免了低壓擴散過程中過濾器堵塞導致的工藝失敗的問題。

技術特征：

1.一種自動切換的雙濾芯裝置，其特征在于，包括：

2.根據權利要求1所述的一種自動切換的雙濾芯裝置，其特征在于，所述過濾器(5)包括：

3.根據權利要求2所述的一種自動切換的雙濾芯裝置，其特征在于，所述蓋體(501)的內側頂壁上固接有抵接塊(503)，所述抵接塊(503)與所述蓋體(501)同軸設置，所述抵接塊(503)的底壁與所述圓筒濾芯(510)的頂端抵接，所述抵接塊(503)內開設有出氣腔(508)，所述出氣腔(508)的一端與所述圓筒濾芯(510)的內腔連通，所述出氣腔(508)的另一端通過連通管(507)與所述出氣連接管(506)連通。

4.根據權利要求3所述的一種自動切換的雙濾芯裝置，其特征在于，所述抵接塊(503)底端同軸固接有上定位塊(509)，所述上定位塊(509)上開設有通孔，所述通孔與所述出氣腔(508)的一端連通，所述上定位塊(509)伸入所述圓筒濾芯(510)的內腔且與所述圓筒濾芯(510)的內腔連通；

5.根據權利要求2所述的一種自動切換的雙濾芯裝置，其特征在于，所述殼體(511)的外側壁上周向固接有限位環(505)，所述限位環(505)位于所述殼體(511)的上部，所述限位環(505)的頂面與所述蓋體(501)抵接。

6.根據權利要求5所述的一種自動切換的雙濾芯裝置，其特征在于，所述殼體(511)的外側套設有密封墊(504)，所述密封墊(504)位于所述限位環(505)與所述蓋體(501)之間。

技術總結
本技術屬于晶硅電池生產技術領域，尤其涉及一種自動切換的雙濾芯裝置，包括：進氣管，與擴散爐出氣口連通；抽氣管，與外界負壓抽吸設備連通；第一過濾組件，首端與進氣管連通，尾端與抽氣管連通，第一過濾組件包括與進氣管連通的第一閥門，第一閥門連通有過濾器，過濾器與抽氣管連通；第二過濾組件，首端與進氣管連通，尾端與抽氣管連通，第二過濾組件與第一過濾組件結構相同且并聯設置。本技術通過切換堵塞的過濾器，有效避免了低壓擴散過程中過濾器堵塞導致的工藝失敗的問題。

技術研發人員：陳正方,蔡敬國,劉天任,王海,王在林,孫亞楠
受保護的技術使用者：一道新能源科技股份有限公司
技術研發日：20240712
技術公布日：2025/4/24