1.一種空氣靜壓軸承的軸向剛度測量裝置,其特征在于,所述的軸向剛度測量裝置包括支架(1)、位移傳感器A(2)、空氣靜壓軸承(3)、力加載裝置A(4)、力傳感器A(5)、位移傳感器C(6)、位移傳感器B(7)、擋板(8)、力傳感器B(9)、力加載裝置B(10);
其連接關系是:所述的支架(1)放置在隔振地基上;空氣靜壓軸承(3)豎直固定在支架(1)上,空氣靜壓軸承(3)的空氣靜壓軸承轉子懸浮在空氣靜壓軸承外殼中,空氣靜壓軸承轉子和空氣靜壓軸承外殼之間的縫隙為壓縮空氣形成的空氣靜壓軸承氣膜,空氣靜壓軸承外殼的底部固定在支架(1)上,空氣靜壓軸承轉子的頂端固定安裝擋板(8);所述的力傳感器A(5)固定在豎直放置的力加載裝置A(4)的頂端,力傳感器A(5)的頂端固定在擋板(8)上,力加載裝置A(4)的下端固定在支架(1)上,力傳感器A(5)和力加載裝置A(4)固定安裝在空氣靜壓軸承(3)的一側,空氣靜壓軸承(3)的另一側對稱安裝結構相同的力傳感器B(9)和力加載裝置B(10);所述的支架(1)上安裝有位移傳感器A(2)、位移傳感器B(7)和位移傳感器C(6),位移傳感器A(2)用于測量空氣靜壓軸承氣膜的間隙變化量△HA,位移傳感器B(7)用于測量空氣靜壓軸承氣膜的間隙變化量△HB,位移傳感器C(6)用于測量空氣靜壓軸承(3)的變形量△HC。
2.根據權利要求1所述的一種空氣靜壓軸承的軸向剛度測量裝置,其特征在于:所述的位移傳感器A(2)、位移傳感器B(7)和位移傳感器C(6)的位移敏感方向為垂直方向,分辨率為0.1μm。
3.根據權利要求1所述的一種空氣靜壓軸承的軸向剛度測量裝置,其特征在于:所述的力加載裝置A(4)和力加載裝置B(10)的中心線與豎直方向的偏角小于等于0.5°。
4.根據權利要求1所述的一種空氣靜壓軸承的軸向剛度測量裝置,其特征在于:所述的力傳感器A(5)和力傳感器B(9)的力敏感方向為垂直方向,分辨率小于等于1N。