本技術涉及半導體，特別是涉及一種vi機臺的傳感器擋片結構。

背景技術：

1、晶圓在vi(visual?inspection，視覺檢測)機臺的檢測原理，一般是晶圓的晶圓推桿上連接一金屬材質的擋片，且擋片的尾端設有一凸起部，如圖1所示，為vi機臺的傳感器擋片結構的結構示意圖，包括晶圓推桿01、擋片單元02、主體擋片021、第一擋片022、凸出部0221、晶圓03、接觸部04、傳感器05、第一感應部051及第二感應部052，其中擋片與晶圓推桿作為一整體進行移動，若凸起部在傳感器的檢測范圍內，凸起部則將傳感器光線遮擋，即可產生晶圓在籍信號。一般，擋片的長度及位置固定，傳感器可在一定范圍內進行移動調整，以感應擋片上的凸起部。對于非標尺寸晶圓，需要對傳感器位置進行調整且對傳感器位置進行調整的過程費時(通常在1h左右)，還會出現傳感器調整至極限位置時，擋片尾部的凸起部仍超出傳感器感應范圍的狀況，導致無法檢測到晶圓。

2、鑒于此，急需一種能夠適用于不同尺寸的晶圓的檢測且提升檢測效率的vi機臺的傳感器擋片結構。

技術實現思路

1、鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種vi機臺的傳感器擋片結構，用于解決現有技術中vi機臺的傳感器擋片結構不能夠快速檢測不同尺寸的晶圓，檢測效率低的問題。

2、為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種vi機臺的傳感器擋片結構，包括：

3、晶圓推桿，頂端設有與晶圓接觸的接觸部；

4、擋片單元，包括主體擋片以及與所述主體擋片相連接的長度控制機構，所述主體擋片固設于所述晶圓推桿上，所述長度控制機構遠離與所述主體擋片連接的一端設有至少一凸出部。

5、可選地，所述長度控制機構包括一第一擋片，所述第一擋片上設有至少一第一孔。

6、可選地，所述凸出部位于所述第一擋片遠離與所述主體擋片連接的一端。

7、可選地，所述長度控制機構還包括具有預設長度的第二擋片，所述凸出部位于所述第二擋片遠離所述第一擋片與所述主體結構連接處的一端，所述第二擋片上設有至少一第二孔，所述第二擋片通過所述第一孔及所述第二孔固定于所述第一擋片上的預設位置。

8、可選地，所述長度控制機構中還設有緊固件，所述第二擋片通過所述緊固件穿過所述第一孔及所述第二孔固定于所述第一擋片上的預設位置。

9、可選地，所述長度控制機構包括第一擋片以及滑動設置于所述第一擋片上的第二擋片，所述凸出部位于所述第二擋片遠離所述第一擋片與所述主體擋片連接處的一端。

10、可選地，所述擋片單元中還設有鎖緊件，通過所述鎖緊件的鎖緊或放開可控制所述第二擋片設置于所述第一擋片上的不同位置。

11、可選地，所述擋片單元中還設有用于精確調控所述長度控制機構的長度的量測部。

12、可選地，所述vi機臺的傳感器擋片結構還包括傳感器，所述傳感器與所述擋片單元間隔預設距離，且所述傳感器包括對射型傳感器，所述凸出部位于所述傳感器的感應范圍內。

13、可選地，所述傳感器包括間隔設置的第一感應部及第二感應部，所述凸出部位于所述第一感應部與所述第二感應部之間。

14、如上所述，本實用新型的vi機臺的傳感器擋片結構，具有以下有益效果：通過直接改變所述主體部的長度或于所述第一擋片上固定不同長度的所述第二擋片作為所述長度調控機構，使位于所述長度控制機構遠離與所述主體擋片連接的一端的所述凸出部能夠與所述傳感器感應，即可快速感應不同尺寸的所述晶圓的在籍狀態，無需拆卸所述晶圓推桿或移動所述傳感器的位置，避免了長時間調整機臺甚至調整后仍無法檢測的狀況，實現了視覺檢測機臺不同檢測任務的快速切換，提升了檢測效率；通過將所述第二擋片滑動設置于所述第一擋片上作為所述長度控制機構，通過旋開或擰緊所述鎖緊件即可控制所述第二擋片設置于所述第一擋片上的不同位置進而使所述凸出部與所述傳感器感應，快速感應不同的尺寸的所述晶圓的在籍狀態，避免了所述第二擋片的更換，進一步提升了檢測效率。

技術特征：

1.一種vi機臺的傳感器擋片結構，其特征在于，包括：

2.根據權利要求1所述的vi機臺的傳感器擋片結構，其特征在于：所述長度控制機構包括一第一擋片，所述第一擋片上設有至少一第一孔。

3.根據權利要求2所述的vi機臺的傳感器擋片結構，其特征在于：所述凸出部位于所述第一擋片遠離與所述主體擋片連接的一端。

4.根據權利要求2所述的vi機臺的傳感器擋片結構，其特征在于：所述長度控制機構還包括具有預設長度的第二擋片，所述凸出部位于所述第二擋片遠離所述第一擋片與所述主體擋片連接處的一端，所述第二擋片上設有至少一第二孔，所述第二擋片通過所述第一孔及所述第二孔固定于所述第一擋片上的預設位置。

5.根據權利要求4所述的vi機臺的傳感器擋片結構，其特征在于：所述長度控制機構中還設有緊固件，所述第二擋片通過所述緊固件穿過所述第一孔及所述第二孔固定于所述第一擋片上的預設位置。

6.根據權利要求1所述的vi機臺的傳感器擋片結構，其特征在于：所述長度控制機構包括第一擋片以及滑動設置于所述第一擋片上的第二擋片，所述凸出部位于所述第二擋片遠離所述第一擋片與所述主體擋片連接處的一端。

7.根據權利要求6所述的vi機臺的傳感器擋片結構，其特征在于：所述擋片單元中還設有鎖緊件，通過所述鎖緊件的鎖緊與放開可控制所述第二擋片設置于所述第一擋片上的不同位置。

8.根據權利要求1所述的vi機臺的傳感器擋片結構，其特征在于：所述擋片單元中還設有用于精確調控所述長度控制機構的長度的量測部。

9.根據權利要求1所述的vi機臺的傳感器擋片結構，其特征在于：所述vi機臺的傳感器擋片結構還包括傳感器，所述傳感器與所述擋片單元間隔預設距離，且所述傳感器包括對射型傳感器，所述凸出部位于所述傳感器的感應范圍內。

10.根據權利要求9所述的vi機臺的傳感器擋片結構，其特征在于：所述傳感器包括間隔設置的第一感應部及第二感應部，所述凸出部位于所述第一感應部與所述第二感應部之間。

技術總結
本技術提供一種VI機臺的傳感器擋片結構，包括：晶圓推桿以及擋片單元，所述晶圓推桿頂端設有與晶圓接觸的接觸部；所述擋片單元包括主體擋片以及與所述主體擋片相連接的長度控制機構，所述主體擋片固設于所述晶圓推桿上，所述長度控制機構遠離與所述主體擋片連接的一端設有至少一凸出部。本技術的VI機臺的傳感器擋片結構可快速感應不同尺寸的所述晶圓的在籍狀態，無需拆卸所述晶圓推桿或移動所述傳感器的位置，避免了長時間調整所述傳感器甚至調整后仍無法檢測的狀況，實現了視覺檢測機臺不同檢測任務的快速切換，提升了檢測效率。

技術研發人員：劉思遠
受保護的技術使用者：上海新昇半導體科技有限公司
技術研發日：20240521
技術公布日：2025/4/28