本技術涉及薄膜厚度檢測，具體涉及一種自動測量薄膜測厚儀。

背景技術：

1、薄膜測厚儀是一種用來測量材料表面上薄膜厚度的儀器。它通常通過光學原理、射線原理、超聲波原理等原理來實現對薄膜厚度的測量，并廣泛應用于半導體、電子、涂層、光學薄膜等領域，可用于質量控制、工藝監控以及研發等方面。

2、cn215893501u公開了一種適用于聚酯薄膜厚度自動檢測統計裝置，包括底座，所述底座上安裝有平臺，所述平臺上安裝有機架，所述機架上可轉動的安裝有貼合平臺上端面的滾軸，所述機架上還安裝有靠近平臺上端面的電感測頭，沿著所述平臺右端邊連接有固定夾，所述固定夾與平臺間留有間隙以用于穿過薄膜。

3、上述技術方案利用海綿滾軸和薄膜接觸時產生較大的摩擦力，帶動被測薄膜樣條滑動，可以通過電機啟停或者轉動速度實現設置時間間隔轉動海綿滾軸，在薄膜樣條停留間隔，電感測頭迅速接觸到薄膜進行厚度測量，可以通過電腦實時記錄測試值。但是上述技術方案無法避免平臺上的粉塵對檢測結果的影響，即使上述技術方案在說明書中記載“電感測頭可以采用平面測帽、大圓弧測帽，可根據測量需求進行更換”，采用大圓弧測帽可以使電感側頭和工作臺點接觸，但是由于薄膜一直貼合在工作臺的上表面，所以也無法很好的避免平臺上的粉塵對檢測結果的影響。

技術實現思路

1、本實用新型的目的在于解決上述問題，提供了一種自動測量薄膜測厚儀，本薄膜測厚儀通過在工作臺上設置一頂部為弧面的凸塊，并且凸塊的頂部突出于工作臺的上表面，使檢測機構的底部和凸塊的頂部點接觸，薄膜位于凸塊上時與工作臺懸空，可以很好的避免工作臺上的粉塵對檢測結果的影響，提高檢測的準確性。

2、為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

3、一種自動測量薄膜測厚儀，包括工作臺、連接在工作臺上的支架，支架上設有可升降的檢測機構，檢測機構位于工作臺的上方，支架的一側還設有用于驅動薄膜沿工作臺長度方向移動的驅動機構，工作臺上設有一凸塊，凸塊的頂部突出于工作臺的上表面，凸塊的頂部為弧面，凸塊和檢測機構上下對應，凸塊的頂部和檢測機構的底部點接觸。

4、與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

5、本實用新型通過在工作臺上設置一頂部為弧面的凸塊，并且凸塊的頂部突出于工作臺的上表面，使檢測機構的底部和凸塊的頂部點接觸，薄膜位于凸塊上時與工作臺懸空，可以很好的避免工作臺上的粉塵對檢測結果的影響，提高檢測的準確性。

技術特征：

1.一種自動測量薄膜測厚儀，包括工作臺、連接在所述工作臺上的支架，所述支架上設有可升降的檢測機構，所述檢測機構位于所述工作臺的上方，所述支架的一側還設有用于驅動薄膜沿工作臺長度方向移動的驅動機構，其特征在于，所述工作臺上設有一凸塊，所述凸塊的頂部突出于所述工作臺的上表面，所述凸塊的頂部為弧面，所述凸塊和所述檢測機構上下對應，所述凸塊的頂部和所述檢測機構的底部點接觸。

2.根據權利要求1所述的自動測量薄膜測厚儀，其特征在于，所述凸塊的頂部為球冠形結構，所述凸塊的底部設有螺柱，所述工作臺上設有與凸塊匹配的凹槽，所述凹槽中設有和所述螺柱匹配的螺紋孔，所述凸塊可拆卸連接在所述凹槽中。

3.根據權利要求1所述的自動測量薄膜測厚儀，其特征在于，所述支架上設有調節塊，所述檢測機構可拆卸連接在所述調節塊上，所述調節塊能夠沿所述工作臺的寬度方向調節所述檢測機構的位置。

4.根據權利要求3所述的自動測量薄膜測厚儀，其特征在于，所述檢測機構包括氣動伸縮桿、傳感器、檢測頭，所述氣動伸縮桿可拆卸連接在所述調節塊上，所述傳感器和所述檢測頭分別連接在所述氣動伸縮桿的頂部和底部，所述調節塊能夠沿所述工作臺的寬度方向調節所述伸縮桿的位置。

5.根據權利要求1所述的自動測量薄膜測厚儀，其特征在于，所述驅動機構包括驅動電機、傳動組件、轉輥，所述轉輥轉動連接在所述支架上，所述驅動電機連接在所述支架上，所述驅動電機通過所述傳動組件和所述轉輥連接。

6.根據權利要求5所述的自動測量薄膜測厚儀，其特征在于，所述驅動機構還包括連接架，所述轉輥轉動連接在所述連接架上，所述連接架鉸接在所述支架的一側，所述支架上還設有水平布置的連接板、連接在所述連接板底部的彈性組件，所述彈性組件的下端連接在所述連接架的頂部。

7.根據權利要求5所述的自動測量薄膜測厚儀，其特征在于，所述傳動組件為同步帶輪組件，所述驅動電機和所述同步帶輪組件的主動輪連接，所述轉輥和所述同步帶輪組件的從動輪連接。

8.根據權利要求5所述的自動測量薄膜測厚儀，其特征在于，還包括軟性套筒，所述軟性套筒套設在所述轉輥上。

9.根據權利要求1所述的自動測量薄膜測厚儀，其特征在于，所述工作臺的一端還設有限位機構，所述限位機構包括水平布置的第一桿體、豎直布置的兩根第二桿體，所述第一桿體連接在所述工作臺的一端，所述第二桿體滑動連接在所述第一桿體上，所述第二桿體之間設有供薄膜穿過的間隙，所述第二桿體能夠沿所述第一桿體的長度方向調整所述間隙的大小。

10.根據權利要求1所述的自動測量薄膜測厚儀，其特征在于，所述工作臺的底部還設有控制臺，所述控制臺和外設電腦設備電連接，并實時傳輸薄膜的檢測結果。

技術總結
本技術涉及薄膜厚度檢測技術領域，公開了一種自動測量薄膜測厚儀，包括工作臺、連接在工作臺上的支架，支架上設有可升降的檢測機構，檢測機構位于工作臺的上方，支架的一側還設有用于驅動薄膜沿工作臺長度方向移動的驅動機構，工作臺上設有一凸塊，凸塊的頂部突出于工作臺的上表面，凸塊的頂部為弧面，凸塊和檢測機構上下對應，凸塊的頂部和檢測機構的底部點接觸。本技術通過在工作臺上設置一頂部為弧面的凸塊，并且凸塊的頂部突出于工作臺的上表面，使檢測機構的底部和凸塊的頂部點接觸，薄膜位于凸塊上時與工作臺懸空，可以很好的避免工作臺上的粉塵對檢測結果的影響，提高檢測的準確性。

技術研發人員：彭銳能,柳傳深,任萬營
受保護的技術使用者：廣州德準機電設備有限公司
技術研發日：20240801
技術公布日：2025/4/28