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一種適用于磁光光譜測(cè)試中法拉第旋光效應(yīng)的校正方法和裝置

文檔序號(hào):41750868發(fā)布日期:2025-04-25 17:42閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種適用于磁光光譜測(cè)試中法拉第旋光效應(yīng)的校正方法,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述根據(jù)預(yù)設(shè)偏振構(gòu)型,確定設(shè)置于所述磁光光譜測(cè)試系統(tǒng)的收集光路的第二線偏振片對(duì)應(yīng)的參考角度,包括:

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,所述在所述磁光光譜測(cè)試系統(tǒng)處于不同磁場(chǎng)強(qiáng)度的情況下,根據(jù)所述參考角度,對(duì)設(shè)置于所述激發(fā)光路的第一半波片進(jìn)行校準(zhǔn),確定所述第一半波片的角度與不同磁場(chǎng)強(qiáng)度之間的第一映射關(guān)系,包括:

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,所述根據(jù)所述第一初始角度、以及不同磁場(chǎng)強(qiáng)度下所述第一半波片對(duì)應(yīng)的第一初始調(diào)整角度,確定所述第一映射關(guān)系,包括:

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,所述在所述磁光光譜測(cè)試系統(tǒng)處于不同磁場(chǎng)強(qiáng)度的情況下,根據(jù)所述參考角度,對(duì)設(shè)置于所述收集光路的第二半波片進(jìn)行校準(zhǔn),確定所述第二半波片的角度與不同磁場(chǎng)強(qiáng)度之間的第二映射關(guān)系,包括:

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法,其特征在于,所述根據(jù)所述第二初始角度、以及不同磁場(chǎng)強(qiáng)度下所述第二半波片對(duì)應(yīng)的第二初始調(diào)整角度,確定所述第二映射關(guān)系,包括:

7.根據(jù)權(quán)利要求2至6中任意一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,所述收集光的光強(qiáng)通過(guò)設(shè)置于所述第二線偏振片后的功率計(jì)確定。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至6所述的方法,其特征在于,所述預(yù)設(shè)偏振構(gòu)型包括:所述目標(biāo)激發(fā)光對(duì)應(yīng)的偏振方向與所述收集光對(duì)應(yīng)的偏振方向平行,或所述目標(biāo)激發(fā)光對(duì)應(yīng)的偏振方向與所述收集光對(duì)應(yīng)的偏振方向垂直。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至6所述的方法,其特征在于,在所述第二線偏振片、所述第一半波片和所述第二半波片的校準(zhǔn)過(guò)程中,所述收集光是所述磁光光譜測(cè)試系統(tǒng)內(nèi)放置測(cè)試對(duì)象的襯底的反射信號(hào)光。

10.一種適用于磁光光譜測(cè)試中法拉第旋光效應(yīng)的校正裝置,其特征在于,包括:


技術(shù)總結(jié)
本公開涉及一種適用于磁光光譜測(cè)試中法拉第旋光效應(yīng)的校正方法和裝置,該方法包括:根據(jù)目標(biāo)偏振狀態(tài),確定設(shè)置于磁光光譜測(cè)試系統(tǒng)的激發(fā)光路的第一線偏振片對(duì)應(yīng)的角度;根據(jù)預(yù)設(shè)偏振構(gòu)型,確定設(shè)置于磁光光譜測(cè)試系統(tǒng)的收集光路的第二線偏振片對(duì)應(yīng)的參考角度;在磁光光譜測(cè)試系統(tǒng)處于不同磁場(chǎng)強(qiáng)度的情況下,根據(jù)參考角度,分別確定設(shè)置于激發(fā)光路的第一半波片的角度與不同磁場(chǎng)強(qiáng)度之間的第一映射關(guān)系,以及設(shè)置于收集光路的第二半波片的角度與不同磁場(chǎng)強(qiáng)度之間的第二映射關(guān)系,進(jìn)而確定磁光光譜測(cè)試系統(tǒng)處于目標(biāo)磁場(chǎng)強(qiáng)度下的校準(zhǔn)方案。本公開實(shí)施例可以利用線偏振片和半波片的角度調(diào)整,校正法拉第效應(yīng)引起的偏振誤差,并具有較高的適用性。

技術(shù)研發(fā)人員:翟雨欣,熊啟華,胡立立,秦廷簫,張秀
受保護(hù)的技術(shù)使用者:清華大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/4/24
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