專利名稱：整體升降式軟著陸推拉舟的制作方法
技術領域：
本發明涉及自動送料系統，尤其涉及半導體、光伏產業中PECVD自動送料系統中的軟著陸推拉舟。
背景技術：
太陽能電池片生產的擴散過程是在爐膛內進行，在高溫環境下，通過分子的熱運動，讓磷(P)、鋁(AL)、鎵(( )、硼(B)等雜質元素進入純凈的硅片內部，形成PN結。在進行擴散之前，需要將被擴散的硅片通過推拉舟放入爐膛內，擴散過程結束后，再從爐體內取
出O目前在半導體及光伏產業中擴散、PECVD自動送料系統中，現有的推拉舟通常使用絲杠傳動，底盤不動，只是加持部分局部上下運動，其缺點在于1.占用空間大，設備結構不美觀；2.由于絲杠上的傳動螺母使用頻率較高，經常會壞，更換起來非常麻煩，維修頻率比較高；3.穩定性差等。

發明內容
為了解決以上技術問題，本發明提供了一種穩定性高、維修頻率低、占用空間小的整體升降式軟著陸推拉舟。本發明所述整體升降式軟著陸推拉舟，包括橫向機構、升降機構、托架機構；其中橫向機構包括電機、同步帶輪、同步帶、固定板、滑塊、滑軌、底板，電機與同步帶輪連接，同步帶套在同步帶輪上，同步帶與固定板固定連接，固定板與滑塊固定連接，滑塊與滑軌配合，滑軌固定在底板上；升降機構包括電機、聯軸器、螺旋升降機、滑軌、滑塊，電機通過聯軸器與螺旋升降機連接，螺旋升降機與橫向機構中的底板固定連接，滑軌與滑塊配合，滑塊與橫向機構中的底板固定連接；托架機構與橫向機構中的固定板固定連接。工作時，橫向機構是推拉舟在水平方向上的傳動機構，負責將裝滿硅片的舟水平送入加熱爐體內，或從加熱爐體內水平取出舟；橫向機構中電機帶動同步帶輪轉動，同時同步帶輪帶動同步帶一起旋轉，同步帶固定在固定板上，當同步帶運動時，帶動固定板在滑軌上一起運動。升降機構是推拉舟在豎直方向上的傳動機構，負責將裝滿硅片的舟平穩的落在加熱爐體里的石英管內，或將舟豎直向上抬起從而脫離石英管；升降機構中的電機通過聯軸器帶動螺旋升降機一起運動，螺旋升降機帶動著橫向機構沿著滑軌整體上下運動。本發明所述整體升降式軟著陸推拉舟前進、后退動作，采用步進電機帶動同步帶和同步帶輪來實現的，降低了維修頻率，解決了更換麻煩的不足；其上下運動采用整體升降式運動，減少了推拉舟的占用空間，提高了設備的穩定性。為達到更好的效果，本發明所述整體升降式軟著陸推拉舟還可以采用以下措施 1、所述升降機構的螺旋升降機為2個，分別與橫向機構中底板的兩端固定連接，2個螺旋升降機之間由連接桿相連。這樣可使橫向機構上下運動更加平穩。2、所述升降機構的滑塊內設置有直線軸承。從而使橫向機構上下運動時更加平穩。3、所述托架機構包括2根SiC桿、定位塊、支撐桿、固定環、調節螺栓、固定方塊、連接板。其中，定位塊設置在2個SiC桿之間，2個SiC桿通過固定環與支撐桿固定連接，支撐桿通過固定方塊及調節螺栓與連接板固定連接，連接板與橫向機構中的固定板固定連接。 石墨舟放在SiC桿1，定位塊對石墨舟定好位，然后通過調節螺栓對固定方塊的位置進行調整，從而使2根SiC桿在同一水平面上。4、本發明所述整體升降式軟著陸推拉舟還包括限位控制機構。當推拉舟前進或后退受到阻力時，電機的電流會變大，設備上的PLC收到信號后便自動切斷電機電源，起到保護石墨舟的作用。


圖1為本發明所述整體升降式軟著陸推拉舟結構示意圖。圖2為圖1中橫向機構的結構示意圖。圖3為圖1中升降機構的結構示意圖。圖4為圖1中托架機構的結構示意圖。圖中編號說明
1-橫向機構；2-升降機構；3-托架機構；4-限位控制機構；5-電機；6-同步帶輪；7-同步帶；8-固定板；9-滑塊；10-滑軌；11-底板；12-聯軸器；13-螺旋升降機；14-連接桿； 15-SiC桿；16-定位塊；17-支撐桿；18-固定環；19-調節螺栓；20-固定方塊；21-連接板。
具體實施例方式結合圖1至圖4對本發明所述整體升降式軟著陸推拉舟進行詳細說明。如圖1所示，本發明所述整體升降式軟著陸推拉舟，包括橫向機構1、升降機構2、 托架機構3、限位控制機構4。如圖2所示，橫向機構包括電機5、同步帶輪6、同步帶7、固定板8、滑塊9、滑軌10、 底板11。其中，電機5與同步帶輪6連接，同步帶7套在同步帶輪6上，同步帶7與固定板 8固定連接，固定板8與滑塊9固定連接，滑塊9與滑軌10配合，滑軌10固定在底板11上。 其動作過程是電機5帶動同步帶輪6轉動，同時同步帶輪6通過轉軸帶動其上面的同步帶輪6轉動，從而帶動同步帶7 —起旋轉，同步帶7固定在固定板8上，當同步帶7運動時，帶動固定板8在滑軌10上一起向前向后運動。這中傳動方式結構簡單、傳動平穩、結構穩定、 同時維修方便。如圖3所示，升降機構包括電機5、聯軸器12、2個螺旋升降機13、滑軌10、滑塊9、 連接桿14。其中，電機5通過聯軸器12與螺旋升降機13連接，螺旋升降機13與橫向機構中的底板11固定連接，滑軌10與滑塊9配合，滑塊9與橫向機構中的底板11的兩端固定連接，2個螺旋升降機13之間由連接桿14相連，其動作過程是電機5通過聯軸器12和連接桿14帶動2個螺旋升降機13 —起運動，連接桿14的作用就是讓螺旋升降機同步轉動，2 個螺旋升降機帶動著橫向機構沿著滑軌10整體升降，滑塊9內安裝了滾珠軸承，從而使橫向機構上下運動時平穩、穩定。如圖4所示，托架機構包括2根SiC桿15、定位塊16、支撐桿17、固定環18、調節螺栓19、固定方塊20、連接板21。其中，定位塊16設置在2個SiC15桿之間，2個SiC桿15 通過固定環18與支撐桿17固定連接，支撐桿17通過固定方塊20及調節螺栓19與連接板 21固定連接，連接板21與橫向機構中的固定板8固定連接。其動作過程是將石墨舟放在 SiC桿15上，讓定位塊16將石墨舟定好位，使用SiC桿15主要是因為SiC桿在高溫下不變形，然后用固定環18將2根SiC桿固定在支撐桿17上，再通過固定方塊20和調節螺栓19 將其固定在連接板21上，調節螺栓19主要是調節固定方塊的上下位置，從而使2根SiC桿在同一水平面上。圖1中的限位控制機構4，其作用在于當推拉舟前進或后退受到阻力時，電機的電流會變大，設備上的PLC收到信號后便自動切斷電機電源，從而達到保護石墨舟的功能。
權利要求
1.一種整體升降式軟著陸推拉舟，其特征在于它包括橫向機構、升降機構、托架機構； 其中橫向機構包括電機、同步帶輪、同步帶、固定板、滑塊、滑軌、底板，電機與同步帶輪連接，同步帶套在同步帶輪上，同步帶與固定板固定連接，固定板與滑塊固定連接，滑塊與滑軌配合，滑軌固定在底板上；升降機構包括電機、聯軸器、螺旋升降機、滑軌、滑塊，電機通過聯軸器與螺旋升降機連接，螺旋升降機與橫向機構中的底板固定連接，滑軌與滑塊配合，滑塊與橫向機構中的底板固定連接；托架機構與橫向機構中的固定板固定連接。
2.根據權利要求1所述的整體升降式軟著陸推拉舟，其特征在于所述升降機構的螺旋升降機為2個，分別與橫向機構中底板的兩端固定連接，2個螺旋升降機之間由連接桿相連。
3.根據權利要求2所述的整體升降式軟著陸推拉舟，其特征在于所述升降機構的滑塊內設置有直線軸承。
4.根據權利要求3所述的整體升降式軟著陸推拉舟，其特征在于所述托架機構包括2 根SiC桿、定位塊、支撐桿、固定環、調節螺栓、固定方塊、連接板；其中，定位塊設置在2個 SiC桿之間，2個SiC桿通過固定環與支撐桿固定連接，支撐桿通過固定方塊及調節螺栓與連接板固定連接，連接板與橫向機構中的固定板固定連接。
5.根據權利要求1至4任一所述的整體升降式軟著陸推拉舟，其特征在于它還包括限位控制機構。
全文摘要
本發明提供了一種整體升降式軟著陸推拉舟，它包括橫向機構、升降機構、托架機構；其中橫向機構包括電機、同步帶輪、同步帶、固定板、滑塊、滑軌、底板，電機與同步帶輪連接，同步帶套在同步帶輪上，同步帶與固定板固定連接，固定板與滑塊固定連接，滑塊與滑軌配合，滑軌固定在底板上；升降機構包括電機、聯軸器、螺旋升降機、滑軌、滑塊，電機通過聯軸器與螺旋升降機連接，螺旋升降機與橫向機構中的底板固定連接，滑軌與滑塊配合，滑塊與橫向機構中的底板固定連接；托架機構與橫向機構中的固定板固定連接；其降低了維修頻率，解決了更換麻煩的不足，同時減少了推拉舟的占用空間，提高了設備的穩定性。
文檔編號H01L31/18GK102386282SQ20111036770
公開日2012年3月21日 申請日期2011年11月18日 優先權日2011年11月18日
發明者李丙科 申請人:青島賽瑞達設備制造有限公司