本發明涉及顯示器技術領域，特別涉及一種柔性顯示面板及該柔性顯示面板的制作方法、柔性顯示裝置。

背景技術：

隨著信息社會的發展，人們對顯示設備的需求日益增長。柔性顯示面板以其輕薄，可彎折甚至卷曲，機械性能好的特點越來越受到人們的青睞。目前，柔性顯示面板在生活中的應用越來越廣泛。

柔性顯示面板包括柔性液晶顯示(lcd)器件和柔性有機發光二極管顯示(oled)器件。柔性顯示面板通常制作在柔性載體上，由于其彎折的特性，給其設計和制作帶來了很大的挑戰。

在柔性lcd器件和柔性oled器件中，存儲電容通常是必不可少的器件。一般來說，存儲電容由上下兩個極板和中間的絕緣層組成。圖1為一種傳統的柔性顯示面板的像素電路圖。如圖1所示，在現有的柔性顯示面板中，最基本的像素電路包括開關晶體管t1、驅動晶體管t2和存儲電容cs，所述開關晶體管t1的柵極與掃描線sn連接，所述開關晶體管t1的源極與數據線dm連接，所述開關晶體管t1的漏極、驅動晶體管t2的柵極和存儲電容cs的第一柔性基板(下極板)均連接于節點n1，所述驅動晶體管t2的源極和存儲電容cs的第二柔性基板(上極板)均與第一電源vdd連接，所述驅動晶體管t2的漏極與所述有機發光二極管oled的陽極連接，所述有機發光二極管oled的陰極與第二電源vss連接。通過掃描線sn打開所述開關晶體管t1時，數據線dm提供的數據電壓經由所述開關晶體管t1存儲到存儲電容cs，從而控制所述驅動晶體管t2產生電流，以驅動所述有機發光二極管oled發光。

然而，發明人發現，由于柔性顯示面板易于彎折，隨著彎折次數的增 加，上極板和下極板可能出現斷裂的情況，導致存儲電容的電容值嚴重下降，甚至會使存儲電容出現短路，直接影響柔性顯示面板的正常工作。另外，如圖1所示，對于柔性顯示面板來說，存儲電容的下極板出現斷裂，還會導致開關晶體管t1的漏極、驅動晶體管t2的柵極和存儲電容cs的下極板出現接觸不良，甚至斷路，直接影響柔性顯示面板的正常工作。

技術實現要素：

本發明的目的在于解決現有的柔性顯示面板的存儲電容的上極板和/或下極板易斷裂的問題。

本發明的另一目的在于，通過設置補償線以確保在柔性顯示面板的存儲電容的下極板斷裂時仍不影響柔性顯示面板的功能。

為解決上述技術問題，本發明提供一種柔性顯示面板，包括以矩陣方式排列的多個子像素，每個子像素內包括至少一個存儲電容，至少部分子像素內的至少部分存儲電容的上極板和/或下極板為網狀結構。

可選的，在所述的柔性顯示面板中，所述網狀結構的網孔為菱形。

可選的，在所述的柔性顯示面板中，所述存儲電容的上極板和下極板均為網狀結構時，所述上極板的網孔和下極板的網孔正對布置。

可選的，在所述的柔性顯示面板中，所述柔性顯示面板為oled柔性顯示面板。所述柔性顯示面板包括形成在柔性基板上的掃描線、數據線和電源線，所述掃描線和數據線定義了所述多個子像素，每個所述子像素均包括開關晶體管、驅動晶體管和存儲電容，所述開關晶體管的柵極與所述掃描線連接，所述開關晶體管的源極與所述數據線連接，所述開關晶體管的漏極、所述存儲電容的下極板以及驅動晶體管的柵極連接，所述驅動晶體管的源極和所述存儲電容的上極板均與所述電源線連接，所述驅動晶體管的漏極與一有機發光二極管的陽極連接。

可選的，在所述的柔性顯示面板中，所述柔性顯示面板還包括一修補線，所述修補線的一端與所述存儲電容的下極板的一端連接，所述修補線的另一端與所述存儲電容的下極板的另一端連接。所述修補線與所述存儲電容的下極板在同一步驟中形成。

可選的，在所述的柔性顯示面板中，所述存儲電容的下極板與所述開關晶體管的柵極、驅動晶體管的柵極、掃描線在同一步驟中形成，或者，所述存儲電容的下極板與開關晶體管的有源層和驅動晶體管的有源層在同一步驟中形成。

本發明還提供一種柔性顯示裝置，包括如上所述的柔性顯示面板。

本發明還一種柔性顯示面板的制作方法，包括在柔性基板上形成掃描線、數據線、電源線以及由所述掃描線和數據線定義的多個子像素，每個所述子像素均包括開關晶體管、驅動晶體管和存儲電容，至少部分子像素內的至少部分存儲電容的上極板和/或下極板為網狀結構。

在本發明提供的柔性顯示面板中，至少部分子像素內的至少部分存儲電容的上極板和/或下極板為網狀結構。通過采用網狀結構的極板，可以大幅度降低甚至消除極板斷裂的現象。進一步的，所述柔性顯示面板還包括與存儲電容的下極板的兩端連接的修補線，以確保在下極板斷裂時開關晶體管的漏極和驅動晶體管的柵極仍然保持導通。

附圖說明

圖1是柔性顯示面板中最基本的像素電路的示意圖；

圖2a是本發明實施例一中形成第一金屬層后的平面示意圖；

圖2b是本發明實施例一中形成第一金屬層后的剖面示意圖；

圖3a是本發明實施例一中柔性顯示面板的平面示意圖；

圖3b是圖2a中1個子像素的剖面示意圖；

圖4a是本發明實施例二中柔性顯示面板的平面示意圖；

圖4b是圖2a中1個子像素的剖面示意圖；

圖5a是本發明實施例三中柔性顯示面板的平面示意圖；

圖5b是圖2a中1個子像素的剖面示意圖；

圖6a是本發明實施例四中柔性顯示面板的平面示意圖；

圖6b是圖2a中1個子像素的剖面示意圖；

附圖標記說明：

開關晶體管-t1；開關晶體管的柵極-g1；開關晶體管的源極-s1；開 關晶體管的漏極-dm；

驅動晶體管-t2；驅動晶體管的柵極-g2；驅動晶體管的源極-s2；驅動晶體管的漏極-d2；

存儲電容-cs；存儲電容的下極板-cs-1；存儲電容的上極板-cs-2；

數據線-dm；掃描線-sn；第一電源線-vdd1；第二電源線-vdd2；連接線lm；修補線bm

柔性基板-100；有源層-111、112；柵絕緣層-120；層間絕緣層-140；

第一過孔-141；第二過孔-142；第三過孔-143；第四過孔-144；第五過孔-145；第六過孔-146。

具體實施方式

在背景技術中已經提及，由于柔性顯示面板易于彎折，導致上極板或下極板極易出現斷裂。本申請發明人對這一問題進行了深入的研究和大量的實驗，發現線條較粗的極板更容易出現斷裂?；诖耍旧暾執峁┮环N柔性顯示面板及其制造方法，所述柔性顯示面板包括以矩陣方式排列的多個子像素，每個子像素內包括至少一個存儲電容，至少部分子像素內的至少部分存儲電容的上極板和/或下極板為網狀結構。通過采用網狀結構的極板，可以大幅度降低甚至消除極板斷裂的現象。

以下結合附圖和具體實施例對本發明提出的柔性顯示面板、柔性顯示面板的制造方法、柔性顯示裝置作進一步詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本發明的優點和特征將更清楚。

實施例一

圖3a是本發明實施例一中柔性顯示面板的平面示意圖，為簡化附圖，此處只是反映三個子像素的平面結構，實際上，柔性顯示面板的子像素數量并不限于此。如圖3a所示，所述柔性顯示面板包括形成在柔性基板100上的掃描線sn、數據線dm和電源線，所述掃描線sn和數據線dm定義了以矩陣方式排列的多個子像素，每個子像素內包括至少一個存儲電容cs。本實施例中，所述存儲電容cs的上極板cs-2為網狀結構，所述存儲電容cs的下極板cs-1為平板狀結構。通過采用網狀結構，可以大幅度降低甚至 消除上極板cs-2斷裂的現象，提升了柔性顯示面板工作的可靠性。

圖3b中示出了一個子像素的剖面示意圖，需要說明的是，圖2b中只是示意性的表示出開關晶體管、驅動晶體管和存儲電容的剖面結構，其中各層薄膜厚度和區域大小形狀并不反映柔性顯示面板的真實比例，目的只是示意性的說明本實施例的內容。具體的，如圖3a和3b所示，本實施例采用最基本的像素電路，該像素電路包括1個開關晶體管t1、1個驅動晶體管t2和1個存儲電容cs，即2t1c結構。當然，所述子像素也可采用更多的晶體管和/或更多的存儲電容，本發明并不限制晶體管和存儲電容的數量。所述開關晶體管t1包括有源層111、源極s1、漏極d1以及柵極g11、g12。所述驅動晶體管t2包括有源層112、源極s2、漏極d2以及柵極g2。所述存儲電容cs包括第一極板(即下極板cs-1)、第二極板(即上極板cs-2)以及形成于下極板cs-1和上極板cs-2之間的層間絕緣層140。

結合圖3a和圖3b所示，所述開關晶體管t1的柵極g11、g12(這里采用雙柵結構)與掃描線sn連接(二者實際上為一體結構)，所述開關晶體管t1的源極s1與數據線dm連接(二者實際上為一體結構)，所述開關晶體管t1的漏極d1、存儲電容cs的第一極板(即下極板cs-1)以及驅動晶體管t2的柵極g2連接，所述驅動晶體管t2的源極s2和存儲電容cs的第二極板(即上極板cs-2)均與電源線連接，所述驅動晶體管t2的漏極d2與一有機發光二極管的陽極連接。所述掃描線sn用于向開關晶體管t1提供開啟或關斷電壓，所述驅動晶體管t2用于控制數據線dm向有機發光二極管提供數據電壓。

繼續參考圖3a和圖3b所示，所述數據線dm和掃描線sn相互垂直，所述電源線則包括與掃描線sn平行的第一電源線vdd1以及與第一電源線vdd1垂直的第二電源線vdd2，所述第一電源線vdd1和第二電源線vdd2通過第六過孔146連通。這里，第一電源線vdd1與存儲電容cs的下極板cs-1利用同一光刻工藝形成，第二電源線vdd2與存儲電容cs的上極板cs-2利用同一光刻工藝形成，更具體的，第二電源線vdd2與存儲電容cs的上極板cs-2為一體結構。

重點參考圖3b所示，所述oled顯示面板包括柵絕緣層120、圖形化 的第一金屬層、層間絕緣層140以及圖形化的第二金屬層。所述柵絕緣層120形成于有源層111、112以及未被有源層111、112覆蓋的柔性基板100上。所述圖形化的第一金屬層形成于所述柵絕緣層120上，用以作為掃描線sn、存儲電容cs的下極板c1-1、第一電源線vdd1、驅動晶體管t2的柵極g2以及開關晶體管t1的柵極g11、g12。所述層間絕緣層140形成于所述柵絕緣層120以及圖形化的第一金屬層上。所述圖形化的第二金屬層形成于層間絕緣層140上，用以作為開關晶體管的源極s1和漏極d1、驅動晶體管的源極s2和漏極d2、存儲電容的上極板cs-2以及第二電源線vdd2。

重點參考圖2b所示，所述oled顯示面板包括還第一過孔141、第二過孔142、第三過孔143、第四過孔144、第五過孔145、第六過孔146。所述第一過孔141、第二過孔142、第三過孔143、第四過孔144、第五過孔145貫穿所述層間絕緣層140和柵絕緣層120，所述第六過孔146貫穿所述層間絕緣層140。結合圖3a和圖3b所示，其中，第一過孔141用于導通數據線dm和開關晶體管t1的源極s1，第二過孔142和第三過孔143通過連接線lm導通開關晶體管t1的漏極和存儲電容cs的下極板cs-1，第四過孔144用于導通驅動關晶體管t2的源極s2和存儲電容cs的上極板cs-2，第五過孔145用于導通驅動關晶體管t2的漏極s2與一發光二極管的陽極，第六過孔146用于導通第一電源線vdd1和第二電源線vdd2。

以下結合本發明實施例一的柔性顯示面板制造過程的平面俯視圖和剖面示意圖，進一步說明本實施例的技術方案，在以下說明中，本發明所稱的光刻工藝包括光刻膠涂覆、掩模、曝光、刻蝕和光刻膠剝離等工藝，光刻膠以正性光刻膠為例。

首先，如圖2b所示，提供一柔性基板100。所述柔性基板100通常為透明柔性基板，具體的，所述柔性基板100可為透明的柔性基板。所述柔性基板的形狀可為平面、曲面或其他不規則形狀。應理解的是，所述柔性基板的材質以及形狀在此不做限制。

接著，參考圖2a和圖2b所示，在所述柔性基板100上形成有源層111、112。形成有源層111、112的具體過程包括：采用化學氣相沉積(cvd) 工藝在所述柔性基板100上形成一非晶硅層(a-si)；對所述非晶硅層采用準分子激光退火(ela)、固相晶化(spc)或金屬誘導結晶(mic)等工藝方法，將其轉化成多晶硅層(p-si)；進行光刻工藝，圖形化所述多晶硅層形成開關晶體管t1的有源層111和驅動晶體管t2的有源層112。

接著，重點參考圖2b所示，采用化學氣相沉積(cvd)工藝在有源層111、112和未被有源層111、112覆蓋的柔性基板100上形成柵絕緣層120。所述柵絕緣層120采用的材料例如為氧化物、氮化物或氧氮化合物，當然，所述柵絕緣層120亦可采用其它絕緣材料，本發明對此并不予限制。

接著，繼續參考圖2a和圖2b所示，采用濺射或蒸發工藝在所述柵絕緣層120上形成第一金屬層，并進行光刻工藝以圖形化所述第一金屬層，分別形成掃描線sn、存儲電容cs的第一電極(即下極板)cs-1、第一電源線vdd1、驅動晶體管t2的柵極g2以及開關晶體管t1的柵極g11、g12。所述第一金屬層可以采用cr、w、ti、ta、mo、al、cu等金屬或合金的單層膜，也可以采用由多層金屬薄膜構成的復合薄膜。所述第一電源線vdd1與掃描線sn相互平行，所述存儲電容cs的下極板cs-1為平板狀結構。

接著，如圖3a和圖3b所示，采用化學氣相沉積(cvd)工藝形成層間絕緣層140，并進行光刻工藝，形成第一過孔141、第二過孔142、第三過孔143、第四過孔144、第五過孔145、第六過孔146，所述第一過孔141、第二過孔142、第三過孔143、第四過孔144、第五過孔145貫穿所述層間絕緣層140和柵絕緣層120，所述第六過孔146貫穿所述層間絕緣層140。第一過孔141用于導通后續形成數據線dm和開關晶體管t1的源極s1，第二過孔142和第三過孔143通過連接線lm導通開關晶體管t1的漏極和存儲電容cs的下極板cs-1，第四過孔144用于導通驅動關晶體管t2的源極s2和存儲電容cs的上極板cs-2，第五過孔145用于導通驅動關晶體管t2的漏極s2與一發光二極管的陽極，第六過孔146用于導通第一電源線vdd1和第二電源線vdd2。本實施例中，所述層間絕緣層140采用的材料例如為氧化物、氮化物或氧氮化合物，當然，所述層間絕緣層140亦可采用其它絕緣材料，本發明對此并不予限制。

接著，繼續參考圖3a和圖3b所示，采用濺射或蒸發工藝在所述層間絕緣層上形成第二金屬層，并進行光刻工藝圖形化所述第二金屬層，以形成開關晶體管t1的源極s1和漏極d1、驅動晶體管t2的源極s2和漏極d2、存儲電容cs的第二電極(即上極板cs-2)、數據線dm、第二電源線vdd2以及連接線lm。所述第二金屬層可以采用cr、w、ti、ta、mo、al、cu等金屬或合金的單層膜，也可以采用由多層金屬薄膜構成的復合薄膜。至此，開關晶體管t1、驅動晶體管t2、存儲電容cs已經形成，存儲電容cs由下極板cs-1、上極板cs-2以及位于下極板cs-1、上極板cs-2之間的層間絕緣層140共同構成。

本實施例中，所述存儲電容cs的上極板cs-2為網狀結構，由此可大幅度降低甚至消除上極板cs-2斷裂的現象。所述網狀結構的網孔150a優選為菱形，實驗發現，此種結構的上極板cs-2效果更佳。但應認識到，所述網孔的形狀也可以是三角形、五邊形或者不規則形狀等，并且同一上極板中可以同時包含多種形狀和/或多種尺寸的網孔，并且，這些網孔可以是均勻分布，也可以是不均勻分布?？傊?，本發明并不限制網孔的形狀、大小和布局，可根據實際需求做一些適當的變化。

實施例二

圖4a是本發明實施例二中柔性顯示面板的平面示意圖，圖4b是圖4a中1個子像素的剖面示意圖。如圖4a和圖4b所示，所述柔性顯示面板的主體結構包括形成在柔性基板100上的掃描線sn、數據線dm和電源線，所述掃描線sn和數據線dm定義了以矩陣方式排列的多個子像素，每個子像素內包括至少一個存儲電容cs。本實施例中，所述存儲電容cs的上極板cs-2為平板狀結構，而所述存儲電容cs的下極板cs-1為網狀結構。通過采用網狀結構，可以大幅度降低甚至消除下極板cs-1斷裂的現象。其中，下極板cs-1的網孔優選為菱形，但應理解，本發明并不限制該下極板上網孔的形狀、大小和布局，可根據實際需求做一些適當的變化。

實施例三

圖5a是本發明實施例二中柔性顯示面板的平面示意圖，圖5b是圖5a中1個子像素的剖面示意圖。如圖5a和圖5b所示，本實施例中，所述存 儲電容cs的上極板cs-2和下極板cs-1均為網狀結構，由此，可以同時大幅度降低甚至消除上極板cs-2和下極板cs-1斷裂的現象。進一步的，所述上極板cs-2和下極板cs-1的網孔位置正對布置，以使上極板cs-2和下極板cs-1交疊面積最大。本實施例中，所述上極板cs-2的網孔和下極板cs-1的網孔的大小相同，但應認識到，所述上極板cs-2的網孔和下極板cs-1的網孔的大小也可以不相同，只要確保二者交疊面積符合設計要求，達到預定的電容值即可。

實施例四

圖6a是本發明實施例四中柔性顯示面板的平面示意圖，圖6b是圖6a中1個子像素的剖面示意圖。如圖6a和圖6b所示，所述柔性顯示面板的主體結構包括形成在柔性基板100上的掃描線sn、數據線dm和電源線，所述掃描線sn和數據線dm定義了以矩陣方式排列的多個子像素，每個子像素內包括至少一個存儲電容cs。

本實施例與實施例一區別之處在于，還包括與存儲電容cs的下極板cs-1的兩端連接的修補線bm，如圖6a所示，所述修補線bm的一端與存儲電容cs的下極板cs-1的一端連接，所述修補線bm的另一端則與存儲電容cs的下極板cs-1的另一端連接。所述修補線bm與所述存儲電容cs的下極板cs-1在同一步驟中形成，更具體地說，所述修補線bm與存儲電容cs的下極板cs-1、開關晶體管t1的柵極和驅動晶體管t2的柵極、掃描線sn以及第一電源線vdd1均是在同一步驟中形成，且位于同一層。實驗發現，較粗的下極板cs-1更容易出現斷裂，相對較細的修補線bm則不易斷裂，這樣可確保在下極板cs-1斷裂時，開關晶體管t1的漏極d1、驅動晶體管t2的柵極g2保持導通。

以上結合幾個具體實施例詳細介紹了本發明柔性顯示面板的具體方案，然而，本發明并不局限于上述具體實施例。比如，可以是柔性顯示面板的所有子像素內的存儲電容的上極板和/或下極板均為網狀結構，也可以是部分子像素內的存儲電容的上極板和/或下極板為網狀結構，例如是柔性顯示面板彎折頻率較大使得存儲電容的極板易斷裂的區域的子像素中存儲電容的上極板和/或下極板為網狀結構。還比如，所述子像素并不限定為 2t1c結構，還可以是更多的晶體管和/或更多的存儲電容，當一個子像素內包含多個存儲電容時，可以是其中部分存儲電容的上極板和/或下極板為網狀結構，也可以是該子像素全部的存儲電容的上極板和/或下極板均為網狀結構。再比如，上述幾個實施例中存儲電容的下極板均是金屬極板，該下極板與開關晶體管的柵極和驅動晶體管的柵極、掃描線以及第一電源線在同一步驟中形成，但在其它實施例中，存儲電容的下極板亦可以是與有源層在同一步驟中形成。又比如，不僅僅是實施例一中的柔性顯示面板配合修補線，實施例二和實施例三的柔性顯示面板中也可以設置與存儲電容的下極板的兩端連接的修補線。

綜上所述，本申請提供的柔性顯示面板包括以矩陣方式排列的多個子像素，每個子像素內包括至少一個存儲電容，至少部分子像素內的至少部分存儲電容的上極板和/或下極板為網狀結構，通過采用網狀結構的極板，可以大幅度降低甚至消除極板斷裂的現象。進一步的，所述柔性顯示面板還包括與存儲電容的下極板的兩端連接的修補線，以確保在下極板斷裂時開關晶體管的漏極和驅動晶體管的柵極仍然保持導通。

本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對于實施例公開的系統而言，由于與實施例公開的方法相對應，所以描述的比較簡單，相關之處參見方法部分說明即可。

上述描述僅是對本發明較佳實施例的描述，并非對本發明范圍的任何限定，本發明領域的普通技術人員根據上述揭示內容做的任何變更、修飾，均屬于權利要求書的保護范圍。