1.一種集成電路裝置,所述集成電路裝置包括:
半導(dǎo)體結(jié)構(gòu);
連接端子,設(shè)置在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第一表面上;
導(dǎo)電焊盤,設(shè)置在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的與第一表面相對的第二表面上;
基底穿透通孔結(jié)構(gòu),貫穿半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),其中,基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的端部延伸到半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第二表面之外,
其中,導(dǎo)電焊盤圍繞基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的端部,
其中,連接端子通過基底穿透通孔結(jié)構(gòu)電連接到導(dǎo)電焊盤。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路裝置,所述集成電路裝置還包括:
絕緣層,設(shè)置在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第二表面上,
其中,絕緣層包括:
第一部分,圍繞導(dǎo)電焊盤的側(cè)壁;
第二部分,與導(dǎo)電焊盤豎直地疊置并圍繞基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的側(cè)壁的一部分,其中,側(cè)壁的所述一部分設(shè)置在導(dǎo)電焊盤與半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第二表面之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路裝置,
其中,絕緣層的第一部分和第二部分彼此接觸。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路裝置,
其中,絕緣層的第一部分的上表面與導(dǎo)電焊盤的上表面位于同一水平處。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路裝置,
其中,絕緣層包括暴露基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的端部的凹進(jìn)空間,導(dǎo)電焊盤填充凹進(jìn)空間。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路裝置,所述集成電路裝置還包括:
導(dǎo)電層,設(shè)置在絕緣層與導(dǎo)電焊盤之間,
其中,導(dǎo)電層接觸導(dǎo)電焊盤的側(cè)壁。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的集成電路裝置,
其中,導(dǎo)電層設(shè)置在基底穿透通孔結(jié)構(gòu)與導(dǎo)電焊盤之間,并共形地覆蓋基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的端部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路裝置,
其中,基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的端部具有倒圓形狀。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路裝置,
其中,絕緣層包括感光有機(jī)絕緣材料。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路裝置,
其中,導(dǎo)電焊盤的側(cè)壁傾斜預(yù)定的角度。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路裝置,
其中,導(dǎo)電焊盤具有朝向基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的端部減小的寬度。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路裝置,
其中,導(dǎo)電焊盤包括在側(cè)壁上的臺階部。
13.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路裝置,所述集成電路裝置還包括:
粘合層,設(shè)置在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)與絕緣層之間以及基底穿透通孔結(jié)構(gòu)與絕緣層之間。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的集成電路裝置,
其中,粘合層圍繞基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的側(cè)壁,
其中,基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的側(cè)壁設(shè)置在導(dǎo)電焊盤與半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)之間。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路裝置,
其中,半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包括基底和覆蓋基底的絕緣中間層,基底穿透通孔結(jié)構(gòu)貫穿基底和絕緣中間層。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路裝置,
其中,半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包括基底和覆蓋基底的絕緣中間層,基底穿透通孔結(jié)構(gòu)貫穿基底而不貫穿絕緣中間層。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路裝置,
其中,半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包括基底、覆蓋基底的絕緣中間層和覆蓋絕緣中間層的金屬間絕緣層,基底穿透通孔結(jié)構(gòu)貫穿基底、絕緣中間層和金屬間絕緣層。
18.一種集成電路裝置,所述集成電路裝置包括:
半導(dǎo)體結(jié)構(gòu);
基底穿透通孔結(jié)構(gòu),貫穿半導(dǎo)體結(jié)構(gòu);
絕緣層,設(shè)置在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)上并包括暴露基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的端部的凹進(jìn)空間;以及
導(dǎo)電焊盤,導(dǎo)電焊盤填充凹進(jìn)空間,并連接到基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的端部。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的集成電路裝置,
其中,絕緣層包括不與導(dǎo)電焊盤豎直疊置的第一部分和與導(dǎo)電焊盤豎直疊置的第二部分,絕緣層的第二部分圍繞基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)與導(dǎo)電焊盤之間的側(cè)壁。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的集成電路裝置,
其中,導(dǎo)電焊盤的上表面與絕緣層的第一部分的上表面位于同一水平處。
21.根據(jù)權(quán)利要求18所述的集成電路裝置,
其中,絕緣層的第一部分和第二部分彼此一體地形成。
22.一種半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置包括:
第一集成電路裝置,具有第一電連接結(jié)構(gòu)和電連接到第一電連接結(jié)構(gòu)的連接端子;
第二集成電路裝置,在第一集成電路裝置上豎直堆疊;
其中,連接端子將第一電連接結(jié)構(gòu)電連接到第二集成電路裝置,
其中,第一集成電路裝置還包括:
第一半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),具有第一表面和與第一表面相對的第二表面;以及
導(dǎo)電焊盤,設(shè)置在第一半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的與第一表面相對的第二表面上,
其中,連接端子設(shè)置在第一半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第一表面上,
其中,第一電連接結(jié)構(gòu)貫穿第一半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),其中,第一電連接結(jié)構(gòu)的端部延伸到第一半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第二表面之外,
其中,導(dǎo)電焊盤圍繞第一電連接結(jié)構(gòu)的端部,
其中,連接端子通過第一電連接結(jié)構(gòu)電連接到導(dǎo)電焊盤。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的半導(dǎo)體裝置,其中,第一集成電路裝置還包括由感光有機(jī)絕緣材料形成的絕緣層,其中,絕緣層包括暴露第一電連接結(jié)構(gòu)的端部的凹進(jìn)空間。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的半導(dǎo)體裝置,其中,第二集成電路裝置包括第二半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)和貫穿第二半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第二電連接結(jié)構(gòu),其中,第二電連接結(jié)構(gòu)電連接到第一電連接結(jié)構(gòu)。
25.根據(jù)權(quán)利要求22所述的半導(dǎo)體裝置,
其中,第一電連接結(jié)構(gòu)包括:
導(dǎo)電阻擋層,設(shè)置在貫穿第一半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的通孔的側(cè)壁上;以及
導(dǎo)電塞,填充導(dǎo)電阻擋層上的通孔,
其中,第一集成電路裝置還包括包含在凹進(jìn)空間中設(shè)置在導(dǎo)電塞與導(dǎo)電焊盤之間的第一部分的導(dǎo)電層。