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集成電路裝置及包括其的半導(dǎo)體裝置的制作方法

文檔序號:11955894閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種集成電路裝置,所述集成電路裝置包括:

半導(dǎo)體結(jié)構(gòu);

連接端子,設(shè)置在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第一表面上;

導(dǎo)電焊盤,設(shè)置在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的與第一表面相對的第二表面上;

基底穿透通孔結(jié)構(gòu),貫穿半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),其中,基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的端部延伸到半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第二表面之外,

其中,導(dǎo)電焊盤圍繞基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的端部,

其中,連接端子通過基底穿透通孔結(jié)構(gòu)電連接到導(dǎo)電焊盤。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路裝置,所述集成電路裝置還包括:

絕緣層,設(shè)置在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第二表面上,

其中,絕緣層包括:

第一部分,圍繞導(dǎo)電焊盤的側(cè)壁;

第二部分,與導(dǎo)電焊盤豎直地疊置并圍繞基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的側(cè)壁的一部分,其中,側(cè)壁的所述一部分設(shè)置在導(dǎo)電焊盤與半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第二表面之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路裝置,

其中,絕緣層的第一部分和第二部分彼此接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路裝置,

其中,絕緣層的第一部分的上表面與導(dǎo)電焊盤的上表面位于同一水平處。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路裝置,

其中,絕緣層包括暴露基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的端部的凹進(jìn)空間,導(dǎo)電焊盤填充凹進(jìn)空間。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路裝置,所述集成電路裝置還包括:

導(dǎo)電層,設(shè)置在絕緣層與導(dǎo)電焊盤之間,

其中,導(dǎo)電層接觸導(dǎo)電焊盤的側(cè)壁。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的集成電路裝置,

其中,導(dǎo)電層設(shè)置在基底穿透通孔結(jié)構(gòu)與導(dǎo)電焊盤之間,并共形地覆蓋基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的端部。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路裝置,

其中,基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的端部具有倒圓形狀。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路裝置,

其中,絕緣層包括感光有機(jī)絕緣材料。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路裝置,

其中,導(dǎo)電焊盤的側(cè)壁傾斜預(yù)定的角度。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路裝置,

其中,導(dǎo)電焊盤具有朝向基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的端部減小的寬度。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路裝置,

其中,導(dǎo)電焊盤包括在側(cè)壁上的臺階部。

13.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路裝置,所述集成電路裝置還包括:

粘合層,設(shè)置在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)與絕緣層之間以及基底穿透通孔結(jié)構(gòu)與絕緣層之間。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的集成電路裝置,

其中,粘合層圍繞基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的側(cè)壁,

其中,基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的側(cè)壁設(shè)置在導(dǎo)電焊盤與半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)之間。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路裝置,

其中,半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包括基底和覆蓋基底的絕緣中間層,基底穿透通孔結(jié)構(gòu)貫穿基底和絕緣中間層。

16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路裝置,

其中,半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包括基底和覆蓋基底的絕緣中間層,基底穿透通孔結(jié)構(gòu)貫穿基底而不貫穿絕緣中間層。

17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路裝置,

其中,半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包括基底、覆蓋基底的絕緣中間層和覆蓋絕緣中間層的金屬間絕緣層,基底穿透通孔結(jié)構(gòu)貫穿基底、絕緣中間層和金屬間絕緣層。

18.一種集成電路裝置,所述集成電路裝置包括:

半導(dǎo)體結(jié)構(gòu);

基底穿透通孔結(jié)構(gòu),貫穿半導(dǎo)體結(jié)構(gòu);

絕緣層,設(shè)置在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)上并包括暴露基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的端部的凹進(jìn)空間;以及

導(dǎo)電焊盤,導(dǎo)電焊盤填充凹進(jìn)空間,并連接到基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的端部。

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的集成電路裝置,

其中,絕緣層包括不與導(dǎo)電焊盤豎直疊置的第一部分和與導(dǎo)電焊盤豎直疊置的第二部分,絕緣層的第二部分圍繞基底穿透通孔結(jié)構(gòu)的在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)與導(dǎo)電焊盤之間的側(cè)壁。

20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的集成電路裝置,

其中,導(dǎo)電焊盤的上表面與絕緣層的第一部分的上表面位于同一水平處。

21.根據(jù)權(quán)利要求18所述的集成電路裝置,

其中,絕緣層的第一部分和第二部分彼此一體地形成。

22.一種半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置包括:

第一集成電路裝置,具有第一電連接結(jié)構(gòu)和電連接到第一電連接結(jié)構(gòu)的連接端子;

第二集成電路裝置,在第一集成電路裝置上豎直堆疊;

其中,連接端子將第一電連接結(jié)構(gòu)電連接到第二集成電路裝置,

其中,第一集成電路裝置還包括:

第一半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),具有第一表面和與第一表面相對的第二表面;以及

導(dǎo)電焊盤,設(shè)置在第一半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的與第一表面相對的第二表面上,

其中,連接端子設(shè)置在第一半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第一表面上,

其中,第一電連接結(jié)構(gòu)貫穿第一半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),其中,第一電連接結(jié)構(gòu)的端部延伸到第一半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第二表面之外,

其中,導(dǎo)電焊盤圍繞第一電連接結(jié)構(gòu)的端部,

其中,連接端子通過第一電連接結(jié)構(gòu)電連接到導(dǎo)電焊盤。

23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的半導(dǎo)體裝置,其中,第一集成電路裝置還包括由感光有機(jī)絕緣材料形成的絕緣層,其中,絕緣層包括暴露第一電連接結(jié)構(gòu)的端部的凹進(jìn)空間。

24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的半導(dǎo)體裝置,其中,第二集成電路裝置包括第二半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)和貫穿第二半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第二電連接結(jié)構(gòu),其中,第二電連接結(jié)構(gòu)電連接到第一電連接結(jié)構(gòu)。

25.根據(jù)權(quán)利要求22所述的半導(dǎo)體裝置,

其中,第一電連接結(jié)構(gòu)包括:

導(dǎo)電阻擋層,設(shè)置在貫穿第一半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的通孔的側(cè)壁上;以及

導(dǎo)電塞,填充導(dǎo)電阻擋層上的通孔,

其中,第一集成電路裝置還包括包含在凹進(jìn)空間中設(shè)置在導(dǎo)電塞與導(dǎo)電焊盤之間的第一部分的導(dǎo)電層。

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