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晶圓分配方法、裝置、設備、介質及程序產品

文檔序號:41762727發布日期:2025-04-29 18:32閱讀:4來源:國知局
晶圓分配方法、裝置、設備、介質及程序產品

本公開涉及云計算領域,更具體地,涉及一種晶圓分配方法、裝置、設備、介質及程序產品。


背景技術:

1、晶圓是半導體制造的關鍵材料。在晶圓加工的過程中,將晶圓從存儲容器中取出并分配到機臺的加工區域,以便進行集中處理。目前,晶圓分配技術主要采用暴力搜索方法,即通過嘗試所有可能的分配方案來確定最佳的晶圓分配策略。

2、在實現本公開構思的過程中,發明人發現相關技術中至少存在如下問題,在面對大規模數據處理時,采用暴力搜索的方法對晶圓分配方案進行遍歷,所耗費的時間較長,導致晶圓的分配效率較低。


技術實現思路

1、有鑒于此,本公開提供了一種晶圓分配方法、裝置、設備、介質及程序產品。

2、本公開的一個方面提供了一種晶圓分配方法,包括:根據分配任務中晶圓存儲容器與晶圓加工區域之間的分配關系,確定將上述晶圓存儲容器中的晶圓分配至上述晶圓加工區域的約束條件;對上述晶圓存儲容器中晶圓的分配狀態進行定義,以根據定義結果構建用于表征實際分配結果與期望分配結果之間差距的目標函數,其中,上述期望分配結果為將多個上述晶圓存儲容器中的晶圓平均分配至多個上述晶圓加工區域;在上述約束條件下,基于上述分配任務中上述晶圓存儲容器的存儲信息和上述晶圓加工區域的區域數量,對上述目標函數進行求解,得到求解結果;在確定上述求解結果滿足預設條件的情況下,根據上述求解結果確定晶圓分配方案,其中,上述預設條件為上述實際分配結果與上述期望分配結果之間的差距達到最小。

3、根據本公開的實施例,上述對上述晶圓存儲容器中晶圓的分配狀態進行定義,包括:在確定上述晶圓存儲容器中的全部晶圓均被分配至同一晶圓加工區域的情況下,將上述晶圓存儲容器中晶圓的分配狀態定義為二進制決策變量中表示正向的值;在確定上述晶圓存儲容器中的全部晶圓并未被分配至同一晶圓加工區域的情況下,將上述晶圓存儲容器中晶圓的分配狀態定義為二進制決策變量中表示負向的值。

4、根據本公開的實施例,上述根據定義結果構建用于表征實際分配結果與期望分配結果之間差距的目標函數,包括:根據上述定義結果和用于表征上述晶圓存儲容器中晶圓數量的變量,構建對上述實際分配結果計算的因式;根據每個上述晶圓存儲容器中的晶圓數量和多個上述晶圓加工區域的區域數量,構建對上述期望分配結果計算的因式;將與上述實際分配結果對應的因式和與上述期望分配結果對應的因式作差,以對上述目標函數進行構建。

5、根據本公開的實施例,上述約束條件中包括分配約束條件和容量約束條件,上述根據分配任務中晶圓存儲容器與晶圓加工區域之間的分配關系,確定將上述晶圓存儲容器中的晶圓分配至上述晶圓加工區域的約束條件,包括:從多個上述晶圓加工區域中,確定與每個上述晶圓存儲容器對應的能夠進行晶圓分配的目標加工區域;根據上述目標加工區域與上述晶圓存儲容器之間的分配關系,生成上述分配約束條件;基于每個上述晶圓加工區域對晶圓的最大容納量,生成上述容量約束條件。

6、根據本公開的實施例,上述在上述約束條件下,基于上述分配任務中上述晶圓存儲容器的存儲信息和上述晶圓加工區域的區域數量,對上述目標函數進行求解,得到求解結果,包括:根據上述約束條件生成與上述二進制決策變量對應的約束表達式;將上述存儲信息中每個上述晶圓存儲容器中存儲的晶圓數量,和上述區域數量輸入上述目標函數中,以在上述約束表達式的限定下,對上述目標函數進行求解,輸出上述求解結果。

7、根據本公開的實施例,上述方法還包括:對上述目標函數輸出的多個上述求解結果進行比較,以從多個上述求解結果中確定出最小值,其中,上述最小值為滿足上述預設條件的求解結果。

8、根據本公開的實施例,上述根據上述求解結果確定晶圓分配方案,包括:確定與上述求解結果對應的多個二進制決策變量的值;從多個上述二進制決策變量的值中確定與每個上述晶圓加工區域對應的變量集合,其中,上述變量集合中的多個值分別與多個上述晶圓存儲容器相對應;針對每個上述晶圓加工區域,對上述變量集合中表示正向的值進行提取,以確定將晶圓分配至上述晶圓加工區域的多個晶圓存儲容器,得到與上述晶圓加工區域對應的分配子方案;將多個上述晶圓加工區域的分配子方案進行組合,得到與上述分配任務對應的晶圓分配方案。

9、本公開的另一個方面提供了一種晶圓分配裝置,包括:約束確定模塊,用于根據分配任務中晶圓存儲容器與晶圓加工區域之間的分配關系,確定將上述晶圓存儲容器中的晶圓分配至上述晶圓加工區域的約束條件;函數構建模塊,用于對上述晶圓存儲容器中晶圓的分配狀態進行定義,以根據定義結果構建用于表征實際分配結果與期望分配結果之間差距的目標函數,其中,上述期望分配結果為將多個上述晶圓存儲容器中的晶圓平均分配至多個上述晶圓加工區域;函數求解模塊,用于在上述約束條件下,基于上述分配任務中上述晶圓存儲容器的存儲信息和上述晶圓加工區域的區域數量,對上述目標函數進行求解,得到求解結果;方案確定模塊,用于在確定上述求解結果滿足預設條件的情況下,根據上述求解結果確定晶圓分配方案,其中,上述預設條件為上述實際分配結果與上述期望分配結果之間的差距達到最小。

10、本公開的另一個方面提供了一種電子設備,包括:一個或多個處理器;存儲器,用于存儲一個或多個程序,其中,當上述一個或多個程序被上述一個或多個處理器執行時,使得上述一個或多個處理器實現如上所述的方法。

11、本公開的另一方面提供了一種計算機可讀存儲介質,存儲有計算機可執行指令,上述指令在被執行時用于實現如上所述的方法。

12、本公開的另一方面提供了一種計算機程序產品,上述計算機程序產品包括計算機可執行指令,上述指令在被執行時用于實現如上所述的方法。

13、根據本公開的實施例,根據晶圓存儲容器與晶圓加工區域之間的分配關系建立約束條件,并對晶圓存儲容器中晶圓的分配狀態進行定義,構建用于表征實際分配結果與期望分配結果之間差距的目標函數,使得在對晶圓進行分配的過程中,能夠在滿足多個約束條件的情況下,快速地得到較佳的晶圓分配方案,有效提高了晶圓的分配效率,降低了所耗費的時間。



技術特征:

1.一種晶圓分配方法,包括:

2.根據權利要求1所述的方法,其中,所述對所述晶圓存儲容器中晶圓的分配狀態進行定義,包括:

3.根據權利要求1所述的方法,其中,所述根據定義結果構建用于表征實際分配結果與期望分配結果之間差距的目標函數,包括:

4.根據權利要求1所述的方法,其中,所述約束條件中包括分配約束條件和容量約束條件,所述根據分配任務中晶圓存儲容器與晶圓加工區域之間的分配關系,確定將所述晶圓存儲容器中的晶圓分配至所述晶圓加工區域的約束條件,包括:

5.根據權利要求2所述的方法,其中,所述在所述約束條件下,基于所述分配任務中所述晶圓存儲容器的存儲信息和所述晶圓加工區域的區域數量,對所述目標函數進行求解,得到求解結果,包括:

6.根據權利要求1所述的方法,還包括:

7.根據權利要求2所述的方法,其中,所述根據所述求解結果確定晶圓分配方案,包括:

8.一種晶圓分配裝置,包括:

9.一種電子設備,包括:

10.一種計算機可讀存儲介質,其上存儲有可執行指令,該指令被處理器執行時使處理器實現權利要求1至7中任一項所述的方法。


技術總結
本公開提供了一種晶圓分配方法、裝置、設備、介質及程序產品,可以應用于云計算領域。該方法包括:根據分配任務中晶圓存儲容器與晶圓加工區域之間的分配關系,確定將晶圓存儲容器中的晶圓分配至晶圓加工區域的約束條件;對晶圓存儲容器中晶圓的分配狀態進行定義,以根據定義結果構建用于表征實際分配結果與期望分配結果之間差距的目標函數;在約束條件下,基于分配任務中晶圓存儲容器的存儲信息和晶圓加工區域的區域數量,對目標函數進行求解,得到求解結果;在確定求解結果滿足預設條件的情況下,根據求解結果確定晶圓分配方案,其中,預設條件為實際分配結果與期望分配結果之間的差距達到最小。

技術研發人員:張耀太,宣洪偉,盛舟山,劉林冬
受保護的技術使用者:中國科學技術大學
技術研發日:
技術公布日:2025/4/28
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