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晶圓的吸平整定結構及吸平整定方法、晶圓檢測裝置與流程

文檔序號:41774825發布日期:2025-04-29 18:48閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種晶圓的吸平整定結構,其特征在于,包括:

2.根據權利要求1所述的吸平整定結構,其特征在于,所述整定模組還包括整定驅動機構,所述整定驅動機構連接所述第一整定機構,用于帶動所述第一整定機構沿第二方向及其反方向移動;所述整定驅動機構連接所述第二整定機構,用于帶動所述第二整定機構沿第三方向及其反方向移動;所述整定驅動機構連接所述第三整定機構,用于帶動所述第三整定機構沿所述第一方向及其反方向移動;所述整定驅動機構連接所述第四整定機構,用于帶動所述第四整定機構沿所述第三方向及其反方向移動,其中,所述第二方向和所述第三方向垂直,且所述第二方向、所述第三方向皆和所述第一方向垂直。

3.根據權利要求2所述的吸平整定結構,其特征在于,所述整定模組還包括第五整定機構和第六整定機構,所述第一整定機構和所述第五整定機構沿所述第三方向間隔設置,所述第三整定機構和所述第六整定機構沿所述第三方向間隔設置;

4.根據權利要求3所述的吸平整定結構,其特征在于,所述整定驅動機構包括整定驅動電機和傳送帶組件,所述整定驅動電機連接所述傳送帶組件且用于帶動所述傳送帶組件移動;

5.根據權利要求4所述的吸平整定結構,其特征在于,所述整定模組包括縮回狀態和張開狀態,當所述整定模組處于縮回狀態時,所述整定驅動電機順時針轉動,所述內傳送帶沿逆時針移動,所述外傳送帶沿順時針移動,所述第一傳送部帶動所述第一整定機構沿所述第二方向移動,所述第二傳送部帶動所述第二整定機構沿所述第三方向的反方向移動,所述第三傳送部帶動所述第六整定機構沿所述第二方向的反方向移動,所述第四傳送部帶動所述第三整定機構沿所述第二方向的反方向移動,所述第五傳送部帶動所述第四整定機構沿所述第三方向移動;所述第六傳送部帶動所述第五整定機構沿所述第二方向移動;

6.根據權利要求5所述的吸平整定結構,其特征在于,所述第一整定機構包括第一連接件、第一壓板、第一調節塊、第二調節塊、第一導桿和第二導桿,所述第一連接件連接所述第一導軌,所述第一壓板分別連接所述第一連接件和所述第一傳送部,所述第一調節塊和所述第二調節塊設于所述第一連接件上,且所述第一調節塊和所述第二調節塊沿所述第三方向依次設置,所述第一導桿設于所述第一調節塊上,所述第二導桿設于所述第二調節塊上,所述第一導桿和所述第二導桿用于抵接并限位所述晶圓;

7.根據權利要求6所述的吸平整定結構,其特征在于,所述第一導桿包括主體部、弧形過渡部及延伸部,所述延伸部的徑向尺寸大于所述主體部,所述弧形過渡部的徑向尺寸從所述主體部至所述延伸部逐漸增大。

8.根據權利要求1-7任意一項所述的吸平整定結構,其特征在于,所述吸平模組包括間隔設置的第一吸平機構和第二吸平機構,所述第一吸平機構和所述第二吸平機構設于所述底板背離所述承載板的一側;

9.根據權利要求1-7任意一項所述的吸平整定結構,其特征在于,所述旋轉機構包括旋轉組件和吸盤組件,所述旋轉組件設于所述底板背離所述承載板的一側,所述旋轉組件用于帶動所述吸盤組件轉動,所述吸盤組件沿所述第一方向延伸且穿設所述底板和承載板,所述吸盤組件用于承載并吸附所述晶圓;

10.一種吸平整定方法,其特征在于,應用于權利要求1-9任意一項所述的吸平整定結構,所述吸平整定方法包括:

11.一種晶圓檢測裝置,其特征在于,包括運輸結構及權利要求1-9任意一項所述的吸平整定結構,所述運輸結構用于將所述晶圓運輸至所述吸平整定結構或將所述吸平整定結構上的所述晶圓移出。


技術總結
本申請提供了一種晶圓的吸平整定結構及吸平整定方法、晶圓檢測裝置,吸平整定結構包括底板、承載板、升降旋轉模組、吸平模組和整定模組,承載板用于承載晶圓,升降旋轉模組包括旋轉機構和升降機構,旋轉機構用于承載晶圓,吸平模組能夠吸附晶圓并沿第一方向往復移動,以將晶圓吸平于承載板上,能夠保證晶圓的平整性,方便對于晶圓進行預對準的定位、掃碼等操作,整定模組的第一整定機構、第二整定機構、第三整定機構和第四整定機構環繞承載板設置且分別設于承載板的四周,整定模組能夠沿靠近承載板中心的所在側移動,以將承載板上的晶圓進行整定居中,能夠有效校正晶圓的位置,并方便后續對晶圓的運輸及檢測。

技術研發人員:歐曉永,龐華貴,吳達繞
受保護的技術使用者:深圳市森美協爾科技有限公司
技術研發日:
技術公布日:2025/4/28
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