本說明書公開元件安裝機及接觸判定方法。

背景技術：

1、以往，已知一種元件安裝機，在進行安裝動作時，判定吸附于吸嘴的元件與基板是否接觸，對元件與基板接觸了進行確認。例如，在專利文獻1中公開了具有：頭，其具有能夠升降的多個保持器；吸嘴，其以能夠相對于保持器相對移動的方式安裝于保持器；氣體通路，其與多個保持器連接，通過使保持器與吸嘴一起下降而將元件壓抵于基板，吸嘴向保持器側移動規定量而向外部開放；以及傳感器，其檢測在氣體通路中流動的氣體的流量或壓力。在該元件安裝機中，利用傳感器監視氣體流量或氣體壓力，在氣體通路向外部開放而氣體流量或氣體壓力超過了閾值（一定值）的情況下，判定為吸附于吸嘴的元件與基板接觸。

2、現有技術文獻

3、專利文獻

4、專利文獻1：國際公開第2018/179317號。

技術實現思路

1、發明所要解決的技術問題

2、然而，在上述的元件安裝機中，在頭上保持多個吸嘴，在一個循環中吸附多個元件而向基板安裝。因此，這樣的元件安裝機在將由多個吸嘴吸附的多個元件中的最初的元件安裝于基板之后，能夠將剩余的元件在短時間內安裝于基板。在各元件的安裝動作中，元件是否與基板接觸的判定通過利用傳感器檢測氣體通路內的壓力降低了、氣體通路內的氣體流量變化了來進行。當氣體通路的壓力暫時下降時，到其恢復為止需要一定程度的時間，因此氣體通路內的壓力的狀態特別是在將多個元件中的最初的元件向基板安裝時和將下一元件向基板安裝時各自大不相同。在這樣的情況下，若如專利文獻1那樣將氣體流量、氣壓的閾值設定為一定值，則有時難以檢測吸附于吸嘴的元件與基板的接觸。

3、本公開的主要目的在于，在具備保持有多個吸嘴的頭的元件安裝機中，能夠更適當地檢測元件與基板的接觸。

4、用于解決課題的手段

5、本公開為了達成上述的主要目的而采用了以下的手段。

6、本公開的元件安裝機具備包括分別將吸嘴保持為能夠相對移動的多個保持器的頭，并依次進行將由多個所述吸嘴吸附的元件向基板安裝的安裝動作，其主旨在于，具備：流體壓力回路，與所述多個保持器連接；傳感器，檢測在所述流體壓力回路中流動的流體的壓力及流量中的至少之一；及判定部，以在規定時機由所述傳感器檢測到的壓力的絕對值或流量越大則值越大的方式設定閾值，在所述規定時機以后，在進行所述安裝動作時，在由所述傳感器檢測到的壓力的絕對值、壓力的變化量的絕對值、流量或流量的變化量的絕對值超過了所述閾值的情況下，判定為由所述吸嘴吸附的元件與基板接觸。

7、在該元件安裝機中，若壓力的絕對值、壓力的變化量的絕對值、流量或流量的變化量的絕對值超過了閾值，則判定為元件與基板接觸。此時的閾值被設定為在事先的規定時機由傳感器檢測出的壓力的絕對值或流量越大則值越大。由此，能夠更適當地檢測元件與基板的接觸。

8、本公開的接觸判定方法應用于元件安裝機，判定由吸嘴吸附的元件是否與基板接觸，所述元件安裝機具備包括分別將所述吸嘴保持為能夠相對移動的多個保持器的頭，并依次進行將由多個所述吸嘴吸附的元件向基板安裝的安裝動作，所述元件安裝機具有：流體壓力回路，與所述多個保持器連接；及傳感器，檢測在所述流體壓力回路中流動的流體的壓力及流量中的至少之一，所述接觸判定方法的主旨在于，以在規定時機由所述傳感器檢測到的壓力的絕對值或流量越大則值越大的方式設定閾值，在所述規定時機以后，在所述安裝動作時，在由所述傳感器檢測到的壓力的絕對值、壓力的變化量的絕對值、流量或流量的變化量的絕對值超過了所述閾值的情況下，判定為由所述吸嘴吸附的元件與基板接觸。

9、在該接觸判定方法中，起到與本公開的元件安裝機同樣的效果。

技術特征：

1.一種元件安裝機，具備包括分別將吸嘴保持為能夠相對移動的多個保持器的頭，并依次進行將由多個所述吸嘴吸附的元件向基板安裝的安裝動作，

2.根據權利要求1所述的元件安裝機，其中，

3.根據權利要求1或2所述的元件安裝機，其中，

4.根據權利要求1或2所述的元件安裝機，其中，

5.根據權利要求1或2所述的元件安裝機，其中，

6.一種接觸判定方法，應用于元件安裝機，判定由吸嘴吸附的元件是否與基板接觸，

技術總結
本公開的元件安裝機具備包括分別將吸嘴保持為能夠相對移動的多個保持器的頭，并依次進行將由多個吸嘴吸附的元件向基板安裝的安裝動作，所述元件安裝機具備：流體壓力回路，與多個保持器連接；傳感器，檢測在流體壓力回路中流動的流體的壓力及流量中的至少之一；及判定部，以在規定時機由傳感器檢測到的壓力的絕對值或流量越大則值越大的方式設定閾值，在規定時機以后，在進行安裝動作時，在由傳感器檢測到的壓力的絕對值、壓力的變化量的絕對值、流量或流量的變化量的絕對值超過了閾值的情況下，判定為由吸嘴吸附的元件與基板接觸。

技術研發人員：鍵本有作
受保護的技術使用者：株式會社富士
技術研發日：
技術公布日：2025/4/28