本案涉及用于處理腔室（如適用于半導(dǎo)體處理的腔室）的熱源（例如，燈）及窗，以及相關(guān)方法。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體基板經(jīng)處理用于各種應(yīng)用，包括制造集成元件及微元件。

2、然而，熱處理可能在熱效率、溫度均勻性、產(chǎn)品壽命、良率及處理量、腔室成本及操作成本方面受到限制。例如，加熱裝置可能具有相對較短的使用壽命。又例如，基板上的溫度可能在加熱期間非均勻，如基板的外邊緣比基板的中心冷。又例如，腔室中產(chǎn)生的相對小百分比（例如，10%）的熱量可能實(shí)際被基板吸收。

3、因此，需要促進(jìn)增加良率及處理量、增加熱效率、在處理期間更加均勻，并降低成本的改良的腔室及相關(guān)設(shè)備及方法。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本案涉及用于處理腔室的熱源（例如，燈）及窗，以及相關(guān)方法。

2、在一或多個實(shí)施例中，適用于半導(dǎo)體制造的燈包括沿著弓形輪廓的至少一分段延伸的燈泡管。燈泡管界定弓形中央開口。燈包括位于弓形中央開口中的燈絲。燈絲沿著弓形輪廓的至少所述分段延伸。燈包括形成在燈泡管的外表面的第一部分上的反射涂層。

3、在一或多個實(shí)施例中，適用于半導(dǎo)體制造的窗包括外部部分及安置在外部部分內(nèi)部的內(nèi)部部分。內(nèi)部部分包括第一外表面、與第一外表面相對的第二外表面，及形成于第一外表面中的一或多個凹槽。

4、在一或多個實(shí)施例中，適用于半導(dǎo)體制造的處理腔室包括內(nèi)部空間，及安置在內(nèi)部空間中的基板支撐件?；逯渭蚊?。處理腔室包括窗，所述窗至少部分地界定內(nèi)部空間的處理空間。所述窗包括外部部分及內(nèi)部部分，所述內(nèi)部部分安置在外部部分的內(nèi)部并且具有徑向中心和與外部部分接口連接的徑向外邊緣。內(nèi)部部分包括背離支撐面的第一外表面，及與第一外表面相對的第二外表面。第二外表面面向支撐面。內(nèi)部部分包括形成于第一外表面中的一或多個凹槽。處理腔室包括接收于窗的一或多個凹槽中的多個燈。多個燈由內(nèi)部部分支撐，以使得燈與支撐面之間的距離具有在從徑向中心至徑向外緣的方向上朝向支撐面過渡的梯度。

技術(shù)特征：

1.一種適用于半導(dǎo)體制造的燈，包含：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燈，其中所述反射涂層經(jīng)形成在所述第一部分上，以使得所述外表面的第二部分未涂覆。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的燈，其中所述反射涂層包括以下材料中的一或多者：金(au)、銀、三氧化二鋁及/或一或多種其他陶瓷。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的燈，其中所述反射涂層以圍繞所述燈泡管的涂層角度形成所述第一部分上，并且所述涂層角度為至少180度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的燈，其中所述涂層角度為至少210度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燈，其中所述燈泡管沿著所述弓形輪廓的至少所述分段延伸，以在所述燈泡管的第一末端和第二末端之間界定角度間隙。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的燈，其中所述角度間隙具有小于45度的間隙角度。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的燈，進(jìn)一步包含：

9.一種適用于半導(dǎo)體制造的窗，包含：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的窗，其中所述一或多個凹槽包含相對于彼此以同心布置安置的多個凹槽。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的窗，進(jìn)一步包含在所述多個凹槽中接收的多個燈，其中所述多個燈中的每一燈安置在所述多個凹槽的相應(yīng)凹槽的弓形部分中。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的窗，其中所述多個燈安置在所述一或多個凹槽的每一凹槽中。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的窗，其中所述多個凹槽的每一相應(yīng)凹槽進(jìn)一步包含在所述弓形部分與所述第一外表面之間的矩形部分，以使得所述弓形部分從所述第一外表面凹入。

14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的窗，其中所述內(nèi)部部分具有徑向中心和與所述外部部分接口連接的徑向外邊緣，并且所述第一外表面具有在從所述徑向中心至所述徑向外邊緣的方向上朝向所述第二外表面過渡的梯度。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的窗，其中所述內(nèi)部部分為透明的，并且所述外部部分為不透明的。

16.根據(jù)權(quán)利要求9所述的窗，其中所述一或多個凹槽包含相對于彼此以間隔開的布置安置的多個凹槽。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的窗，進(jìn)一步包含在所述一或多個凹槽中接收的多個燈，其中所述多個燈中的每一燈安置在所述多個凹槽的相應(yīng)凹槽的弓形部分中。

18.根據(jù)權(quán)利要求9所述的窗，其中所述一或多個凹槽包含單個凹槽，所述內(nèi)部部分具有徑向中心和與所述外部部分接口連接的徑向外邊緣，并且所述單個凹槽界定凹入表面，所述凹入表面具有在從所述徑向中心至所述徑向外邊緣的方向上朝向所述第二外表面過渡的梯度。

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的窗，其中所述窗進(jìn)一步包含在所述單個凹槽中接收的多個燈，其中所述多個燈中的每一燈擱置在所述凹入表面上。

20.一種適用于半導(dǎo)體制造的處理腔室，包含：

技術(shù)總結(jié)
本案涉及用于處理腔室的熱源（例如，燈）及窗，以及相關(guān)方法。在一或多個實(shí)施例中，適用于半導(dǎo)體制造的燈包括沿著弓形輪廓的至少一分段延伸的燈泡管。燈泡管界定弓形中央開口。燈包括位于弓形中央開口中的燈絲。燈絲沿著弓形輪廓的至少所述分段延伸。燈包括形成在燈泡管的外表面的第一部分上的反射涂層。

技術(shù)研發(fā)人員：文卡特斯瓦蘭·蘇巴拉曼,拉賈·穆拉利·達(dá)莫哈蘭
受保護(hù)的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/4/28