本技術(shù)涉及光伏制造領(lǐng)域，尤其涉及一種光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室。

背景技術(shù)：

1、管式設(shè)備主要包括：管式pecvd、管式擴(kuò)散、管式ald、管式氧化、管式退火、管式lpcvd等等。目前，管式設(shè)備是光伏行業(yè)最為主流的設(shè)備。其中因?yàn)楦邷毓苁皆O(shè)備，工藝溫度較高，結(jié)構(gòu)容易收到熱損傷，設(shè)備故障更高，難度較高。

2、管式設(shè)備核心結(jié)構(gòu)是光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室，在光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室內(nèi)，施加一定溫度、真空度及工藝氣體，進(jìn)而實(shí)施工藝反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)電池必要的結(jié)構(gòu)。現(xiàn)有的高溫管式爐反應(yīng)室結(jié)構(gòu)，通常包括石英管、前水冷金屬法蘭、后水冷法蘭、后水冷法蘭安裝板及爐門。其中，石英管為反應(yīng)腔室，進(jìn)行反應(yīng)時(shí)需在高溫高壓條件下。因此反應(yīng)腔室的開(kāi)口端需要設(shè)置密封結(jié)構(gòu)進(jìn)行密封。常規(guī)的密封結(jié)構(gòu)多數(shù)靠爐門上的單層密封圈與前水冷金屬法蘭擠壓以及前水冷金屬法蘭上的單層密封圈與石英管擠壓，從而依靠密封圈的自身變形達(dá)到密封的目的。但是長(zhǎng)時(shí)間在高溫環(huán)境中，密封圈的彈性會(huì)變差甚至失效，進(jìn)而導(dǎo)致漏氣。因此，這種反應(yīng)室的密封結(jié)構(gòu)的密封圈使用壽命短。另外，在安裝爐體時(shí)，采用后水冷法蘭、后水冷法蘭安裝板等結(jié)構(gòu)，水冷結(jié)構(gòu)復(fù)雜，安裝起來(lái)比較復(fù)雜，設(shè)備成本較高。

3、因此，有必要設(shè)計(jì)一種光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室以解決上述至少一個(gè)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的一個(gè)目的在于提供一種光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室，其具有的爐門密封結(jié)構(gòu)的密封性能好、使用壽命長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低的優(yōu)點(diǎn)。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供的光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室包括爐門、石英管、爐口水冷法蘭及密封組件；所述密封組件包括第一前側(cè)密封圈及第一后側(cè)密封圈；所述石英管內(nèi)部設(shè)置有反應(yīng)腔室，所述反應(yīng)腔室一端開(kāi)口；所述爐門可移動(dòng)地設(shè)置于所述反應(yīng)腔室的開(kāi)口端，所述爐門的一端設(shè)置有第一安裝槽，所述第一前側(cè)密封圈設(shè)置于所述第一安裝槽內(nèi)；所述爐口水冷法蘭設(shè)置于所述反應(yīng)腔室開(kāi)口的一端；所述爐口水冷法蘭的第一端具有阻擋部，所述阻擋部凸伸出所述爐口水冷法蘭的第一端，以使所述阻擋部能夠伸入所述第一安裝槽中并與所述第一前側(cè)密封圈呈密封地接觸；所述第一后側(cè)密封圈設(shè)置于所述爐口水冷法蘭的第二端，以密封所述爐口水冷法蘭的端面；所述光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室還包括第一隔熱件，所述第一隔熱件套設(shè)于所述石英管外。

3、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室在所述爐口水冷法蘭的第一端設(shè)置有所述阻擋部，當(dāng)所述爐門將所述反應(yīng)腔室開(kāi)口的一端封閉時(shí)，所述阻擋部伸入所述第一安裝槽中，而所述第一前側(cè)密封圈設(shè)置于所述第一安裝槽，這樣一來(lái)所述阻擋部能夠阻擋所述反應(yīng)腔室中的熱氣直接吹向所述第一前側(cè)密封圈及，延緩所述第一前側(cè)密封圈因受熱而老化失效的速率，使得所述第一前側(cè)密封圈的使用壽命更長(zhǎng)。同時(shí)，通過(guò)將所述第一后側(cè)密封圈設(shè)置于所述爐口水冷法蘭的第一端，使所述爐口水冷法蘭與所述反應(yīng)腔室之間的縫隙密封，密封性能更好。此外，通過(guò)設(shè)置第一隔熱件，使所述第一隔熱件套設(shè)于所述石英管外，所述第一隔熱件可以將所述石英管與支撐所述石英管的支撐物進(jìn)行隔熱，從而防止所述石英管的熱量向外傳導(dǎo)，無(wú)需采用傳統(tǒng)的后水冷法蘭進(jìn)行安裝，結(jié)構(gòu)得到極大的簡(jiǎn)化，有效降低成本。

4、較佳地，所述密封組件還包括第二前側(cè)密封圈，所述第二前側(cè)密封圈設(shè)置于所述爐口水冷法蘭的第二端，以與所述爐門的一端密封接觸。通過(guò)設(shè)置第二前側(cè)密圈，相當(dāng)于在所述爐門與所述爐口水冷法蘭之間沿所述光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室的軸向間隔地設(shè)置兩道相互獨(dú)立的密封圈，密封更為可靠，密封性能也更好。

5、較佳地，所述密封組件還包括第二后側(cè)密封圈，所述第二后側(cè)密封圈與所述第一后側(cè)密封圈呈間隙是地設(shè)置且位于所述爐口水冷法蘭的第二端，以密封所述爐口水冷法蘭的端面。通過(guò)設(shè)置第二后側(cè)密圈，相當(dāng)于在所述爐口水冷法蘭與所述反應(yīng)腔室之間沿所述爐口水冷法蘭的徑向間隔地設(shè)置兩道互相獨(dú)立的密封圈，能夠更可靠地將所述爐口水冷法蘭與所述反應(yīng)腔室之間的縫隙密封，密封性能好。

6、具體地，所述第一安裝槽為環(huán)形的沉槽，所述阻擋部為定位臺(tái)階，所述沉槽與所述定位臺(tái)階相互配合。將所述定位臺(tái)階與所述沉槽設(shè)置成相互配合，能夠使得所述爐門在封閉所述反應(yīng)腔室開(kāi)口的一端時(shí)更為方便快速地與所述爐口水冷法蘭對(duì)接定位，提高使用的便捷性。并且，這樣可以相互抵壓所述第一前側(cè)密封圈，使所述第一前側(cè)密封圈的密封性能更好。

7、較佳地，所述反應(yīng)腔室開(kāi)口的一端具有環(huán)形過(guò)渡臺(tái)階，所述第一隔熱件位于所述環(huán)形過(guò)渡臺(tái)階的遠(yuǎn)離所述爐口水冷法蘭的一側(cè)。

8、較佳地，所述光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室還包括第二隔熱件及固定件，所述固定件套設(shè)于所述石英管外，所述第二隔熱件套設(shè)于所述固定件與所述石英管之間；所述第一隔熱件位于所述固定件與所述環(huán)形過(guò)渡臺(tái)階之間。

9、具體地，所述光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室還包括彈性墊，所述彈性墊設(shè)置于所述第一隔熱件與所述環(huán)形過(guò)渡臺(tái)階之間。所述彈性墊可以對(duì)所述環(huán)形過(guò)渡臺(tái)階與所述第一隔熱件進(jìn)行緩沖，從而防止兩者之間擠壓過(guò)度而磨損。

10、較佳地，所述爐口水冷法蘭的第一端還設(shè)置有安裝所述第二前側(cè)密封圈的第二安裝槽，所述爐口水冷法蘭的第二端還設(shè)置有安裝所述第一后側(cè)密封圈的第三安裝槽及安裝所述第二后側(cè)密封圈的第四安裝槽。

11、較佳地，所述反應(yīng)腔室開(kāi)口的一端朝向所述爐門的方向突伸地設(shè)有限位套，所述爐口水冷法蘭套于所述限位套的外側(cè)。在所述反應(yīng)腔室開(kāi)口的一端朝向所述爐門的方向突伸地設(shè)置限位套既能夠方便將所述爐口水冷法蘭安裝并準(zhǔn)確定位，也能夠阻擋所述反應(yīng)腔室內(nèi)的熱氣流向所述第一后側(cè)密封圈及所述第二后側(cè)密封圈，延緩所述第一后側(cè)密封圈及所述第二后側(cè)密封圈因受熱而老化失效的速率，從而延長(zhǎng)所述第一后側(cè)密封圈及所述第二后側(cè)密封圈的使用壽命。

12、較佳地，所述第一隔熱件由云母、陶瓷纖維、納米隔熱材、石墨或玻璃纖維復(fù)合材料制成。

技術(shù)特征：

1.一種光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室，其特征在于，包括爐門、石英管、爐口水冷法蘭及密封組件；所述密封組件包括第一前側(cè)密封圈及第一后側(cè)密封圈；所述石英管內(nèi)部設(shè)置有反應(yīng)腔室，所述反應(yīng)腔室一端開(kāi)口；所述爐門可移動(dòng)地設(shè)置于所述反應(yīng)腔室的開(kāi)口端，所述爐門的一端設(shè)置有第一安裝槽，所述第一前側(cè)密封圈設(shè)置于所述第一安裝槽內(nèi)；所述爐口水冷法蘭設(shè)置于所述反應(yīng)腔室開(kāi)口的一端；所述爐口水冷法蘭的第一端具有阻擋部，所述阻擋部凸伸出所述爐口水冷法蘭的第一端，以使所述阻擋部能夠伸入所述第一安裝槽中并與所述第一前側(cè)密封圈呈密封地接觸；所述第一后側(cè)密封圈設(shè)置于所述爐口水冷法蘭的第二端，以密封所述爐口水冷法蘭的端面；所述光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室還包括第一隔熱件，所述第一隔熱件套設(shè)于所述石英管外。

2.如權(quán)利要求1所述的光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室，其特征在于，所述密封組件還包括第二前側(cè)密封圈，所述第二前側(cè)密封圈設(shè)置于所述爐口水冷法蘭的第二端，以與所述爐門的一端密封接觸。

3.如權(quán)利要求2所述的光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室，其特征在于，所述密封組件還包括第二后側(cè)密封圈，所述第二后側(cè)密封圈與所述第一后側(cè)密封圈呈間隙是地設(shè)置且位于所述爐口水冷法蘭的第二端，以密封所述爐口水冷法蘭的端面。

4.如權(quán)利要求1所述的光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室，其特征在于，所述第一安裝槽為環(huán)形的沉槽，所述阻擋部為定位臺(tái)階，所述沉槽與所述定位臺(tái)階相互配合。

5.如權(quán)利要求1所述的光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室，其特征在于，所述反應(yīng)腔室開(kāi)口的一端具有環(huán)形過(guò)渡臺(tái)階，所述第一隔熱件位于所述環(huán)形過(guò)渡臺(tái)階的遠(yuǎn)離所述爐口水冷法蘭的一側(cè)。

6.如權(quán)利要求5所述的光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室，其特征在于，所述光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室還包括第二隔熱件及固定件，所述固定件套設(shè)于所述石英管外，所述第二隔熱件套設(shè)于所述固定件與所述石英管之間；所述第一隔熱件位于所述固定件與所述環(huán)形過(guò)渡臺(tái)階之間。

7.如權(quán)利要求5所述的光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室，其特征在于，所述光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室還包括彈性墊，所述彈性墊設(shè)置于所述第一隔熱件與所述環(huán)形過(guò)渡臺(tái)階之間。

8.如權(quán)利要求3所述的光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室，其特征在于，所述爐口水冷法蘭的第一端還設(shè)置有安裝所述第二前側(cè)密封圈的第二安裝槽；所述爐口水冷法蘭的第二端還設(shè)置有安裝所述第一后側(cè)密封圈的第三安裝槽及安裝所述第二后側(cè)密封圈的第四安裝槽。

9.如權(quán)利要求1所述的光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室，其特征在于，所述反應(yīng)腔室開(kāi)口的一端朝向所述爐門的方向突伸地設(shè)有限位套，所述爐口水冷法蘭套于所述限位套的外側(cè)。

10.如權(quán)利要求1所述的光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室，其特征在于，所述第一隔熱件由云母、陶瓷纖維、納米隔熱材、石墨或玻璃纖維復(fù)合材料制成。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供的一種光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室，包括爐門、石英管、爐口水冷法蘭及密封組件；密封組件包括第一前側(cè)密封圈及第一后側(cè)密封圈；石英管內(nèi)部設(shè)置有反應(yīng)腔室，反應(yīng)腔室一端開(kāi)口；爐門可移動(dòng)地設(shè)置于反應(yīng)腔室的開(kāi)口端，爐門的一端設(shè)置有第一安裝槽，第一前側(cè)密封圈設(shè)置于第一安裝槽內(nèi)；爐口水冷法蘭設(shè)置于反應(yīng)腔室開(kāi)口的一端；爐口水冷法蘭的第一端具有阻擋部，阻擋部凸伸出爐口水冷法蘭的第一端；第一后側(cè)密封圈設(shè)置于爐口水冷法蘭的第二端，以密封爐口水冷法蘭的端面；光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室還包括第一隔熱件，第一隔熱件套設(shè)于石英管外。本技術(shù)提供的光伏管式設(shè)備的反應(yīng)室具有密封性能好、使用壽命長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：錢鋒,李銳,梁錦東,江富榮,段振坤,張水銘,程忠達(dá),姚飛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東莞嘉拓日晟智能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240430
技術(shù)公布日：2025/3/20