本發明涉及半導體晶粒加工技術領域，具體地說是涉及半導體晶粒的切割方法,還涉及半導體晶粒的切割裝置。

背景技術：

半導體致冷件是由晶粒焊接在瓷板上形成的，晶粒是由晶棒經過切割而成的，晶棒的主要成分是三碲化二鉍，晶粒是規整的長方體或正方體,它的邊棱整齊、角部規范，晶粒是在切割機上切割的。

使用切割裝置對晶棒進行切割，切割裝置具有卡具和安裝切割絲的部件，切割絲運行可以對晶棒進行切割；現有技術中，使用的切割絲是鋼絲，在切割面澆注切割液，切割液的主要成分是油脂，在油脂里面加入金剛砂或碳化硅，它具有容易造成污染、切割效率低、產品品質差的缺點。

技術實現要素：

本發明的目的就是針對上述缺點，提供一種減少對環境污染、切割效率高、產品品質有保證的半導體晶粒的切割方法和切割裝置。

本發明半導體晶粒的切割方法的技術方案是這樣實現的：一種半導體晶粒的切割方法，在切割機上采用切割的方法對晶棒進行切割，其特征是：所用的切割絲是金剛砂絲，所述的金剛砂絲是鋼絲外面附著有金剛砂的絲線結構。

進一步地講，在切割的過程中使用清水或肥皂水作為切割液。

進一步地講，所述的切割液的溫度保持在15—20℃。

本發明切割裝置的技術方案是這樣實現的：一種半導體晶粒的切割裝置，包括機架，在機架上安裝有切割絲的輥輪，還有切割絲安裝在輥輪上，切割絲連接動力裝置，動力裝置運行帶動切割絲運行，切割絲運行經過晶棒的加工工位，其特征是：所述的切割絲是鋼絲外面附著有金剛砂的絲線結構。

進一步地講，切割裝置還有澆淋切割液的澆注裝置，用管道澆注在加工工位，在管道中間設置有冷卻部件。

本發明的有益效果是：

這樣的半導體晶粒的線切割方法和切割裝置具有減少對環境污染、切割效率高、產品品質有保證的優點；在切割的過程中使用清水或肥皂水作為切割液，所述的切割液的溫度保持在20—30℃，具有產品品質更好的優點；切割裝置還有澆淋切割液的澆注裝置，用管道澆注在加工工位，在管道中間設置有冷卻部件，具有生產出來的產品品質更好的優點。

附圖說明

圖1是本發明半導體晶粒切割裝置的結構示意圖。

圖2是金剛砂絲的剖面結構示意圖。

其中：1、機架 2、輥輪 3、切割絲 4、加工工位 5、澆注裝置 6、冷卻部件 7、鋼絲 8、金剛砂。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例本發明作進一步說明。

如圖1、2所示，一種半導體晶粒的切割裝置，包括機架1，在機架上安裝有切割絲的輥輪2，還有切割絲3安裝在輥輪上，切割絲連接動力裝置，動力裝置運行帶動切割絲運行，切割絲運行經過晶棒的加工工位4，其特征是：所述的切割絲是鋼絲外面附著有金剛砂的絲線結構。

本裝置由于使用金剛砂絲作為切割工具，它更鋒利，可以不用切割液，或者使用清水作為切割液即可，而不是用現有技術中的油脂切割液，不會造成環境的污染，可以實現本發明的目的，另外它還可以提高產品的品質，便于邊角廢料的回收

進一步地講，切割裝置還有澆淋切割液的澆注裝置5，用管道澆注在加工工位，在管道中間設置有冷卻部件6。

這樣晶棒就會在低溫下切割，更有利于產品質量的提高。

實施例1

將晶棒放置在線切割機上進行切割，使用鋼絲作為切割絲，由于鋼絲的切割能力較差，需要使用切割液，并在切割液中需要放置金剛石粉末，切割液是在用鋼絲切割的過程中澆淋在切割部位的液體，為了防止金剛石粉末沉淀，需要使用油脂作為切割液的主體；生產10000粒晶粒。

生產所用的時間是200分鐘，在生產中切割液的溫度升高到80℃，這樣的生產工藝會造成環境污染，還不利于邊角廢料的回收，產品的優質品率是45%。

實施例2

將晶棒放置在線切割機上進行切割，使用金剛砂絲作為切割絲，所述的切割絲是鋼絲7外面附著有金剛砂8的絲線結構（下同）在切割過程中不用任何切割液，生產10000粒晶粒。

生產所用的時間是180分鐘，在生產中晶棒的切割部位的溫度升高到90℃，這樣的生產工藝不會造成環境污染，還不利于邊角廢料的回收，產品的優質品率是55%。

實施例3

將晶棒放置在線切割機上進行切割，使用金剛砂絲作為切割絲，在切割過程中用清水作為切割液，生產10000粒晶粒。

生產所用的時間是130分鐘，在晶棒的切割部位的溫度升高到30℃，這樣的生產工藝不會造成環境污染，還利于邊角廢料的回收，產品的優質品率是75%。

實施例4

將晶棒放置在線切割機上進行切割，使用金剛砂絲作為切割絲，在切割過程中用肥皂水作為切割液，生產10000粒晶粒。

生產所用的時間是130分鐘，在晶棒的切割部位的溫度升高到30℃，這樣的生產工藝不會造成環境污染，還利于邊角廢料的回收，產品的優質品率是75%。

實施例5

重復上述實施例3，將切割液溫度降至15-20℃。

生產所用的時間是130分鐘，在晶棒的切割部位的溫度升高到20℃，這樣的生產工藝不會造成環境污染，還利于邊角廢料的回收，產品的優質品率是90%。

實施例6

重復上述實施例4，將切割液溫度降至15-20℃。

生產所用的時間是130分鐘，在晶板的切割部位的溫度升高到20℃，這樣的生產工藝不會造成環境污染，還利于邊角廢料的回收，產品的優質品率是90%。

實踐證明，用低溫的切割液更有利于產品質量的提高。

本發明不用油脂切割液，更有利于環境衛生，減少環境污染，降低生產成本，有利于邊角廢料的回收，提高產品的品質。

以上所述僅為本發明的具體實施例，但本發明的結構特征并不限于此，任何本領域的技術人員在本發明的領域內，所作的變化或修飾皆涵蓋在本發明的專利范圍內。