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一種半導體晶粒切割裝置的制作方法

文檔序號:12754151閱讀:來源:國知局
技術總結
本實用新型涉及半導體晶粒加工技術領域,名稱是一種半導體晶粒切割裝置,一種半導體晶粒的切割裝置,包括機架,在機架上安裝有切割絲的輥輪,還有切割絲安裝在輥輪上,切割絲連接動力裝置,動力裝置運行帶動切割絲運行,切割絲運形經過晶棒的加工工位,所述的切割絲是鋼絲外面附著有金剛砂的絲線結構。這樣的半導體晶粒的線切割方法和切割裝置具有減少對環境污染、切割效率高、產品品質有保證的優點。

技術研發人員:陳磊;陳建民;趙麗萍;錢俊友;張文濤;蔡水占;張會超;王東勝
受保護的技術使用者:河南鴻昌電子有限公司
文檔號碼:201620681914
技術研發日:2016.07.01
技術公布日:2017.01.25

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